《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50472-2008)。本標準“附錄D潔凈室(區(qū))性能測試和認證”的要點:1)風速和風量的檢測。對于單向流潔凈室,檢測平面應取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面。2)靜壓差的檢測。檢測靜壓差的時候應該關閉全部門窗。檢測儀器的靈敏度應小于1.0Pa。有多個潔凈室時,應由里向外按順序檢測。3)空氣過濾器安裝后的檢漏。光學粒子計數(shù)器的采樣量應大于1L/min。應在過濾器的上風側引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,其濃度應大于3.5x10pc/m。微粒儀距離濾器表面20~30mm處等速采樣,并以5~20mm/s速度移動。4)潔凈度的檢測。少采樣點和每次少采樣量與ISO14644基本相同。5)溫度和濕度的檢測。檢測點的覆蓋面積不大于100m2。每個房間不少于2個檢測點。檢測點應設在潔凈室工作高度,且距吊頂、墻和地面不少于300mm。6)噪聲的檢測。每100m2設1個檢測點。檢測點距地面1.1~1.5m,距墻大于3m。7)照度的檢測。檢測點應設在潔凈室工作高度,宜距地面0.85m,每25m2設1個檢測點。潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。北京潔凈室檢測哪家好
熱球風速儀。熱球風速儀也是基于散熱與風速有關的原理制成的,分測頭和指示儀表兩部分。測頭由電熱線圈(或電熱絲)和熱電偶組成。當電熱線圈通以額定電流時,它的溫度升高,加熱了玻璃球,因玻璃球體積很小,球體的溫度可以認為與電熱線圈的溫度相同,通過電流時熱電偶便產(chǎn)生熱電勢,指示儀表則指示出相應的熱電勢的大小。玻璃球的溫度升降、熱電勢相應的大小與氣流流速有關,氣流流速大,球體散熱快,溫升越小;反之,氣流流速小,球體散熱慢,溫升越大,熱電勢也就越大。按此原理,指示儀表可直接顯示出風速。!上海口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測按所需控制的空氣中懸浮微粒分類,可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。
①換氣次數(shù)
換氣次數(shù)的作用是保證有足夠進行稀釋的干凈氣流。
換氣次數(shù)的多少應根據(jù)計算和經(jīng)驗確定。
②氣流組織
氣流組織的作用是保證能均勻地送風和回風,充分發(fā)揮干凈氣流的稀釋作用。因此要求單個風口有足夠的擴散作用,全室回風布置均勻,數(shù)量多一些好,要盡量減少渦流和氣流回旋。
③自凈時間
自凈時間是潔凈室從污染狀態(tài)回復到穩(wěn)定狀態(tài)的能力的體現(xiàn),越短越好。也可以指定為從某污染狀態(tài)降低到某潔凈狀態(tài)的時間。
③下限風速
這是為了保證潔凈室能控制以下四種污染的小風速:
a.當污染氣流多方位散布時,送風氣流要能有效控制污染的范圍;
b.當污染氣流與送風氣流同向時,送風氣流要能有效控制污染氣流到達下游的擴散范圍;
c.當污染氣流與送風氣流逆向時,送風氣流能把污染氣流在必要的距離之內(nèi);
d.在全室被污染的情況下,足以在合適的時間迅速使室內(nèi)空氣自凈。
空氣潔凈度等級1、儀器設備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器。環(huán)境溫度潔凈室區(qū)的溫度和相對濕度應與其生產(chǎn)及工藝要求相適應。2、采樣點的位置及數(shù)量a.測定潔凈度的每次**小采樣量;b.每個潔凈區(qū)**少采樣次數(shù)為3次,當潔凈區(qū)*有一個采樣點時,則在該點至少采樣3次;d.對預期空氣潔凈度等級達到4級或更潔凈的環(huán)境采樣量很大可采用ISO14644-1附錄F規(guī)定的順序采樣法。3、技術要求①每個采樣點的平均粒子濃度Ci應小于或等于潔凈度等級規(guī)定的限值;②全部采樣點的平均粒子濃度N的95%置信上限值應小于或等于潔凈等級規(guī)定的限值。4、操作過程及判定①儀器開機后預熱至穩(wěn)定后,方可按照使用說明書的規(guī)定對儀器進行校正,自檢、自校、零計數(shù);②采樣管口置采樣點采樣時在確認計數(shù)穩(wěn)定后方可開始連續(xù)讀數(shù);③計數(shù)器采樣口和儀器的工作位置應處在同一氣壓和溫度下,以免產(chǎn)生測量誤差;④對于單向流潔凈室采樣口應對著氣流方向對于亂流潔凈室采樣口宜向上采樣速度均應盡可能接近室內(nèi)氣流速度;⑤記錄數(shù)據(jù)評價。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間,建造和使用應減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。
潔凈室(CleanRoom),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用比較大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。凈室被應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導體生產(chǎn)、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于60dB(A),單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級不應大于65dB(A)。上海潔凈工作臺檢測規(guī)范性強
相鄰不同級別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。北京潔凈室檢測哪家好
空氣過濾器的泄露1、儀器設備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏。3、技術要求檢漏的結果要符合條件:由受檢過濾器下風側測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器,應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。北京潔凈室檢測哪家好
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