過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統(tǒng)來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對多個光學頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、生物醫(yī)學、納米技術(shù)等多個領域。本地光譜共焦位移傳感器誠信合作
線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統(tǒng)可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。
此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設置在聚焦于測量點上且被測量點反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點。因此,使被測量點反射的綠色光G會聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點的位置處于一對一關系。
光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現(xiàn)通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應當理解的是,本實用新型的應用不限于上述的舉例,對本領域普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述說明加以改進或變換,所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權(quán)利要求的保護范圍。一條連接結(jié)構(gòu),實現(xiàn)便于裝配的同時,對入射光纖,接收光纖,多個導光光纖進行保護。創(chuàng)視智能嗯它的精度可以達到納米級別,適用于各種需要高精度位移測量的領域。
Preferencyly,在本實施例中發(fā)光件設置有2個,在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對探頭的影響,發(fā)光件左右對稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導光光纖也設置有2個,分別通過插槽3400與發(fā)光件連接,兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置,發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過導光光纖的傳導,從各個方向射出,使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。江蘇光譜共焦位移傳感器規(guī)格尺寸齊全
光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。本地光譜共焦位移傳感器誠信合作
光學頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當?shù)卦O計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。本地光譜共焦位移傳感器誠信合作