HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo):1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用?蕪湖工業(yè)烤箱門把手
真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟,同時(shí)兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級(jí);10、抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)廈門工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家合肥真萍告訴您如何正確使用工業(yè)烤箱?
優(yōu)良連續(xù)爐的適用范圍:連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內(nèi)不斷移動(dòng),完成加熱、保溫,有時(shí)包括冷卻在內(nèi)全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機(jī)械機(jī)構(gòu)連續(xù)地或間歇地進(jìn)行裝料和出料,連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高勞動(dòng)生產(chǎn)率和改善勞動(dòng)條件。優(yōu)良連續(xù)爐的產(chǎn)品特性:1、采用智能型溫度控制模塊,PID自動(dòng)演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細(xì)度;2、分段控制(當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定溫度時(shí)可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達(dá)到省電效果)3、內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼(清潔無塵,防生銹、耐腐蝕),外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板(強(qiáng)度、塑性和焊接綜合性能相當(dāng)好);4、整機(jī)控制系統(tǒng)采用觸摸屏加PLC程序控制,設(shè)備加熱、運(yùn)風(fēng)、傳動(dòng)、自動(dòng)門開關(guān)均采用智能控制,防止失誤動(dòng)作;5、當(dāng)實(shí)際檢測(cè)溫度超過超溫保護(hù)溫控器設(shè)定值時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源,起到雙重保護(hù)功能。
工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)有利于提高空氣溫度的均勻性,在工業(yè)烤箱開關(guān)箱門運(yùn)送物料的過程中,溫度值會(huì)受到影響發(fā)生變動(dòng),熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)的均勻性則有利于在比較大快速度內(nèi)恢復(fù)工作狀態(tài)的溫度值。工業(yè)烤箱在工作時(shí),操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進(jìn)行操作。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動(dòng)性,能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。工業(yè)烤箱的熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由送風(fēng)馬達(dá)、風(fēng)輪和電熱器組成,送風(fēng)馬達(dá)帶動(dòng)風(fēng)輪送出冷風(fēng),冷風(fēng)經(jīng)過電熱設(shè)備加熱攜帶熱能后經(jīng)風(fēng)道進(jìn)入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。工業(yè)烤箱怎樣挑選比較好?
下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下六腔體無塵烤箱。本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國(guó)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。箱體結(jié)構(gòu):1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過濾部分,N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實(shí)用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內(nèi)膽材料:采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費(fèi)。4電熱部分:采用進(jìn)口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過濾效果可達(dá)99.99%,Class100;完善的控制系統(tǒng),及安全防護(hù)措施1操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2防護(hù)措施:緊急停止,超溫保護(hù),斷線報(bào)警,相序保護(hù),過載保護(hù),短路保護(hù),漏電保護(hù),及電磁門禁保護(hù)等合肥真萍工業(yè)烤箱的運(yùn)用領(lǐng)域。小型工業(yè)烤箱門配件
你知道工業(yè)烤箱的特點(diǎn)嗎?蕪湖工業(yè)烤箱門把手
HMDS真空烤箱整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸:1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。蕪湖工業(yè)烤箱門把手
合肥真萍電子科技有限公司位于合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)厚德路175號(hào),是一家專業(yè)的電子產(chǎn)品,電子設(shè)備及配件,半導(dǎo)體設(shè)備及配件,半導(dǎo)體耗材,辦公設(shè)備研發(fā)及銷售。真萍科技(真萍微電子裝備)是專業(yè)從事烘烤制程設(shè)備,半導(dǎo)體黃光區(qū)**設(shè)備,環(huán)境與可靠性試驗(yàn)設(shè)備,電鍍清洗設(shè)備,防潮防氧化專業(yè)設(shè)備等產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售供應(yīng)廠商,是以一批多年從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、防潮防氧化設(shè)備,半導(dǎo)體黃光區(qū)**設(shè)備,電鍍清洗設(shè)備等行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員,具有設(shè)計(jì)、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。公司。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),以誠(chéng)信、敬業(yè)、進(jìn)取為宗旨,以建真萍烤箱,真萍烘箱產(chǎn)品為目標(biāo),努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。公司不僅*提供專業(yè)的電子產(chǎn)品,電子設(shè)備及配件,半導(dǎo)體設(shè)備及配件,半導(dǎo)體耗材,辦公設(shè)備研發(fā)及銷售。真萍科技(真萍微電子裝備)是專業(yè)從事烘烤制程設(shè)備,半導(dǎo)體黃光區(qū)**設(shè)備,環(huán)境與可靠性試驗(yàn)設(shè)備,電鍍清洗設(shè)備,防潮防氧化專業(yè)設(shè)備等產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售供應(yīng)廠商,是以一批多年從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、防潮防氧化設(shè)備,半導(dǎo)體黃光區(qū)**設(shè)備,電鍍清洗設(shè)備等行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員,具有設(shè)計(jì)、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。,同時(shí)還建立了完善的售后服務(wù)體系,為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。誠(chéng)實(shí)、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的潔凈箱,干燥箱,高溫?zé)o氧烤箱,隧道爐。