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威海半導(dǎo)體晶圓承諾守信

來源: 發(fā)布時間:2022-07-25

    因此晶圓1010須旋轉(zhuǎn)以在整個晶圓1010上接收均勻的聲波能量。雖然在圖1a及圖1b中*示意了一個聲波裝置1003,但是在其他實施例中,也可以同時或間歇使用兩個或多個聲波裝置。同理,也可以使用兩個或多個噴頭1012以更均勻的輸送清洗液1032。參考圖2a至圖2g所示的不同形狀的超聲波或兆聲波換能器。圖2a示意了三角形或餅形的傳感器;圖2b示意了矩形的傳感器;圖2c示意了八邊形的傳感器;圖2d示意了橢圓形的傳感器;圖2e示意了半圓形的傳感器;圖2f示意了1/4圓形的傳感器;圖2g示意了圓形的傳感器。這些形狀中的每一個聲波換能器可以用于代替圖1所示的聲波裝置1003中的壓電式傳感器1004。參考圖3揭示了在晶圓清洗過程中的氣泡內(nèi)爆。當(dāng)聲能作用于氣泡3012上時,氣泡3012的形狀逐漸從球形a壓縮至蘋果形g。**終氣泡3012到達(dá)內(nèi)爆狀態(tài)i并形成微噴射。如圖4a至圖4b所示,微噴射很猛烈(可達(dá)到上千個大氣壓和上千攝氏度),會損傷晶圓4010上的精細(xì)圖案結(jié)構(gòu)4034,尤其是當(dāng)特征尺寸t縮小到70nm或更小時。圖4a至圖4b揭示了在晶圓清洗過程中不穩(wěn)定的氣穴振蕩損傷晶圓上的圖案結(jié)構(gòu)。參考圖4a所示,由于聲波空化在半導(dǎo)體晶圓4010的圖案結(jié)構(gòu)4034上方形成氣泡4040,4042,4044。半導(dǎo)體晶圓的運用場景。威海半導(dǎo)體晶圓承諾守信

    所述傳動腔的上側(cè)開設(shè)有皮帶腔,所述皮帶腔的底壁上轉(zhuǎn)動設(shè)有豎軸,所述第二螺桿向上延伸部分伸入所述皮帶腔內(nèi),所述第二螺桿與所述豎軸之間傳動連接設(shè)有皮帶傳動裝置,所述豎軸向下延伸部分伸入所述動力腔內(nèi),且其底面固設(shè)有***齒輪,位于所述動力腔內(nèi)的所述***螺桿外周上固設(shè)有第二齒輪,所述第二齒輪與所述***齒輪嚙合。進一步的技術(shù)方案,所述夾塊分為上下兩部分,位于上側(cè)所述夾塊固設(shè)有兩個前后對稱的卡扣,所述切割腔的前側(cè)固設(shè)有玻璃窗。本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明可有效降低半導(dǎo)體制作原料晶圓在切割時所產(chǎn)生的發(fā)熱變形問題,并且也能降低硅錠在移動送料切割過程中,由于長時間連續(xù)工作導(dǎo)致主軸位置偏移導(dǎo)致切割不準(zhǔn)的問題,其中,步進機構(gòu)能夠通過旋轉(zhuǎn)聯(lián)動水平步進移動的傳動方式,使硅錠在連續(xù)切割時能夠穩(wěn)定送料,避免了使用螺桿傳動移動送料的偏移缺陷,穩(wěn)定機構(gòu)能夠在切割狀態(tài)時限制硅錠左右晃動,讓切割晶圓的厚度更加準(zhǔn)確,動力機構(gòu)和傳動機構(gòu)能夠聯(lián)動運轉(zhuǎn),且能使切割片在向下切割完成并向上移動時,能夠得到海綿相互擠壓的冷卻效果,降低切割片表面溫度,進而可降低晶圓在切割時產(chǎn)生的熱變形。附圖說明圖1是本發(fā)明的內(nèi)部整體結(jié)構(gòu)示意圖。西安怎么樣半導(dǎo)體晶圓什么才可以稱為半導(dǎo)體晶圓?

    其中該中心凹陷區(qū)域是方形。在一實施例中,為了讓基板區(qū)域的電阻值降低,其中在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該凹陷區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離的兩倍。在一實施例中,為了讓基板區(qū)域的電阻值降低,其中在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該***環(huán)狀凹陷區(qū)域或該中心凹陷區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離的兩倍。在一實施例中,為了讓基板區(qū)域的電阻值降低,其中在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該***內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離。在一實施例中,為了節(jié)省金屬層的厚度以便節(jié)省成本,其中該第四表面具有向該第三表面凹陷的一金屬層凹陷區(qū)域,該金屬層凹陷區(qū)域在該第二表面的投影區(qū)域位于該中心凹陷區(qū)域當(dāng)中。在一實施例中,為了設(shè)計與制作的方便,其中該金屬層凹陷區(qū)域與該凹陷區(qū)域的形狀相應(yīng),該金屬層凹陷區(qū)域的面積小于該中心凹陷區(qū)域的面積。根據(jù)本申請的一實施例,提供一種半導(dǎo)體晶圓,其特征在于,其中該半導(dǎo)體晶圓當(dāng)中預(yù)定切割出一***芯片區(qū)域,該***芯片區(qū)域包含如所述的半導(dǎo)體組件的基板結(jié)構(gòu)。在一實施例中。

    使得該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該***內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離。進一步的,為了讓基板區(qū)域的電阻值降低,其中在該蝕刻步驟進行一部份后,再將該屏蔽層覆蓋到該第二內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域,使得在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該第二內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離。進一步的,為了盡可能地利用晶圓的面積來制作不同芯片,其中該多個芯片區(qū)域包含一第二芯片區(qū)域,該***芯片區(qū)域與該第二芯片區(qū)域的形狀不同。進一步的,為了使用晶圓級芯片制造技術(shù)來加速具有上述基板結(jié)構(gòu)的芯片制作,其中該多個芯片區(qū)域當(dāng)中的每一個芯片區(qū)域和該***芯片區(qū)域的形狀都相同。進一步的,為了節(jié)省金屬層的厚度以便節(jié)省成本,其中該金屬層具有相對應(yīng)的一第三表面與一第四表面,該第三表面完全貼合于該第二表面,其中該第四表面具有向該第三表面凹陷的一金屬層凹陷區(qū)域,該金屬層凹陷區(qū)域在該第二表面的投影區(qū)域位于該中心凹陷區(qū)域當(dāng)中。進一步的,為了設(shè)計與制作的方便,其中該金屬層凹陷區(qū)域與該中心凹陷區(qū)域的形狀相應(yīng),該金屬層凹陷區(qū)域的面積小于該中心凹陷區(qū)域的面積??偵纤?。半導(dǎo)體晶圓費用是多少?

    其中該中心凹陷區(qū)域是矩形。進一步的,為了配合大多數(shù)方形芯片的形狀,其中該中心凹陷區(qū)域是方形。進一步的,為了讓基板區(qū)域的電阻值降低,其中在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該凹陷區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離的兩倍。進一步的,為了讓基板區(qū)域的電阻值降低,其中在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該***環(huán)狀凹陷區(qū)域或該中心凹陷區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離的兩倍。進一步的,為了讓基板區(qū)域的電阻值降低,其中在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離,大于或等于在該***內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離。進一步的,為了節(jié)省金屬層的厚度以便節(jié)省成本,其中該第四表面具有向該第三表面凹陷的一金屬層凹陷區(qū)域,該金屬層凹陷區(qū)域在該第二表面的投影區(qū)域位于該中心凹陷區(qū)域當(dāng)中。進一步的,為了設(shè)計與制作的方便,其中該金屬層凹陷區(qū)域與該凹陷區(qū)域的形狀相應(yīng),該金屬層凹陷區(qū)域的面積小于該中心凹陷區(qū)域的面積。根據(jù)本申請的一方案,提供一種半導(dǎo)體晶圓,其特征在于,其中該半導(dǎo)體晶圓當(dāng)中預(yù)定切割出一***芯片區(qū)域,該***芯片區(qū)域包含如所述的半導(dǎo)體組件的基板結(jié)構(gòu)。進一步的。半導(dǎo)體晶圓用的精密運動平臺,國內(nèi)有廠家做嗎?石家莊國內(nèi)12 寸半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)

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    半導(dǎo)體制造領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解到,本申請并不限定是哪一種環(huán)氧樹酯。該樹酯層440可以用于保護該結(jié)構(gòu)400的金屬層310,并且降低物理應(yīng)力與熱應(yīng)力的影響,進而保護器件。該樹酯層440包含彼此相對的一第五表面445與一第六表面446,該第五表面445與該金屬層310的第四表面314彼此相接或相貼。因此,該第五表面445與該第四表面314的形狀彼此相應(yīng)。在一實施例當(dāng)中,該樹酯層440的該第五表面445與該第六表面446的距離可以介于50~200um之間。在圖3與圖4的實施例當(dāng)中,在芯片中間的金屬層310比較厚。由于金屬層310的金屬價格比樹酯層440的樹酯還要貴,制作較厚金屬層310的步驟也比制作樹酯層440的步驟更貴。如果在設(shè)計規(guī)格允許的情況下,可以制作較薄的金屬層310,以便減少成本。請參考圖5a所示,其為根據(jù)本申請一實施例的半導(dǎo)體基板的結(jié)構(gòu)500的剖面示意圖。和圖4所示的結(jié)構(gòu)400相比,該結(jié)構(gòu)500依序包含了半導(dǎo)體組件層130、晶圓層320、金屬層510、和樹酯層540。圖5a所示的結(jié)構(gòu)500所包含的各組件,如果符號與圖4所示的結(jié)構(gòu)400所包含的組件相同者,則可以適用圖4所示實施例的敘述。和圖4所示的結(jié)構(gòu)400相比。威海半導(dǎo)體晶圓承諾守信

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