B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),而單向流系統(tǒng)中,污染被受控氣流置換,自凈時(shí)間只受位置和距離的影響。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時(shí)進(jìn)行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠,應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100:1自凈時(shí)間或潔凈度恢復(fù)率。100:1自凈時(shí)間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時(shí)間。100:1自凈時(shí)間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復(fù)率的定義:粒子濃度隨時(shí)間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進(jìn)行描述(縱座標(biāo)表示濃度,為對數(shù)刻度;橫座標(biāo)表示濃度,為線性刻度)。斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。上??谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測周期
15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行,應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí),應(yīng)符合下列規(guī)定:1總平面布置時(shí),應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響;2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì);3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道,應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器,經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí),應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。安徽壓差潔凈室檢測哪家好不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮,設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下,由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí),則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切,必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中,不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲,靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施,不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。
12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測,宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí),電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制,并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Wo(hù);當(dāng)采用電加濕器時(shí),應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,宜對風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。
潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時(shí),應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測公司
在滿足生產(chǎn)工藝的條件下,管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。上??谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測周期
C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7];濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳;高于80mg/m,長時(shí)間檢測會(huì)過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注:當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí),掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn)。C.3.6驗(yàn)收限值:當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí),就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處,采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測量一段時(shí)間,光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。上??谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測周期