真空計按測量原理分類

靜態(tài)液位真空計測量原理：利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的，因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計測量原理：在U型管的基礎(chǔ)上應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。熱傳導(dǎo)真空計測量原理：利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。示例：電阻真空計、熱偶真空計等。熱輻射真空計測量原理：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。 真空計有哪幾種常見的類型？天津mems皮拉尼真空計生產(chǎn)廠家

其他角度對真空計進行分類，如根據(jù)測量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計在這些方面也有區(qū)別。例如，MEMS電容薄膜真空計作為MEMS電容式傳感器的一種，具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點。它能夠滿足深空探測、空氣動力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y量儀器測量準確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求。

不同類型的真空計在測量原理、測量范圍、精度、使用條件以及適用場景等方面各有千秋。在選擇真空計時，需要根據(jù)具體的測量需求、工作環(huán)境以及預(yù)算等因素進行綜合考慮。同時，隨著科技的不斷發(fā)展，新型真空計的出現(xiàn)也將為真空測量領(lǐng)域帶來更多的選擇和可能性。 杭州電容薄膜真空計原廠家真空計的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。

按測量原理分類

電離真空計測量原理：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。示例：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等。放電管指示器測量原理：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般能作為定性測量。粘滯真空計測量原理：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。示例：振膜式真空計、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計等。場致顯微儀測量原理：以吸附和解吸時間與壓力關(guān)系計算壓力。分壓力真空計測量原理：利用質(zhì)譜技術(shù)進行混合氣體分壓力測量。示例：四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計、射頻質(zhì)譜計等。

隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展和進步，MEMS電容真空計將朝著更高靈敏度、更寬測量范圍、更好穩(wěn)定性和更低功耗的方向發(fā)展。同時，隨著物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展，MEMS電容真空計將實現(xiàn)更加智能化和遠程化的監(jiān)測和控制功能，為各個領(lǐng)域提供更加便捷和高效的真空度測量解決方案。綜上所述，MEMS電容真空計是一種基于MEMS技術(shù)制造的電容式真空計，具有高靈敏度、寬測量范圍、穩(wěn)定性好和功耗低等優(yōu)點。它在半導(dǎo)體制造、真空冶金、科學(xué)研究、航空航天和醫(yī)療設(shè)備等多個領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿?。溫度對皮拉尼真空計測量結(jié)果有何影響？

真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點：一、高精度真空計具有高精度度的特點，能夠測量非常微小的壓力變化。這種高精度使得真空計在需要精確控制真空度的場合中非常有用，如半導(dǎo)體制造、真空冶金和科學(xué)研究等領(lǐng)域。二、使用方便現(xiàn)代真空計通常采用數(shù)字化顯示屏幕，與傳統(tǒng)的指針表相比更加直觀和方便。數(shù)字化顯示使得用戶能夠更輕松地讀取測量結(jié)果，并進行數(shù)據(jù)記錄和分析。三、穩(wěn)定性能良好真空計具有良好的穩(wěn)定性，能夠在各種環(huán)境條件下保持測量精度。即使在一些惡劣的工業(yè)環(huán)境中，真空計也能夠工作良好，不易受外界干擾。這種穩(wěn)定性使得真空計在長時間監(jiān)測真空度的應(yīng)用中非?？煽?。四、測量范圍廣不同類型的真空計適用于不同的測量范圍，從粗真空到高真空都有相應(yīng)的真空計可供選擇。這使得真空計能夠滿足不同領(lǐng)域和應(yīng)用場景的需求。如何維護和保養(yǎng)電容真空計？浙江mems皮拉尼真空計設(shè)備廠家

真空計的維修與保養(yǎng)。天津mems皮拉尼真空計生產(chǎn)廠家

    真空計的歷史沿革1643年：意大利物理學(xué)家E.托里拆利進行大氣壓力實驗，開創(chuàng)了定量測量真空程度的先河。19世紀中葉：英國發(fā)明家Bourdon發(fā)明了形變真空計，是工業(yè)上應(yīng)用*****的***型粗真空計之一。1858年：德國玻璃工，在真空度需粗略指示場合仍應(yīng)用十分普遍。1874年：，解決了低真空和高真空的***壓力的測量，是目前**基本的基準***型真空計。1906年：M.皮喇尼發(fā)明電阻式真空計，解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測量問題。，是一種典型的***型粗真空真空計。1916年：，解決了高真空的測量問題，是目前實際應(yīng)用非常普遍的高真空真空計。1937年：，適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量，在真空冶金和機械工業(yè)中得到***應(yīng)用。1940年：，是典型的測量氣體組分及分壓強的真空計。 天津mems皮拉尼真空計生產(chǎn)廠家