從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小，主要是為了保證系統(tǒng)在整個(gè)工作范圍內(nèi)得到相對(duì)均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm，在靠近透鏡的一邊，minimun為0.08mm，在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光經(jīng)過(guò)物體散射回去的，因此整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小;同時(shí)為了保證精度要求，光斑也不能太大，上面的結(jié)果能夠滿足需求。得到好的出射光斑以后，如何接收物體表面的散射光并使其精確成像，是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問(wèn)題。在直入射式三角法測(cè)量中，物體沿激光入射方向移動(dòng)，物面并不垂直于成像光軸。那么在透鏡成像過(guò)程中(如圖1)，由幾何成像公式可證明： tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5]。要想達(dá)到理想的成像效果，光電探測(cè)器需依此條件放置。激光位移傳感器的優(yōu)勢(shì)是什么呢？佛山激光位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
值得一提的是，針對(duì)成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)，拉高S方向的MTF值，降低T方向MTF值的實(shí)現(xiàn)方式可以包含以下兩種：(方式1)成像物鏡6自身的S方向MTF值高，而T方向的MTF值低；(方式2)在成像物鏡6的T和S方向的MTF值接近時(shí)，在成像物鏡前或后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(例如，可以是平板玻璃等)，配合微調(diào)成像物鏡6與感光元件7之間的相對(duì)距離即像距，以達(dá)到S方向MTF值高，而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平y(tǒng)h深圳激光位移傳感器源頭直供廠家在精密測(cè)量領(lǐng)域中，非接觸式位移技術(shù)的使用正在迅速增長(zhǎng)。
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題，在于提供一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，通過(guò)該裝置來(lái)提高檢驗(yàn)的精度，減小設(shè)備尺寸節(jié)約空間。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板；所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端；所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上，且使所述激光位移傳感器的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置；所述激光紅外線接收擋板與所述微調(diào)裝置固接，且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。
本發(fā)明公開了一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件，在對(duì)成像物鏡和感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。本發(fā)明能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本，另外還有助于提高測(cè)量的準(zhǔn)確度，能夠更好地應(yīng)對(duì)使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來(lái)的不良影響。它可以用于測(cè)量液壓系統(tǒng)的位移，以提高系統(tǒng)的控制精度。
系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個(gè)系統(tǒng)由上位機(jī)、激光位移傳感器和平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測(cè)頭和監(jiān)視器組成。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)主要由平移臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制器、驅(qū)動(dòng)器、電源和二維電動(dòng)平移臺(tái)組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測(cè)頭和二維電動(dòng)平移臺(tái)。圖3為激光位移傳感器感測(cè)頭測(cè)量對(duì)象物原理。參考距離根據(jù)被測(cè)對(duì)象物的變化可測(cè)量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達(dá)到滿量程的0.3％，即精度達(dá)到6μm。高精度激光位移傳感器具有較高的精確度，能夠滿足精密測(cè)量的需求。深圳激光位移傳感器技術(shù)指導(dǎo)
高精度激光位移傳感器的響應(yīng)速度非?？欤軌?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)目標(biāo)物體的位移變化。佛山激光位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
在圖1所示的實(shí)施例中，成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式：(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片，(形式二)成像物鏡6是由多個(gè)鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述，本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，利用增加像散，在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下，拉高成像物鏡S方向的MTF值同時(shí)降低T方向上的MTF值，使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長(zhǎng)條狀態(tài)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果：降低激光位移傳感器中成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)降低了設(shè)備的成本；佛山激光位移傳感器規(guī)格尺寸齊全