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B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時進(jìn)行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1...

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。潔凈室要達(dá)到潔凈...

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1運(yùn)行班次或使用時間不同；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)，6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。北京實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測規(guī)范性強(qiáng)隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了...

5.2.2人員進(jìn)出、材料出入、產(chǎn)品運(yùn)送及設(shè)備、工具搬運(yùn)的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。上海電子廠房環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)至上B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施...

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3...

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格，而且對細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。一般情況下...

5.2.2人員進(jìn)出、材料出入、產(chǎn)品運(yùn)送及設(shè)備、工具搬運(yùn)的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)C.1.1檢測目的檢測...

1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計(jì)工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進(jìn)行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進(jìn)行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進(jìn)行各項(xiàng)活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準(zhǔn)的1/10。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機(jī)室、配電室及電話機(jī)房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣...

空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近；7對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級...

近年來，國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計(jì)中也很重要。從工藝性質(zhì)來看，潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作，需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。安徽潔凈室檢測評估空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進(jìn)行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進(jìn)行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進(jìn)行各項(xiàng)活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準(zhǔn)的1/10。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機(jī)室、配電室及電話機(jī)房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級別的可供人活動的空間。江蘇...

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層...

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，...

9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運(yùn)行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動時為使風(fēng)機(jī)空載啟動，首先將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機(jī)啟動后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當(dāng)采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，本條強(qiáng)制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電等保護(hù)裝置。潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級別的可...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進(jìn)行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進(jìn)行必要的操作處置而可能引起火災(zāi)、和中毒等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進(jìn)行各項(xiàng)活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準(zhǔn)的1/10。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機(jī)室、配電室及電話機(jī)房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。浙江氣流潔凈室檢測評...

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，...

近年來，國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計(jì)中也很重要。從工藝性質(zhì)來看，潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作，需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測值得推薦 從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來看，有以下幾個特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般...

D.3.10自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī)，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開機(jī)...

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定：1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾或強(qiáng)電磁場的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，則應(yīng)位于全年**小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個室截面上通過的潔凈室。浙江電子廠房環(huán)境潔凈室檢測目的潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型...

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強(qiáng)烈振動的設(shè)備和管道，宜采取主動隔振措施，并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。安徽壓差潔凈室檢測周期1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(...

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1運(yùn)行班次或使用時間不同；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)，6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。安徽電子廠房環(huán)境潔凈室檢測 8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)...

B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時進(jìn)行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)...

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式。不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。浙江氣流潔凈室檢測9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)...

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。...

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此，應(yīng)立足于實(shí)測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進(jìn)行實(shí)測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來很大困難，這說明實(shí)測振源振動影響是非常必要的。無菌操作間應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)品種的需要，保持對鄰室的相對正壓或相對負(fù)壓...

B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時進(jìn)行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1...

5.2.2人員進(jìn)出、材料出入、產(chǎn)品運(yùn)送及設(shè)備、工具搬運(yùn)的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。浙江手術(shù)室潔凈室檢測報告空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等...