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11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時(shí),現(xiàn)場(chǎng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上;現(xiàn)場(chǎng)除正常照明外,應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安裝現(xiàn)場(chǎng)前,應(yīng)徹底清潔,并應(yīng)檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進(jìn)入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時(shí)應(yīng)妥善保護(hù)墻壁與地面,設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹,避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級(jí)別區(qū)域時(shí),穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封,并應(yīng)裝飾處理。潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道,用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測(cè)報(bào)告
3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置,其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置,其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。上海半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測(cè)值得推薦國(guó)內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)對(duì)無塵車間進(jìn)行測(cè)試。
7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí),宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本,超凈間之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無塵工作臺(tái),提高超凈間等級(jí)。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。塵室通常采用高效的HEPA(高效顆??諝猓┻^濾器或ULPA(超高效顆粒空氣)過濾器,可有效過濾微小的灰塵。
6.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū)),在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后,其每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。6.2.4潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層,當(dāng)按其構(gòu)造特點(diǎn)和用途作為同一防火分區(qū)時(shí),上下技術(shù)夾層的面積可不計(jì)人防火分區(qū)的建筑面積,但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。6.2.5潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)選擇,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。無塵室為半導(dǎo)體行業(yè)提供了可靠的工作環(huán)境,推動(dòng)了計(jì)算機(jī)、通信、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域的飛速發(fā)展。北京壓差無塵室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測(cè)報(bào)告
1.1潔凈室建筑裝飾工程施工應(yīng)在主體結(jié)構(gòu)、屋面防水工程4.和**護(hù)結(jié)構(gòu)驗(yàn)收完成后進(jìn)行。4.1.2潔凈室建筑裝飾施工應(yīng)與其他工種制定明確的施工協(xié)作計(jì)劃和施工程序。4.1.3潔凈室的建筑裝飾材料除應(yīng)滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外,尚應(yīng)保證潔凈室的氣密性和裝飾表面不產(chǎn)塵、不吸塵、不積塵,并應(yīng)易清洗。4.1.4潔凈室不應(yīng)使用木材和石膏板作為表面裝飾材料。隱蔽使用的木材應(yīng)經(jīng)充分干燥并作防潮防腐和防火處理,石膏板應(yīng)為防水石膏板。4.1.5潔凈室建筑裝飾工程施工應(yīng)實(shí)行施工現(xiàn)場(chǎng)封閉清潔管理,在潔凈施工區(qū)內(nèi)進(jìn)行粉塵作業(yè)時(shí),應(yīng)采取有效防止粉塵擴(kuò)散的措施。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測(cè)報(bào)告