12.2.1排煙管道的安裝試驗應(yīng)符合本規(guī)范第5章的有關(guān)規(guī)定。12.2.2排煙管道的隔熱層應(yīng)采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風道的制作應(yīng)保證管道的氣密性，灰縫應(yīng)飽滿，內(nèi)表面水泥砂漿面層應(yīng)平整。12.2.4送風口、排煙口的固定應(yīng)可靠，表面應(yīng)平整、無變形、調(diào)節(jié)靈活。排煙口距可燃物或可燃構(gòu)件的距離不應(yīng)小于1.5m。排煙口安裝時不應(yīng)影響防倒灌設(shè)施正常發(fā)揮作用。排煙口應(yīng)安裝板式排煙口，不應(yīng)漏風。12.2.5排煙風機的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1當**排煙風機設(shè)在混凝土或鋼架基礎(chǔ)上時可不設(shè)減振裝置；若需設(shè)置減振裝置，則不應(yīng)使用橡膠減振裝置。2排煙風機宜安裝在該系統(tǒng)比較高排煙口之上，并宜安在機房內(nèi)，機房與相鄰部位隔墻應(yīng)符合防火要求。由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。無塵室檢測

5.5.6在回、排風口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備，在安裝前應(yīng)用現(xiàn)場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏，并應(yīng)確認無漏后安裝。回、排風口安裝后，對非零泄漏邊框密封結(jié)構(gòu)，應(yīng)再對其邊框掃描檢漏，并應(yīng)確認無漏；當無法對邊框掃描檢漏時，必須進行生物學等專門評價。5.5.7當在回、排風口上安裝動態(tài)氣流密封排風裝置時，應(yīng)將正壓接管與接嘴牢靠連接，壓差表應(yīng)安裝于排風裝置近旁目測高度處。排風裝置中的高效過濾器應(yīng)在裝置外進行掃描檢漏，并應(yīng)確認無漏后再安入裝置。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測值得推薦指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過20 min自凈后。

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1運行班次或使用時間不同；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)，6系統(tǒng)風量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災報警應(yīng)進行核實，當確認火災后，在消防控制室應(yīng)對下列各項進行手動控制：1關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風機、排風機和新風機，并接收其反饋信號；2啟動排煙風機，并接收其反饋信號；3.在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。潔凈室則是一種控制空氣中的污染物質(zhì)。

10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計人必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊,用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。北京半導體凈化車間無塵室檢測第三方檢測機構(gòu)

由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當量于被測粒子等效的球體直徑。無塵室檢測

11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前，應(yīng)徹底清潔，并應(yīng)檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時應(yīng)妥善保護墻壁與地面，設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時，穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封，并應(yīng)裝飾處理。無塵室檢測