前端活動(dòng)架位于中間活動(dòng)板的前端側(cè)，中間活動(dòng)板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副，前端活動(dòng)架與中間活動(dòng)板之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活?dòng)架的下端部裝設(shè)有吸盤(pán)安裝架，吸盤(pán)安裝架裝設(shè)有真空吸盤(pán)；固定安裝豎板的前表面開(kāi)設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽，前端活動(dòng)架螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊裝設(shè)有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸伸入至固定安裝豎板的活動(dòng)槽內(nèi)且活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸裝設(shè)有嵌插于活動(dòng)槽內(nèi)的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸裝設(shè)有位于活動(dòng)槽旁側(cè)且用于撥動(dòng)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型具有設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠性好的優(yōu)點(diǎn)。附圖說(shuō)明下面利用附圖來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明，但是附圖中的實(shí)施例不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的任何限制。圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型的分解示意圖。溧水區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！鐘樓區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)原理

    第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠在上下的第1、第二保管部20a、20b之間搬運(yùn)物品2。另外，在物品2被高架搬運(yùn)車(chē)50載置于第1交接端口30a的情況下，若第1起重機(jī)40a能夠搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至該裝載端口lp，若第1起重機(jī)40a不能搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至第1保管部20a，在變?yōu)槟軌虬徇\(yùn)的時(shí)刻將物品2從第1保管部20a搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp。另外，在物品2被高架搬運(yùn)車(chē)50載置于第二交接端口30b的情況下，若第二起重機(jī)40b能夠搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至該裝載端口lp，若第二起重機(jī)40b不能搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至第二保管部20b，在變?yōu)槟軌虬徇\(yùn)的時(shí)刻將物品2從第二保管部20b搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp。在搬運(yùn)系統(tǒng)100中，高架搬運(yùn)車(chē)50在不同的第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間搬運(yùn)物品2。高架搬運(yùn)車(chē)50的行駛速度被設(shè)定為比第1、第二起重機(jī)40a、40b快。其結(jié)果是，即便是在遠(yuǎn)離的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2之間也能夠通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)50在短時(shí)間內(nèi)搬運(yùn)物品2。此外。梁溪區(qū)真空搬運(yùn)機(jī)原理浦口區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    5.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述旋臂的下端面上開(kāi)設(shè)有導(dǎo)軌，搬運(yùn)管的頂端與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。6.如權(quán)利要求5所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述導(dǎo)軌上還滑動(dòng)連接有數(shù)個(gè)掛鉤，靠近搬運(yùn)管端的連接管通過(guò)掛鉤安裝在旋臂上。7.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述真空吸盤(pán)裝置包括控制頭、數(shù)個(gè)吸盤(pán)、操作手柄，控制頭包括頂端開(kāi)設(shè)有開(kāi)口一、底端開(kāi)設(shè)有開(kāi)口二的殼體，開(kāi)口一與搬運(yùn)管底端連通，開(kāi)口二通過(guò)數(shù)根支管與各吸盤(pán)一一對(duì)應(yīng)連通，開(kāi)口二上設(shè)置有位于殼體內(nèi)的閥門(mén)，閥門(mén)底部的觸頭螺栓位于殼體外部，且觸頭螺栓的底面低于吸盤(pán)的吸附接觸面，操作手柄固定在控制頭上。8.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述閥門(mén)包括閥片和數(shù)根外壁上套置有彈簧的光桿螺桿，光桿螺桿均勻分布并固定在開(kāi)口二的四周，閥片配合將開(kāi)口二封閉并活動(dòng)套置在各光桿螺桿下端，同時(shí)由彈簧抵住。9.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述控制頭帶有真空表，操作手柄為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄。10.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述真空泵安裝在箱體內(nèi)，箱體置于地面上；所述搬運(yùn)管為可伸縮式搬運(yùn)管。

    能夠?qū)⒃诘?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對(duì)保管架80的保管部320，第1、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外，針對(duì)保管架80的上表面80a的交接端口330，第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車(chē)50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外，第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外，在圖10中，示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子，但也可以代替該結(jié)構(gòu)，是在裝載端口lp的上方不設(shè)置保管部220，在第1、第二處理裝置tl1、tl2與第1、第二處理裝置tl1、tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。例如，也可以是在圖1所示的第1處理裝置tl1與第1處理裝置tl1之間、或者第二處理裝置tl2與第二處理裝置tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，與上述相同地，能夠?qū)⒃诘?、第二處理裝置tl1、tl2間(裝載端口lp間)產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。這樣，通過(guò)配置保管部220、和具備保管部320的保管架80，在搬運(yùn)系統(tǒng)100中，能夠容易地使物品2的保管數(shù)量增大。此外，在搬運(yùn)系統(tǒng)100中，保管部220或者保管架80的設(shè)置數(shù)量能夠任意地設(shè)定。以上，對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明。棲霞區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    圖7是表示通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是接著圖7，通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是接著圖8，通過(guò)高架搬運(yùn)車(chē)搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實(shí)施方式以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在以下的各圖中，使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說(shuō)明。在該xyz坐標(biāo)系中，將鉛直方向設(shè)為z方向，將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向，是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關(guān)于x、y、z方向的各方向，適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱(chēng)為+側(cè)(例如，+x側(cè))，將其相反側(cè)稱(chēng)為-x側(cè)(例如，-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等，對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中，使用物品2是foup的例子來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。浦口區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！梁溪區(qū)真空搬運(yùn)機(jī)原理

六合區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！鐘樓區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)原理

    搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對(duì)收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個(gè)。沿y方向排列的多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個(gè)例子，也可以是其他配置。另外。鐘樓區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)原理

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