干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣，主要有以下幾個方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；4）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。5）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；浚和(上海)儀器有限公司致力于提供干式真空泵，歡迎新老客戶來電！湖南經(jīng)濟(jì)干式真空泵維修

日本KASHIYAMAMU20M18P/H干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單一、技術(shù)參數(shù)：式樣：MU20M18P/HMAX排氣速度（L/min）：30000達(dá)到壓力（Pa）：0.5電源電壓：3相AC200-220V消費(fèi)電力（KW）：2.0KW外型尺寸WHL[mm]：500×950×1100質(zhì)量【kg】：340kg二、配置清單：序號描述數(shù)量備注1MU20M18P/H主機(jī)一臺，電壓AC三相200V1標(biāo)配2電源線1標(biāo)配3冷卻水管路接頭1標(biāo)配4操作手柄1標(biāo)配5產(chǎn)品合格證1標(biāo)配6消音器（原廠件，選配）未包含7入口過濾器（選配，非原廠件）未包含設(shè)備原產(chǎn)地：日本湖南經(jīng)濟(jì)干式真空泵維修浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供干式真空泵的公司，歡迎您的來電！

日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單一、技術(shù)參數(shù)：式樣：MU600P/HMAX排氣速度（L/min）：10000達(dá)到壓力（Pa）：0.5電源電壓：3相AC200-220V消費(fèi)電力（KW）：0.95KW外型尺寸WHL[mm]：350×520×630質(zhì)量【kg】：130kg二、配置清單：序號描述數(shù)量備注1MU600P/H主機(jī)一臺，電壓AC三相200V1標(biāo)配2電源線1標(biāo)配3冷卻水管路接頭1標(biāo)配 4操作手柄1標(biāo)配5產(chǎn)品合格證1標(biāo)配6消音器（原廠件，選配）未包含7入口過濾器（選配，非原廠件）未包含設(shè)備原產(chǎn)地：日本

干式真空泵的種類特征螺桿式：利用螺桿型Rotor進(jìn)行排氣輸送的容積移送式干式真空泵。羅茨式：在3片式Rotor和Casing之間的空間運(yùn)送氣體的容積移送式干式真空泵。爪式：復(fù)數(shù)的爪型Rotor以軸平行排列，進(jìn)行相互逆回轉(zhuǎn)來移送氣體的干式真空泵。渦旋式：利用渦旋型的Stage及Rotor的運(yùn)動組合來進(jìn)行排氣的真空泵。隔膜式：藉由利用氣缸內(nèi)的隔膜的來回運(yùn)動來進(jìn)行排氣的容積移送式真空泵。活塞式：利用氣缸內(nèi)的活塞的來回運(yùn)動來進(jìn)行排氣壓縮以及排氣的容積移送式真空泵。干式真空泵的種類特征螺桿式：利用螺桿型Rotor進(jìn)行排氣輸送的容積移送式干式真空泵。羅茨式：在3片式Rotor和Casing之間的空間運(yùn)送氣體的容積移送式干式真空泵。爪式：復(fù)數(shù)的爪型Rotor以軸平行排列，進(jìn)行相互逆回轉(zhuǎn)來移送氣體的干式真空泵。渦旋式：利用渦旋型的Stage及Rotor的運(yùn)動組合來進(jìn)行排氣的真空泵。隔膜式：藉由利用氣缸內(nèi)的隔膜的來回運(yùn)動來進(jìn)行排氣的容積移送式真空泵。活塞式：利用氣缸內(nèi)的活塞的來回運(yùn)動來進(jìn)行排氣壓縮以及排氣的容積移送式真空泵。干式真空泵，就選浚和(上海)儀器有限公司，歡迎客戶來電！

KASHIYAMANeodry7E真空泵技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品介紹：KASHIYAMA為客戶降低真空泵使用成本付出長期不懈的努力，NeoDrySeries小型空冷多級干式羅茨真空泵由此誕生。所抽氣體為潔凈空氣或氮?dú)鈺r，維護(hù)周期長達(dá)三年。廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、鋰電池、醫(yī)藥生物、化學(xué)材料等 領(lǐng)域。主要參數(shù)：1.采用空冷式設(shè)計(jì)降溫2.轉(zhuǎn)子與內(nèi)腔非接觸式物理構(gòu)造設(shè)計(jì)3.*Zui大排氣速度110L/min4.極限真空泵5Pa(氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉狀態(tài))5.選配氣鎮(zhèn)閥后，可排出水與有機(jī)溶液，Zui大水份處理量120g/hour6.*遠(yuǎn)程或聯(lián)動輸出端子7.電動機(jī)功率：0.4kW8.噪音小于65dB(A)9.吸氣口徑：NW25排氣口徑：NW2510.重量20KG11.電源電壓單相AC220V12.外尺寸：196Wx360Lx219Hmm基本配置：1.主機(jī)一臺2.選程起動端子一個3.電源線1.5m一根4.說明書一本浚和(上海)儀器有限公司致力于提供干式真空泵，竭誠為您服務(wù)。湖南經(jīng)濟(jì)干式真空泵維修

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羅茨泵和干式螺桿泵的對比

羅茨泵羅茨泵是靠泵腔內(nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。羅茨泵無內(nèi)壓縮，因此它不可以單獨(dú)抽氣，需配備前級泵使用。

羅茨泵的特點(diǎn)：啟動快，能耗少，低運(yùn)行和低維護(hù)成本，抽速大、效率高，并且對泵送氣體中含有的少量水蒸氣和灰塵不敏感。

羅茨泵和干式螺桿泵，二者相似的地方主要體現(xiàn)在應(yīng)用領(lǐng)域上，它們都可以用在真空凍干、電力電子行業(yè)、光伏太陽能、薄膜蒸發(fā)、抽高溫氣體、抽蒸汽、單晶硅、燈泡燈管制造（氣體置換）、焊接爐、核能工業(yè)、化工、金屬工業(yè)等工業(yè)領(lǐng)域中。 湖南經(jīng)濟(jì)干式真空泵維修