潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。靜電控制檢測對于電子制造業(yè)的潔凈室尤為重要。山東潔凈室檢測
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測點(diǎn)風(fēng)速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得山東潔凈室環(huán)境檢測技術(shù)好潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、現(xiàn)代技術(shù)密切聯(lián)系在一起。
四、照度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定:潔凈區(qū)主要操作間照度不得少于300勒克斯,一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。潔凈區(qū)的照度檢查每年不得少于一次,在經(jīng)過設(shè)備大修、廠房改造、工藝布局調(diào)整等變更的時候應(yīng)在變更結(jié)束后重新檢測照度。檢測要求:室內(nèi)照度測度必須在室溫已趨穩(wěn)定,光源光輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行(對熒光燈必須有100h)。檢測方法:測點(diǎn)平面離地面0.85m,按間距1-2m布點(diǎn),測點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求相同。記錄實(shí)測照度值并計(jì)算總的平均照度。照度測量一般*測定除局部照明之外的一般照明。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)入、產(chǎn)生及滯留粒子??臻g內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,而這種級別又是用操作時間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來表示,也就是把從某一個低的含塵濃度起到不超過另一個高的含塵濃度指這一個含塵濃度范圍為某一個空氣潔凈度級別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。壓差檢測有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。
-連接氮?dú)?,檢查氮?dú)夤鈮毫?0psig()。,等幾分鐘后,氣溶膠到達(dá)終端過濾器。?將掃描探頭與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵,使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測”,按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值,調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間,讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測試孔相連接。?調(diào)整光標(biāo)至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認(rèn)”鍵,調(diào)節(jié)參數(shù)值至測定的上游濃度值。?掃描過濾器表面及邊框,距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復(fù)掃描速度Sr約為15/Wp,使用3cm*3cm正方形采樣頭時,Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長方形采樣頭,Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度,Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測試管與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵,使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測”,按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時間變化不應(yīng)超過平均測量值的±15%。?關(guān)閉氣溶膠按鈕。?氮?dú)饫^續(xù)通過氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關(guān)閉N2。?關(guān)閉電源。表1高效過濾器完整性測試操作步驟局部層流/房間百級(高效檢漏)非層流潔凈室(高效檢漏)A.拆除層流罩B.額定風(fēng)速確定測量點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150-300mm測試點(diǎn)數(shù)取測試面積10倍的平方根,且不少點(diǎn)。潔凈室的氣流組織模式直接影響其潔凈效果,需通過模擬測試驗(yàn)證。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
通過潔凈室檢測,可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險。山東潔凈室檢測
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。山東潔凈室檢測