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C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。...

5.2.2人員進出、材料出入、產(chǎn)品運送及設(shè)備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋...

E.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有房間的門關(guān)閉時進行，有排風(fēng)時，應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室...

1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料...

5.2.2人員進出、材料出入、產(chǎn)品運送及設(shè)備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋...

應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告，其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進行外觀檢查，內(nèi)容應(yīng)包括有無損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機的風(fēng)機安裝是否可靠，轉(zhuǎn)動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍...

應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告，其中應(yīng)有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應(yīng)進行外觀檢查，內(nèi)容應(yīng)包括有無損壞;各種尺寸是否符合設(shè)計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風(fēng)機的風(fēng)機安裝是否可靠，轉(zhuǎn)動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，...

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之?dāng)U充比較容易，在某些特殊...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進行...

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修...

11. 4.1 生物安全柜內(nèi)如有氣管和水管，應(yīng)同時安裝完畢。11.4.2當(dāng)多臺生物安全柜的排風(fēng)支管與豎井內(nèi)封閉的排風(fēng)立管相連接時，支管應(yīng)采用防回流裝置，并應(yīng)從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風(fēng)管道之前，應(yīng)對高效過濾器...

E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進行，凈化空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機運行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速...

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之...

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之...

無塵室凈化車間管理規(guī)范1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備，管線的維護管理，應(yīng)做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術(shù)，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內(nèi)設(shè)備及裝修...

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災(zāi)報警應(yīng)...

9.2.1純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設(shè)備,應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇,應(yīng)滿...

12.4.2消防應(yīng)急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應(yīng)正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側(cè)面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應(yīng)密封。3疏散走道上安裝的照明燈應(yīng)...

12.2.1排煙管道的安裝試驗應(yīng)符合本規(guī)范第5章的有關(guān)規(guī)定。12.2.2排煙管道的隔熱層應(yīng)采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風(fēng)道的制作應(yīng)保證管道的氣密性，灰縫應(yīng)飽滿，內(nèi)表面水泥砂漿面層應(yīng)平整。12.2.4送風(fēng)口、排煙口的固定應(yīng)可靠，表...

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；2應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾...

15.5.1施工材料在運輸、儲存和施工過程中，應(yīng)采取包裹、覆蓋、密閉、圍擋等措施，防止污染環(huán)境。15.5.2施工過程中應(yīng)做到當(dāng)天施工當(dāng)天清理現(xiàn)場，并有專人負責(zé)的制度。在完成了高效過濾器安裝、地面墻面的裝飾工作之后，潔凈室內(nèi)不應(yīng)再進行產(chǎn)塵、揚塵作業(yè)。15.5.3...

9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動時為使風(fēng)機空載啟動，首先將風(fēng)機出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機啟動后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當(dāng)...

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：1建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進行...

D.3.10自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運行相當(dāng)時間，在室內(nèi)含塵濃度已接...

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)...