在電池制造流程里,電解液的注入環(huán)節(jié)堪稱重中之重,其對溫濕度的要求近乎嚴苛。哪怕是極其細微的溫度波動,都可能引發(fā)電解液的密度與黏度發(fā)生改變。這看似不起眼的變化,卻會直接干擾注液量的控制。一旦注液量出現(xiàn)偏差,電池內(nèi)部的電化學(xué)反應(yīng)便無法在正常狀態(tài)下進行,導(dǎo)致電池容量大打折扣,使用壽命也大幅縮短。而當濕度攀升過高,空氣中游離的水分便會趁機混入電解液之中。這些水分會與電解液的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成一系列有害雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會無情地腐蝕電池內(nèi)部結(jié)構(gòu),嚴重破壞電池的穩(wěn)定性與安全性,給電池的使用埋下諸多隱患。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部溫度規(guī)格設(shè)定為 22.0°C 且可靈活調(diào)節(jié),以滿足不同控溫需求。山東光刻機恒溫恒濕
在現(xiàn)代精密制造領(lǐng)域,三坐標測量儀是無可替代的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于模具、汽車零部件等復(fù)雜形狀工件的精密測量工作中。它憑借高精度的測量能力,為工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量把控提供了支撐。然而,環(huán)境因素對其測量精度影響巨大。當溫度不穩(wěn)定時,測量儀的花崗巖工作臺、坐標軸導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件會因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形。這種變形看似微小,卻足以導(dǎo)致測量空間的坐標原點發(fā)生漂移,使得測量點的三維坐標值出現(xiàn)不可忽視的誤差。而在濕度波動時,潮濕空氣宛如無孔不入的 “幽靈”,悄然侵蝕儀器的電子線路板。這極易造成短路、信號干擾等嚴重問題,進而致使測量數(shù)據(jù)出現(xiàn)跳變、丟失等異常情況。此類狀況不僅嚴重影響測量的準確性與連續(xù)性,還會對整個生產(chǎn)流程造成連鎖反應(yīng),阻礙相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。江西恒溫恒濕實驗室精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。
在科研與工業(yè)制造等眾多領(lǐng)域,光學(xué)儀器如激光干涉儀、光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡等,發(fā)揮著無可替代的關(guān)鍵作用,而它們對運行環(huán)境的要求極為苛刻,尤其是溫濕度、潔凈度以及抗微震性能。精密環(huán)控柜的出現(xiàn),為這些精密儀器提供了理想的運行環(huán)境。以激光干涉儀為例,其憑借納米級別的高精度測量能力,在諸多精密領(lǐng)域不可或缺。但它對溫度極度敏感,哪怕有 0.01℃的溫度波動,由于儀器主體與測量目標熱脹冷縮程度的差異,會造成測量基線改變,致使測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動控制在極小范圍,有力保障了激光干涉儀測量的準確性。
我司憑借深厚的技術(shù)積累,自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),精度高達 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實現(xiàn)百級、十級、一級。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK(靜態(tài))的溫度穩(wěn)定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項目,打造了近乎完美的溫場環(huán)境,保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時,設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h,壓力穩(wěn)定性可達+/-3Pa,長達 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,確保實驗結(jié)果的準確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。提供培訓(xùn)服務(wù),讓用戶熟練掌握設(shè)備操作與維護要點。
在集成電路制造這一高精密的領(lǐng)域中,芯片生產(chǎn)線上的光刻工序堪稱關(guān)鍵的環(huán)節(jié),其對溫濕度的要求近乎達到苛刻的程度。即便是極其微小的 1℃溫度波動,都可能引發(fā)嚴重后果。光刻機內(nèi)部的光學(xué)鏡片會因熱脹冷縮,致使光路發(fā)生細微偏移。這看似毫厘之差,卻足以讓光刻圖案精度嚴重受損,使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差,甚至短路等問題,進而大幅拉低芯片的良品率。而在濕度方面,一旦濕度突破 50% 的警戒線,光刻膠便極易受潮,其感光度發(fā)生改變,導(dǎo)致曝光效果大打折扣,無疑同樣對芯片質(zhì)量產(chǎn)生不可忽視的負面影響。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對每個環(huán)節(jié)進行處理,使柜內(nèi)溫濕度達到超高精度??刮⒄鸷銣睾銤窆?yīng)商
根據(jù)高精密行業(yè)用戶的反饋,對產(chǎn)品進行持續(xù)優(yōu)化,不斷提升設(shè)備的適用性和穩(wěn)定性。山東光刻機恒溫恒濕
高精密恒溫恒濕技術(shù)憑借其無可比擬控制系統(tǒng),為眾多場景帶來穩(wěn)定且理想的環(huán)境。這一技術(shù)通過高精度傳感器,對環(huán)境溫濕度進行實時監(jiān)測,誤差能控制在極小范圍內(nèi),溫度可至 ±0.0002℃,濕度穩(wěn)定在 ±1%。其原理在于智能調(diào)控系統(tǒng),依據(jù)設(shè)定參數(shù),迅速調(diào)節(jié)制冷、制熱與加濕、除濕設(shè)備。當溫度升高,制冷系統(tǒng)快速啟動,降低溫度;濕度上升時,高效除濕裝置立即運作。在諸多需要嚴苛環(huán)境條件的場景中,它都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。例如,在需要長期保存對環(huán)境敏感的珍貴物品或樣本時,它能防止物品因溫濕度變化變質(zhì)、損壞。在進行精密實驗時,穩(wěn)定的溫濕度為實驗數(shù)據(jù)的準確性與可靠性提供保障,避免因環(huán)境波動干擾實驗結(jié)果??傊?,高精密恒溫恒濕技術(shù)是維持環(huán)境穩(wěn)定、保障各類工作順利開展的重要支撐。山東光刻機恒溫恒濕