系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個(gè)系統(tǒng)由上位機(jī)、激光位移傳感器和平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測(cè)頭和監(jiān)視器組成。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)主要由平移臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制器、驅(qū)動(dòng)器、電源和二維電動(dòng)平移臺(tái)組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測(cè)頭和二維電動(dòng)平移臺(tái)。圖3為激光位移傳感器感測(cè)頭測(cè)量對(duì)象物原理。參考距離根據(jù)被測(cè)對(duì)象物的變化可測(cè)量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達(dá)到滿量程的0.3％，即精度達(dá)到6μm。激光位移傳感器在金屬行業(yè)的應(yīng)用案例。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

所述可伸縮導(dǎo)軌1包括一電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11、一No.1支撐件15、一第二支撐件16、一滑動(dòng)輪12、一伸縮制動(dòng)開關(guān)13以及一控制面板14；所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11包括一伺服電機(jī)(未圖示)、一雙直線導(dǎo)軌111以及一絲桿(未圖示)，所述絲桿設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111內(nèi)部，所述絲桿與所述雙直線導(dǎo)軌111動(dòng)聯(lián)接，所述伺服電機(jī)設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111的末端且與所述絲桿連接，所述伺服電機(jī)通過所述絲桿聯(lián)動(dòng)所述雙直線導(dǎo)軌111進(jìn)行伸縮；所述No.1支撐件15安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11固定端的底部，所述第二支撐件16安裝在所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11可伸縮端的底部；所述滑動(dòng)輪12設(shè)于所述第二支撐件16的底部，所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11可通過所述滑動(dòng)輪12進(jìn)行伸縮；所述伸縮制動(dòng)開關(guān)13設(shè)于所述第二支撐件16的側(cè)面，用于伸縮制動(dòng)的開啟與關(guān)閉；所述控制面板14與所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11電連接，所述控制面板14用于控制所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11的伸縮距離。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求它可以用于測(cè)量物體的形狀和輪廓，以提供準(zhǔn)確的幾何信息。

傳統(tǒng)的接觸式平面檢測(cè)精度低、穩(wěn)定性差及對(duì)對(duì)象物檢測(cè)條件要求苛刻，已逐漸被現(xiàn)代非接觸式平面檢測(cè)所替代。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)以其高精度、高分辨率及不受對(duì)象物材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響等優(yōu)點(diǎn)，可對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行平面檢測(cè)。介紹系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和激光位移傳感器的工作機(jī)理，并進(jìn)行平面定性檢測(cè)和定量檢測(cè)試驗(yàn)，用OpenGI。繪制及擬合三維曲面。試驗(yàn)結(jié)果表明，該系統(tǒng)平面檢測(cè)結(jié)果較好地反映出對(duì)象物平面起伏情況，并且達(dá)到系統(tǒng)的精度要求。

在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽踊∈赶虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS，使得解析結(jié)果滿足條件；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離使得解析結(jié)果滿足條件。反光元件，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后，入射到感光元件。激光位移傳感器可以測(cè)量位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等精密的幾何測(cè)量。

激光位移傳感器的測(cè)量精度容易受到被測(cè)物體表面特征的影響，為了減小測(cè)量誤差，在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測(cè)量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻。針對(duì)傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求，半導(dǎo)體激光器體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求，但其光束質(zhì)量并不理想，需要對(duì)其進(jìn)行光束整形。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對(duì)稱:快軸發(fā)散角較大，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布，發(fā)光范圍的半寬度為0.6～0.8μm，慢軸發(fā)散角的半角典型值為3～6°，光束分布不規(guī)則，發(fā)光范圍半寬度為50～100μm。因此，在不允許能量損失的情況下，要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573；但由于光束的快軸能量呈高斯分布，通常取半寬度(FWHM)為20°，此時(shí)NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些，但考慮到工藝問題，不宜過小，選定為2.5mm。為了便于設(shè)計(jì)，將系統(tǒng)倒置，整個(gè)系統(tǒng)的主要要求為:工作波長為785±10nm，像方NA=0.342，像距l(xiāng)′=2.5mm，物距l(xiāng)=40～60mm，焦距f=3～4mm。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的位移變化，提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量，可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求

如權(quán)利要求2所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)、一電子測(cè)量儀以及一微調(diào)平臺(tái)；所述微調(diào)平臺(tái)設(shè)于所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌上端的尾部，所述微調(diào)平臺(tái)的末端向上設(shè)有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺(tái)的前端；所述電子測(cè)量儀的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)。如權(quán)利要求3所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測(cè)量儀抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接。徐匯區(qū)激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求