◆半導(dǎo)體制造需要接近理論純水的水理論上純水在25°C下的電阻率為18.24MΩ·cm,電導(dǎo)率為0.05482μS/cm。該電導(dǎo)率的值為H20+OH-(公式為2H20=H3O+OH-)即,除了氫離子和氫氧根離子以外,沒(méi)有任何電解質(zhì),這是因?yàn)樗旧淼慕怆x。對(duì)超純水的要求是,電阻率至少與理論純水的電阻率非常接近。實(shí)際上,高集成度半導(dǎo)體制造工藝所要求的水質(zhì)電阻率高達(dá)18MΩ·cm以上。例如,在水中溶解1mg/L的Fe離子,其電阻率就會(huì)下降到約17MΩ·cm,所以溶解物質(zhì)的濃度在μgg/L(ppb)的超純水中也會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,水質(zhì)要求是越來(lái)越嚴(yán)格。蘇州哪里有賣超純水設(shè)備的。江蘇涂裝清洗用超純水廠家
水的電導(dǎo)率不同超純水的出水水質(zhì):電阻率>15MΩ.cm超純水水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。2.純水分為:工業(yè)純水和飲用純水工業(yè)純水:在25攝氏度中,1。普通純水:EC=1~10us/cm;2。高純水:EC=0.1~1.0us/cm;3。超純水:EC=0.1~0.055;飲用純水:EC=1~10us/cm(國(guó)家標(biāo)準(zhǔn))。三、各種設(shè)備之間采用的工藝流程不同(一)超純水設(shè)備的工藝流程為:1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過(guò)濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(工藝)。江蘇涂裝清洗用超純水廠家超純水設(shè)備可以凈化水中的微生物和有機(jī)物。
超純水這個(gè)詞是隨著半導(dǎo)體的發(fā)展而出現(xiàn)的.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所要求的超純水是100%的理論純水,不含溶解在水中的離子類、有機(jī)物、活菌、微粒等。然而,不可能獲得理論純水。因?yàn)槔碚摷兯粌H本身很難制造,而且理論純水溶解其他物質(zhì)的能力也很強(qiáng)。因?yàn)闀?huì)變的。這是因?yàn)椋词鼓軌蛑圃斐隼碚摷兯?,也不能忽視設(shè)備的附著物和材料的污染,而且如果將制造水采集到容器中,容器會(huì)產(chǎn)生污漬和溶出,因此無(wú)法維持純度。因此,“超純水”是指與現(xiàn)實(shí)中能夠制造的理論純水接近的水。
超純水系統(tǒng)設(shè)備的脫鹽中心部件為進(jìn)口反滲透膜組件,超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分,反滲透主機(jī)部分,后處理部分共同組成。1、預(yù)處理由石英砂過(guò)濾器、活性碳過(guò)濾器、全自動(dòng)軟水器、精密過(guò)濾器組成(我司采用全自動(dòng)控制閥頭),也可選用超濾系統(tǒng)作為預(yù)處理,但通常工程造價(jià)要高。預(yù)處理主要目的是去除原水中含有的泥沙,鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物、色度、異味、生化有機(jī)物。當(dāng)原水中硬度較高時(shí),可選擇全自動(dòng)軟水器,這樣有效的保護(hù)了反滲透膜,從而延長(zhǎng)了反滲透膜的使用壽命。2、反滲透主機(jī)主要由高壓泵、膜殼、進(jìn)口反滲透膜組件,在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數(shù)量及泵的型號(hào)選型得當(dāng),反滲透主機(jī)脫鹽率及產(chǎn)水量都能達(dá)到額定指標(biāo),出水電導(dǎo)率可保證在≤10us.CM以下,(原水電導(dǎo)率小于500us/cm,工作溫度:1~40℃)3、后處理部分是對(duì)反滲透制取的純水作進(jìn)一步的深化處理以制取超純水,通常是離子交換混床設(shè)備或EDI設(shè)備,根據(jù)客戶要求,出水阻率可達(dá)到18.2MΩ.CM,如果是應(yīng)用在直飲水工藝上,則加上殺菌裝置即可,通常為紫外線殺菌器或者臭氧發(fā)生器,從而使生產(chǎn)出來(lái)的水達(dá)到直飲標(biāo)準(zhǔn)。超純水設(shè)備可以提供高純度的水源。
再生活化原理:當(dāng)設(shè)備運(yùn)行一段時(shí)間,樹(shù)脂失效,此時(shí)需再生,使其恢復(fù)交換能力。注意事項(xiàng):1.操作人員應(yīng)具備純水設(shè)備基礎(chǔ)知識(shí),掌握操作規(guī)程。2.本設(shè)備嚴(yán)禁超壓負(fù)荷工作。3.電機(jī)應(yīng)定期檢查。4.長(zhǎng)期閑置不用,應(yīng)定期攪動(dòng),以免樹(shù)脂發(fā)霉。●制備工藝1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)超純水設(shè)備一臺(tái)大概要多少錢?安徽精細(xì)化工用超純水設(shè)備的常見(jiàn)故障
超純水設(shè)備可以提供低硝酸鹽的水供應(yīng)。江蘇涂裝清洗用超純水廠家
據(jù)了解,超純水設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間使用的過(guò)程中,通過(guò)反滲透膜兩側(cè)的壓力差作為動(dòng)力,進(jìn)行水交換,在水不斷的交換的同時(shí)會(huì)導(dǎo)致大量的鹽聚集,鹽中含有大量的沉淀物質(zhì),時(shí)間長(zhǎng)了就會(huì)發(fā)生結(jié)垢現(xiàn)象,結(jié)構(gòu)嚴(yán)重就會(huì)純凈水的質(zhì)量。因此,在使用的過(guò)程中我們要有效的預(yù)防這種情況出現(xiàn)。有技術(shù)人員表示,在使用超純水設(shè)備的時(shí)候,要保持過(guò)濾器過(guò)濾速度,并且保持勻速,合理的過(guò)濾速度可以保證超純水設(shè)備的凈化效果。另外,在濾料的選擇上,建議選擇顆粒度大小基本一致的濾料,這樣過(guò)濾出來(lái)的水就比較徹底。江蘇涂裝清洗用超純水廠家