16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定：在風系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應符合現(xiàn)行的相關產(chǎn)品標準規(guī)定外，還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉條件下，檢測室內(nèi)臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《室內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統(tǒng)正常運行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下，于每一班次結束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《空內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。無塵室的重要性遠超我們的想象。浙江國內(nèi)無塵室檢測范圍

無塵室凈化車間管理規(guī)范1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內(nèi)設備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等3、嚴格各類設備，設施的維護管理，制定相應的操作規(guī)程，保證各類設備，設施按要求正常運轉，包括凈化系統(tǒng)，各類水，氣，電系統(tǒng)。上海半導體凈化車間無塵室檢測認真負責無塵室創(chuàng)造了一個幾乎不含微塵和有害物質(zhì)的特殊空間，為高精密制造、敏感實驗和科研工作提供了理想的環(huán)境。

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進行生產(chǎn)工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員人口、物料入口和設備出入口,并應在各自的人口處設置相應的凈化設施。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應用于半導體生產(chǎn)。

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡結構，并應具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風量或回風量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數(shù)量。上海照度無塵室檢測報告

無塵室在需要對空氣中的微粒、微生物和污染物進行控制的行業(yè)中都會有廣泛的應用。浙江國內(nèi)無塵室檢測范圍

11. 4.1 生物安全柜內(nèi)如有氣管和水管，應同時安裝完畢。11.4.2當多臺生物安全柜的排風支管與豎井內(nèi)封閉的排風立管相連接時，支管應采用防回流裝置，并應從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風管道之前，應對高效過濾器安裝邊框及整個濾芯面掃描檢漏。當為零泄漏排風裝置時，應對濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關的手動調(diào)節(jié)閥定風量系統(tǒng)中，當多臺安全柜排風并聯(lián)時，整個系統(tǒng)在安全柜安裝后應重新平衡，采用壓力無關的風量平衡閥時可不做此項平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應進行下列現(xiàn)場檢驗.浙江國內(nèi)無塵室檢測范圍