16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定：在風系統(tǒng)內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規(guī)定外，還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統(tǒng)正常運行、室內處于動態(tài)條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。凡不符合單向流定義的氣流。上海噪音無塵室檢測認真負責

空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。上海排風柜無塵室檢測認真負責無塵室創(chuàng)造了一個幾乎不含微塵和有害物質的特殊空間，為高精密制造、敏感實驗和科研工作提供了理想的環(huán)境。

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求的經技術經濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于全年極小頻率風向下風側；3在廠區(qū)內應布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。

無塵車間工程是指按照客戶的要求，提供對微粒、有害空氣、細菌等污染物的有效控制，溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產品生產(如硅芯片等)和服務提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標，使相關產品和服務能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進行生產和操作，從而達到提高產品生產的良品率，改善和提升相關服務質量的目標。無塵室極主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。

10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應符合本規(guī)范外，還應符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設計規(guī)范》GB50030等的有關規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。北京潔凈室環(huán)境無塵室檢測報告

潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。上海噪音無塵室檢測認真負責

13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質時,應在其表面安裝金屬網,并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應根據生產工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質時,應在其表面安裝金屬網,并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應根據生產工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。上海噪音無塵室檢測認真負責