其他角度對(duì)真空計(jì)進(jìn)行分類(lèi),如根據(jù)測(cè)量范圍、精度、使用條件等。不同類(lèi)型的真空計(jì)在這些方面也有區(qū)別。例如,MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。它能夠滿足深空探測(cè)、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y(cè)量?jī)x器測(cè)量準(zhǔn)確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求。
不同類(lèi)型的真空計(jì)在測(cè)量原理、測(cè)量范圍、精度、使用條件以及適用場(chǎng)景等方面各有千秋。在選擇真空計(jì)時(shí),需要根據(jù)具體的測(cè)量需求、工作環(huán)境以及預(yù)算等因素進(jìn)行綜合考慮。同時(shí),隨著科技的不斷發(fā)展,新型真空計(jì)的出現(xiàn)也將為真空測(cè)量領(lǐng)域帶來(lái)更多的選擇和可能性。 電離真空計(jì)的校準(zhǔn)的注意事項(xiàng)有哪些?四川陶瓷真空計(jì)供應(yīng)商
如何選擇真空計(jì)?考慮測(cè)量范圍與精度:不同的真空計(jì)有不同的測(cè)量范圍,需要根據(jù)實(shí)際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計(jì)適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計(jì)則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測(cè)量。精度是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的另一個(gè)重要因素。需要根據(jù)物體不同的尺寸、物理量等來(lái)選擇精度要求更高的真空計(jì)??紤]被測(cè)氣體與環(huán)境:部分真空計(jì)對(duì)被測(cè)氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計(jì)的陰極易受過(guò)量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測(cè)氣體是否會(huì)對(duì)真空計(jì)造成損傷。部分真空計(jì)會(huì)影響被測(cè)環(huán)境。例如,壓縮式真空計(jì)在測(cè)量時(shí)要壓縮被測(cè)氣體,這可能會(huì)使水蒸氣凝結(jié),從而影響被測(cè)真空環(huán)境。重慶mems皮拉尼真空計(jì)設(shè)備廠家真空計(jì)校準(zhǔn)后為什么不準(zhǔn)了?
按測(cè)量原理分類(lèi)
電離真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)、放射性電離真空計(jì)等。放電管指示器測(cè)量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般能作為定性測(cè)量。粘滯真空計(jì)測(cè)量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計(jì)、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)等。場(chǎng)致顯微儀測(cè)量原理:以吸附和解吸時(shí)間與壓力關(guān)系計(jì)算壓力。分壓力真空計(jì)測(cè)量原理:利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測(cè)量。示例:四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)等。
CRS系列陶瓷電容薄膜真空計(jì)是上海辰儀測(cè)量技術(shù)有限公司開(kāi)發(fā)的壓力真空計(jì),該系列產(chǎn)品具有高精度、溫度補(bǔ)償?shù)奶攸c(diǎn),可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設(shè)定點(diǎn)調(diào)整提高了產(chǎn)品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點(diǎn)穩(wěn)定性,包括突發(fā)的氣壓變化環(huán)境中。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性(EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。
體積小巧,易于集成,可以安裝在相對(duì)狹小的空間,便于在復(fù)雜的機(jī)器上安裝使用。此外,該裝置的數(shù)字信號(hào)處理支持快速、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量,這對(duì)保持工藝質(zhì)量至關(guān)重要。 皮拉尼真空計(jì)的主要結(jié)構(gòu)包括哪些部分?
陶瓷薄膜真空計(jì)主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優(yōu)異的機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性;金屬薄膜作為電容的感測(cè)元件,對(duì)真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結(jié)構(gòu);電路板則負(fù)責(zé)將電容變化轉(zhuǎn)換為可讀的電信號(hào);外殼則用于保護(hù)內(nèi)部組件免受外界環(huán)境的干擾。
高精度:陶瓷薄膜真空計(jì)具有較高的測(cè)量精度,能夠滿足對(duì)真空度精確控制的要求。高穩(wěn)定性:由于采用了陶瓷材料和薄膜傳感技術(shù),陶瓷薄膜真空計(jì)具有長(zhǎng)期的穩(wěn)定性,能夠在各種環(huán)境條件下保持測(cè)量精度。寬測(cè)量范圍:陶瓷薄膜真空計(jì)通常具有較寬的測(cè)量范圍,能夠覆蓋從低真空到高真空的不同壓力區(qū)域。響應(yīng)速度快:陶瓷薄膜真空計(jì)對(duì)真空度變化的響應(yīng)速度較快,能夠?qū)崟r(shí)反映真空度的變化。耐腐蝕性強(qiáng):陶瓷材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性能,使得陶瓷薄膜真空計(jì)能夠在腐蝕性氣體環(huán)境中保持測(cè)量精度。 在皮拉尼真空計(jì)中,熱敏電阻被放置在一個(gè)密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。安徽高質(zhì)量真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
皮拉尼真空計(jì)通常用于測(cè)量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。四川陶瓷真空計(jì)供應(yīng)商
幾種主要類(lèi)型真空計(jì)的詳細(xì)介紹和對(duì)比
真空計(jì)按真空度刻度方法分類(lèi)
真空計(jì)測(cè)量原理:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。特點(diǎn):對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)。示例:U型鎊壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)、熱輻射真空計(jì)等。相對(duì)真空計(jì)測(cè)量原理:由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)刻度,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度。特點(diǎn):讀數(shù)與氣體種類(lèi)有關(guān)。示例:熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等。 四川陶瓷真空計(jì)供應(yīng)商