就我國(guó)氫氟酸產(chǎn)能區(qū)域分布情況而言,目前我國(guó)氫氟酸產(chǎn)能分布在全國(guó)各省份,與螢石生產(chǎn)企業(yè)分布相似,以江西、福建、浙江、內(nèi)蒙古為主,分別占比達(dá)19%、16%、13%和18%。全球高純度氫氟酸的生產(chǎn)技術(shù)和供給主要被Stella、、森田化學(xué)等日企所掌握,由于行業(yè)壁壘高,技術(shù)工藝難以突破,我國(guó)電子級(jí)氫氟酸行業(yè)起步較晚。近年來(lái),國(guó)內(nèi)氟化氫行業(yè)發(fā)展也將更多重心轉(zhuǎn)向高純度氫氟酸上。2015年前我國(guó)氫氟酸產(chǎn)能基本保持在220萬(wàn)噸左右,隨“供給側(cè)改變”低端產(chǎn)能陸續(xù)淘汰出清,市場(chǎng)集中度有所提高,隨著行業(yè)回暖,產(chǎn)能有所回升,目前國(guó)內(nèi)氫氟酸單家企業(yè)年產(chǎn)能多為3萬(wàn)-7萬(wàn)噸/年,行業(yè)中小裝置居多、較為分散,以浙江公司15萬(wàn)噸產(chǎn)能為首,2020年合計(jì)產(chǎn)能228.7萬(wàn)噸。氫氟酸可以催化一些化學(xué)反應(yīng),促進(jìn)反應(yīng)速率。安徽40%氫氟酸購(gòu)買(mǎi)
氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液,為無(wú)色透明至淡顏色發(fā)煙液體。有泛酸性氣味。分子式 HF-H2O。相對(duì)密度 1.15~1.18。沸點(diǎn) 112.2℃。氫氟酸是一種劇毒和強(qiáng)腐蝕性的物質(zhì)。其本身易揮發(fā)并且能與水完全互溶而引起強(qiáng)烈腐蝕。氫氟酸對(duì)金屬材料的腐蝕現(xiàn)象主要有:(一)均勻腐蝕:氫氟酸對(duì)金屬材料的腐蝕是電化學(xué)腐蝕。其腐蝕是按電化學(xué)過(guò)程進(jìn)行,即陽(yáng)極產(chǎn)生金屬溶解(均勻腐蝕),陰極析出氫。(二)氫鼓泡和氫脆。氫氟酸介質(zhì)與碳鋼接觸生成氟化鐵和氫原子: Fe+2HF→FeF2+H2 氟化鐵是一種致密的銹蝕物,附在金屬表面形成一種保護(hù)膜,使氟化氫的擴(kuò)散速度降低。對(duì)設(shè)備起到保護(hù)作用。但當(dāng)介質(zhì)溫度超過(guò)65℃時(shí),該層銹蝕物的保護(hù)膜就將剝落,使金屬繼續(xù)被腐蝕。腐蝕反應(yīng)產(chǎn)生的氫原子對(duì)鋼材有很強(qiáng)的滲透能力。這種滲透能力與溫度有關(guān),溫度越高,滲透越強(qiáng)。安徽40%氫氟酸購(gòu)買(mǎi)氫氟酸可以用于制備氟化有機(jī)物,如氟代烷烴和氟代酯類(lèi)。
氫氟酸是一種極具腐蝕性的化學(xué)品,因此在儲(chǔ)存時(shí)需要注意以下幾點(diǎn):儲(chǔ)存容器:選擇耐腐蝕性的容器,如玻璃瓶、聚乙烯瓶或特殊的塑料容器。避免使用金屬容器,因?yàn)闅浞釙?huì)與金屬反應(yīng)產(chǎn)生危險(xiǎn)的氣體。儲(chǔ)存環(huán)境:氫氟酸應(yīng)儲(chǔ)存在干燥、通風(fēng)良好的地方,遠(yuǎn)離火源、熱源和可燃物。避免陽(yáng)光直射和高溫環(huán)境。分離儲(chǔ)存:氫氟酸應(yīng)與其他化學(xué)品分開(kāi)儲(chǔ)存,特別是堿性物質(zhì)和可燃物。標(biāo)識(shí)和標(biāo)簽:儲(chǔ)存容器上應(yīng)明確標(biāo)識(shí)氫氟酸的名稱(chēng)、濃度和危險(xiǎn)性。使用標(biāo)簽標(biāo)明儲(chǔ)存日期和相關(guān)的安全信息。防護(hù)措施:儲(chǔ)存氫氟酸的區(qū)域應(yīng)配備必要的防護(hù)設(shè)施,如護(hù)目鏡、防護(hù)手套和防護(hù)服。確保操作人員具備相關(guān)的安全知識(shí)和技能。防止泄露:定期檢查儲(chǔ)存容器的完整性,確保沒(méi)有泄漏。如發(fā)現(xiàn)泄漏,應(yīng)立即采取適當(dāng)?shù)膽?yīng)急措施,如使用吸收劑清理泄漏物,并通風(fēng)處理泄漏區(qū)域。
氫氟酸與金屬反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生金屬的氟化物鹽和氫氣。氫氟酸是一種強(qiáng)酸,它能夠與金屬發(fā)生反應(yīng),這是因?yàn)闅浞嶂械臍潆x子(H+)能夠與金屬表面的氧化物或氫氧化物反應(yīng),生成金屬離子和水。金屬的氟化物鹽是由金屬離子與氟離子(F-)結(jié)合而成的。例如,氫氟酸與鈉(Na)反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生氟化鈉(NaF)鹽:2HF + 2Na → 2NaF + H2↑在這個(gè)反應(yīng)中,氫氟酸中的氫離子與鈉金屬反應(yīng)生成氟化鈉鹽,同時(shí)釋放出氫氣。氫氟酸與其他金屬,如鋁、鎂等也會(huì)發(fā)生類(lèi)似的反應(yīng),生成相應(yīng)的氟化物鹽和氫氣。需要注意的是,氫氟酸是一種劇毒的腐蝕性物質(zhì),具有強(qiáng)烈的刺激性和腐蝕性。在進(jìn)行氫氟酸與金屬反應(yīng)時(shí),必須采取適當(dāng)?shù)陌踩胧?,如佩戴防護(hù)手套和護(hù)目鏡,確保反應(yīng)在適當(dāng)?shù)臈l件下進(jìn)行。氫氟酸使用時(shí)必須遵循相應(yīng)的安全要求和操作規(guī)范。
目前,因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同,可將其劃分為四個(gè)檔次:①低檔產(chǎn)品,用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;②中低檔產(chǎn)品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;③中優(yōu)越產(chǎn)品,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術(shù)的制作;④優(yōu)越產(chǎn)品,適用于0.09~0.2μm和<0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法:采用高密度聚乙烯(或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯)專(zhuān)業(yè)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見(jiàn)是先通過(guò)離子交換柱和微過(guò)濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類(lèi)膜技術(shù)進(jìn)一步處理,之后配合殺細(xì)菌和超微過(guò)濾便可得到高純水。氫氟酸常被用于蛋白質(zhì)研究中的去去骨架試劑,以幫助了解蛋白質(zhì)的結(jié)構(gòu)和功能。安徽40%氫氟酸購(gòu)買(mǎi)
在使用氫氟酸時(shí)必須遵循相應(yīng)的安全操作程序和應(yīng)急處理程序。安徽40%氫氟酸購(gòu)買(mǎi)
電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)方法的難點(diǎn):1. 分析控制與產(chǎn)品檢測(cè)要求高。制備電子級(jí)氫氟酸所應(yīng)用的測(cè)試儀器如下: (1)電感耦合等離子高頻質(zhì)譜分析儀( ICP - MS);(2)電感耦合等離子原子發(fā)射分析儀( ICP - AES);(3)原子吸收分光光度計(jì);(4)氧原子發(fā)生無(wú)焰原子吸收分析儀;(5)離子色譜分析儀;(6)激光散射液體微粒計(jì)數(shù)器;(7)水表面雜質(zhì)分析系統(tǒng);(8)原子間力顯微鏡;(9)光學(xué)顯微鏡微粒計(jì)數(shù)器;(10)掃描電子顯微鏡;(11)光學(xué)膜厚測(cè)定和表面仿形儀;(12)表面張力測(cè)定儀;(13) 空氣中塵埃微粒測(cè)定儀;(14)水電阻率測(cè)定儀。2. 對(duì)水質(zhì)要求高,要求水的電阻率≥18.0MΩ·cm。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見(jiàn)是先通過(guò)離子交換柱和微過(guò)濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類(lèi)膜技術(shù)進(jìn)一步處理,之后配合殺細(xì)菌和超微過(guò)濾便可得到高純水。安徽40%氫氟酸購(gòu)買(mǎi)