干式真空泵與油泵的性能比較項目ＮｅｏＤｒｙSeries干式真空泵油泵特征○?不使用液體密封泵腔，可以得到干凈的真空?！?使用油密封得不到干凈的真空。?排氣時會在排氣口產(chǎn)生油霧。?根據(jù)使用情況，密封用油中會混入水蒸氣·溶劑使油質(zhì)變差影響性能。?泵的周圍會因油霧污染環(huán)境。維護性○?基本上免維護△?因油劣化產(chǎn)生定期油的更換維護很煩雜。（根據(jù)使用情況，需要頻繁更換）維護成本○?潔凈排氣時維護周期可為3年一次。長期運行可降低維護成本。?更換部件很少，O/H費用便宜。?抽 氣部分無物理接觸，無因磨損更換部件?！?油需定期更換產(chǎn)生費用。（使用氟油的情況費用較高）?需要更換葉片及閥門?？：?上海)儀器有限公司致力于提供干式真空泵，有需求可以來電咨詢！廣西易操作干式真空泵售后

干式真空泵的種類特征螺桿式：利用螺桿型Rotor進行排氣輸送的容積移送式干式真空泵。羅茨式：在3片式Rotor和Casing之間的空間運送氣體的容積移送式干式真空泵。爪式：復(fù)數(shù)的爪型Rotor以軸平行排列，進行相互逆回轉(zhuǎn)來移送氣體的干式真空泵。渦旋式：利用渦旋型的Stage及Rotor的運動組合來進行排氣的真空泵。隔膜式：藉由利用氣缸內(nèi)的隔膜的來回運動來進行排氣的容積移送式真空泵。活塞式：利用氣缸內(nèi)的活塞的來回運動來進行排氣壓縮以及排氣的容積移送式真空泵。廣西易操作干式真空泵售后浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供干式真空泵的公司，有需求可以來電咨詢！

日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單一、技術(shù)參數(shù)：式樣：MU600P/HMAX排氣速度（L/min）：10000達到壓力（Pa）：0.5電源電壓：3相AC200-220V消費電力（KW）：0.95KW外型尺寸WHL[mm]：350×520×630質(zhì)量【kg】：130kg二、配 置清單：序號描述數(shù)量備注1MU600P/H主機一臺，電壓AC三相200V1標配2電源線1標配3冷卻水管路接頭1標配4操作手柄1標配5產(chǎn)品合格證1標配6消音器（原廠件，選配）未包含7入口過濾器（選配，非原廠件）未包含設(shè)備原產(chǎn)地：日本

日本KASHIYAMAMU30N18P/H干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單一、技術(shù)參數(shù)：式樣：MU30N18P/HMAX排氣速度（L/min）：50000達到壓力（Pa）：0.5電源電壓：3相AC200-220V消費電力（KW）：1.6KW外型尺寸WHL[mm]：1000×450×950質(zhì)量【kg】：410kg二、配置 清單：序號描述數(shù)量備注1MU30N18P/H主機一臺，電壓AC三相200V1標配2電源線1標配3冷卻水管路接頭1標配4操作手柄1標配5產(chǎn)品合格證1標配6消音器（原廠件，選配）未包含7入口過濾器（選配，非原廠件）未包含設(shè)備原產(chǎn)地：日本浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供干式真空泵的公司，歡迎您的來電哦！

日本KASHIYAMAMU20M18P/H干式真空泵技術(shù)參數(shù)&配置清單一、技術(shù)參數(shù)：式樣：MU20M18P/HMAX排氣速度（L/min）：30000達到壓力（Pa）：0.5電源電壓：3相AC200-220V消費電力（KW）：2.0KW外型尺寸WHL[mm]：500×950×1100質(zhì)量【kg】：340kg二、配置清單：序號描述數(shù)量備注1MU20M18P/H主機一臺，電壓AC三相200V1標配2電源線1標配3冷卻水管路接頭1標配4操作手柄1標配5產(chǎn)品合格證1標配6消音器（原廠件，選配）未包含7入口過濾器（選配，非原廠件）未包含設(shè)備原產(chǎn)地：日本浚和(上海)儀器有限公司為您提供干式真空泵，有需要可以聯(lián)系我司哦！吉林易裝拆干式真空泵維修

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干式真空泵的應(yīng)用范圍比較廣，主要有以下幾個方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。5）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；廣西易操作干式真空泵售后