在一實施例中,為了保護(hù)該金屬層,并且降低物理應(yīng)力與熱應(yīng)力的影響,該基板結(jié)構(gòu)更包含:一樹酯層,具有相對應(yīng)的一第五表面與一第六表面,其中該第五表面的形狀相應(yīng)于該第四表面。在一實施例中,為了讓基板結(jié)構(gòu)所承載的半導(dǎo)體組件的設(shè)計簡化,其中該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域依序包含***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度相同。在一特定實施例中,為了讓基板結(jié)構(gòu)所承載的半導(dǎo)體組件的設(shè)計更加簡化,其中該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、該第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度相同。在一實施例中,為了讓基板結(jié)構(gòu)適應(yīng)所承載的半導(dǎo)體組件的不同設(shè)計,其中該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域依序包含***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度不同。在一特定實施例中,為了讓基板結(jié)構(gòu)適應(yīng)所承載的半導(dǎo)體組件的具有更大的設(shè)計彈性,其中該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、該第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度均不相同。在一實施例中,為了配合大多數(shù)矩形芯片的形狀,其中該中心凹陷區(qū)域是矩形。在一實施例中,為了配合大多數(shù)方形芯片的形狀。半導(dǎo)體晶圓價格走勢..東莞半導(dǎo)體晶圓價格信息
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體晶圓濕法清洗治具。背景技術(shù):濕法清洗是半導(dǎo)體生產(chǎn)中被***接受和使用,作為半導(dǎo)體制造過程中,由于其成本低,可靠性高等優(yōu)點被***使用。通常的濕法清洗過程是將需要清洗的晶圓放置到特定的花籃中,然后將承載晶圓的花籃放置于相應(yīng)的清洗燒杯中,清洗燒杯中盛放可以清洗晶圓的溶液,根據(jù)不同的清洗要求,清洗燒杯會放置在帶有加熱或者超聲功能的清洗槽內(nèi)。傳統(tǒng)的晶圓清洗花籃通常將晶圓豎直放置,通過卡槽固定,此種方式存在如下缺陷:由于標(biāo)準(zhǔn)晶圓清洗花籃的卡槽通常設(shè)計的較窄,人為操作取、放片時手易抖動、位置把握不準(zhǔn)等因素,晶圓容易和卡槽周邊發(fā)生碰撞、擠壓,造成晶圓破碎。如果在設(shè)計時增大花籃卡槽寬度的話,運輸和清洗操作過程中晶圓在卡槽內(nèi)容易大幅度晃動,產(chǎn)生較大的沖擊力,同樣會造成晶圓破碎。為了解決這一問題,出現(xiàn)了一些水平放置清洗花籃,晶圓在花籃中水平放置,可以避免豎直放置型花籃容易導(dǎo)致晶圓破損的問題。現(xiàn)有水平放置清洗花籃通常被設(shè)計為特定尺寸的圓形花籃,但是隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,在產(chǎn)品流線中一般會有多種尺寸、多種不同形狀的晶圓同時流片,傳統(tǒng)方法只能定制不同尺寸的花籃進(jìn)行使用,這增加了設(shè)備的持有成本。遂寧半導(dǎo)體晶圓廠家供應(yīng)半導(dǎo)體晶圓銷售電話??
也不限定這些芯片采用同一種剖面設(shè)計,更不限定使用同一種基板結(jié)構(gòu)。在執(zhí)行晶圓級芯片封裝時,可以根據(jù)同一片晶圓上所欲切割的芯片的設(shè)計,來對該片晶圓執(zhí)行特定的制程。請參考圖15所示,其為根據(jù)本申請一實施例的晶圓制作方法1500的前列程示意圖。圖15所示的晶圓制作方法1500可以是晶圓級芯片封裝方法的一部分。該晶圓級芯片封裝方法可以是先在一整片晶圓上進(jìn)行制作、封裝與測試,然后經(jīng)切割后,再將芯片放置到個別印刷電路板的過程。本申請所欲保護(hù)的部分之一是在封裝測試之前,針對于基板結(jié)構(gòu)的制作方法。當(dāng)然本申請也想要保護(hù)一整套的晶圓級芯片封裝方法。圖15的晶圓制作方法1500所作出的芯片,可以包含圖3~14所述的各種基板結(jié)構(gòu)與剖面。請再參考圖16a~16j,其為根據(jù)本申請實施例的晶圓制作過程的各階段的剖面示意圖。圖16a~16j的各圖是針對晶圓當(dāng)中的某一個芯片來繪制。在說明圖15的各步驟時,可以參考圖16a~16j的各圖。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解到雖然圖16a~16j是針對一個芯片的剖面進(jìn)行繪制,但可以根據(jù)晶圓的設(shè)計,普遍地適用于整個晶圓。另外,在圖16a~16j當(dāng)中,主要是針對基板結(jié)構(gòu)1000來繪制。但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解到。
但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解到,晶圓制作方法1500的各個步驟不*可以對一整個晶圓進(jìn)行,也可以針對單一個芯片進(jìn)行。在一實施例當(dāng)中,如果要讓內(nèi)框結(jié)構(gòu)的晶圓層厚度小于邊框結(jié)構(gòu)的晶圓層厚度,可以反復(fù)執(zhí)行步驟1520與1530。在***次執(zhí)行步驟1520時,屏蔽層的圖樣*包含邊框區(qū)域。***次執(zhí)行蝕刻步驟1530時,蝕刻的深度到達(dá)內(nèi)框結(jié)構(gòu)的厚度。接著,第二次執(zhí)行步驟1530,屏蔽層的圖樣包含了內(nèi)框區(qū)域。接著,第二次的蝕刻步驟1530可以將晶圓層蝕刻到一半的高度。如此一來,就有厚薄不一的邊框結(jié)構(gòu)與方框結(jié)構(gòu)。步驟1540:去除晶圓上的屏蔽層。如圖16d所示,屏蔽層1610已經(jīng)被去除。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解到,去除屏蔽層是公知的技術(shù),不在此詳述。步驟1550:在晶圓上制造一或多層金屬層。本步驟可以在蝕刻后的第二表面822上制造該金屬層。步驟1550可以使用多種工法的其中之一來進(jìn)行。這些工法包含濺射(sputter)、蒸鍍或化學(xué)氣相沉積(cvd,chemicalvapordeposition)、電鍍(plating)或是涂布法。金屬層可以包含一或多層金屬層,該金屬層可以包含單一金屬、合金或金屬化合物。舉例來說,該金屬層可以包含鈦鎳銀鎳合金(tiniagni)、鎳鋁合金(alni)、鋁銅鈷合金(alcuni)、鈦銅鎳合金。半導(dǎo)體晶圓推薦咨詢??
τ1是氣泡內(nèi)的溫度上升到高于臨界內(nèi)爆溫度的時間間隔,τ2是氣泡內(nèi)的溫度下降到遠(yuǎn)低于臨界內(nèi)爆溫度的時間間隔。由于可控的非穩(wěn)態(tài)的氣穴振蕩在清洗過程中具有一定的氣泡內(nèi)爆,因此,可控的非穩(wěn)態(tài)的氣穴振蕩將提供更高的pre(particleremovalefficiency,顆粒去除效率),而對圖案結(jié)構(gòu)造成**小的損傷。臨界內(nèi)爆溫度是會導(dǎo)致***個氣泡內(nèi)爆的氣泡內(nèi)的**低溫度。為了進(jìn)一步提高pre,需要進(jìn)一步提高氣泡的溫度,因此需要更長的時間τ1。通過縮短時間τ2來提高氣泡的溫度。超或兆聲波的頻率是控制內(nèi)爆強度的另一個參數(shù)??煽氐姆欠€(wěn)態(tài)的氣穴振蕩是通過設(shè)置聲波電源在時間間隔小于τ1內(nèi)頻率為f1,設(shè)置聲波電源在時間間隔大于τ2內(nèi)頻率為f2,重復(fù)上述步驟直到晶圓被清洗干凈,其中,f2遠(yuǎn)大于f1,**好是f1的2倍或4倍。通常,頻率越高,內(nèi)爆的強度越低。τ1是氣泡內(nèi)的溫度上升到高于臨界內(nèi)爆溫度的時間間隔,τ2是氣泡內(nèi)的溫度下降到遠(yuǎn)低于臨界內(nèi)爆溫度的時間間隔。可控的非穩(wěn)態(tài)的氣穴振蕩將提供更高的pre(particleremovalefficiency,顆粒去除效率),而對圖案結(jié)構(gòu)造成**小的損傷。臨界內(nèi)爆溫度是會導(dǎo)致***個氣泡內(nèi)爆的氣泡內(nèi)的**低溫度。為了進(jìn)一步提高pre,需要進(jìn)一步提高氣泡的溫度。半導(dǎo)體晶圓的采購渠道有哪些?江蘇半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)
半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)工藝流程。東莞半導(dǎo)體晶圓價格信息
本申請還提供具有上述基板結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體晶圓,以及制作上述基板結(jié)構(gòu)的晶圓制造方法。根據(jù)本申請的方案,提供具有邊框結(jié)構(gòu)的基板結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體晶圓、以及晶圓制作方法。根據(jù)本申請的一方案,提供一種承載半導(dǎo)體組件的基板結(jié)構(gòu),其特征在于,包含:一晶圓層,具有相對應(yīng)的一***表面與一第二表面,其中該第二表面具有向該***表面凹陷的一中心凹陷區(qū)域,該中心凹陷區(qū)域位于該第二表面當(dāng)中,使得該晶圓層的一邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域環(huán)繞在該第二表面周圍;以及一金屬層,具有相對應(yīng)的一第三表面與一第四表面,該第三表面完全貼合于該第二表面。進(jìn)一步的,為了彌補較薄晶圓層的結(jié)構(gòu)強度,其中該第二表面更包含具有向該***表面凹陷的一***環(huán)狀凹陷區(qū)域,該***環(huán)狀凹陷區(qū)域與該中心凹陷區(qū)域位于該第二表面當(dāng)中,使得該晶圓層在該***環(huán)狀凹陷區(qū)域與該中心凹陷區(qū)域之間形成環(huán)狀的一***內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域。進(jìn)一步的,為了更彌補較薄晶圓層的結(jié)構(gòu)強度,其中該第二表面更具有向該***表面凹陷的第二環(huán)狀凹陷區(qū)域,該第二環(huán)狀凹陷區(qū)域位于該第二表面當(dāng)中,使得該晶圓層在該第二環(huán)狀凹陷區(qū)域與該中心凹陷區(qū)域之間形成環(huán)狀的一第二內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域,該***環(huán)狀凹陷區(qū)域完全包含環(huán)狀的該***內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域。東莞半導(dǎo)體晶圓價格信息
昆山創(chuàng)米半導(dǎo)體科技有限公司是一家半導(dǎo)體科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)轉(zhuǎn)讓;半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體材料、電子設(shè)備、機械設(shè)備及配件、機電設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、太陽能電池及組件、電子產(chǎn)品、電子材料、針紡織品、玻璃制品、五金制品、日用百貨、勞保用品、化工產(chǎn)品及原料(不含危險化學(xué)品及易制毒化學(xué)品)的銷售;貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動) 許可項目:廢棄電器電子產(chǎn)品處理(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動,具體經(jīng)營項目以審批結(jié)果為準(zhǔn)) 一般項目:固體廢物治理;非金屬廢料和碎屑加工處理;再生資源回收(除生產(chǎn)性廢舊金屬);電子元器件與機電組件設(shè)備銷售;電力電子元器件銷售;電子設(shè)備銷售(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)的公司,是一家集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司。公司自創(chuàng)立以來,投身于晶圓,wafer,半導(dǎo)體輔助材料,晶圓盒,是能源的主力軍。創(chuàng)米半導(dǎo)體始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團(tuán)隊取得成功。創(chuàng)米半導(dǎo)體始終關(guān)注能源行業(yè)。滿足市場需求,提高產(chǎn)品價值,是我們前行的力量。