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湖北高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

來源: 發(fā)布時間:2022-05-19

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO)



規(guī)格:

①內(nèi)尺寸(寬×深×高mm):660×500×660

②外形尺寸(寬×深×高mm):1300×1000×1750

③內(nèi)容積:216L

④棚板層數(shù)/層間距:19層/30mm

⑤排氣口:40KF法蘭

⑥氮氣入口:Rc1/2

⑦冷卻水入口:Rc3/4

⑧熱水出口:Rc3/4,2個

⑨電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 19A

⑩重量:約1100kg



選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機(jī)/ 運行/ 故障)、以太網(wǎng)通信功能



------------- 浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫?zé)o氧烘箱,有想法的可以來電咨詢!湖北高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

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使用高溫爐應(yīng)該選擇儲備哪些備件?


1、加熱元件和隔熱屏

      加熱元件和隔熱屏蔽作為手頭備件是特別重要的,因為它們是高溫爐的心臟,具有許多不同的大小和配置,往往又不是一個容易儲存的部件。這些部件會隨著時間的推移緩慢降解,具體取決于它們所接觸到的溫度、氣體和污染物。檢查加熱器和屏蔽工作效率的一個簡單方法,是將給定溫度下熱區(qū)的用電量與操作手冊中列出的功耗進(jìn)行比較。如果總體KVA使用量增加,或者電壓和電流與這些數(shù)字嚴(yán)重偏離,則可能表示加熱器有一定損耗。溫度均勻性測試還可以提供有關(guān)加熱區(qū)狀況的重要數(shù)據(jù)。


2、傳感器

  熱電偶通常是用于測量溫度的主要傳感器。雖然它們通常被護(hù)套延長壽命,但隨著時間的推移,它們?nèi)菀灼?,需要定期更換,以確保準(zhǔn)確的反饋溫度。真空和壓力傳感器也需要定期檢查精度和性能。許多用戶都有一個校準(zhǔn)計劃來做到這一點。


3、密封

  密封件相對便宜,建議在進(jìn)行維護(hù)時更換,以確保真空完整性。對于正壓運轉(zhuǎn)的爐子,室內(nèi)氣廢氣閥是另一個應(yīng)作為備用物品保留的物品。這些閥門可能暴露于許多揮發(fā)性物質(zhì),它們往往聚集在這個閥門上,通過他們冷卻排出爐體。 山東高溫?zé)o氧烘箱規(guī)格參數(shù)浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫?zé)o氧烘箱,有想法的不要錯過哦!

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C1-007厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)


●用途:電子元器件高溫處理工藝。

●用途:光刻工藝后段,光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。

●程序運轉(zhuǎn)功能,有自動/手動兩種操作模式。

●快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等。

●在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異

●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置。


室溫+30~360℃ 規(guī)格參數(shù):

溫度范圍室溫:+30~360℃

溫度分布精度:±4.0℃(at 360℃)

溫度上升時間:60min(室溫→360℃)

溫度下降時間:90min(360℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時間:約45分鐘

運轉(zhuǎn)功能:定值運轉(zhuǎn)、程序運轉(zhuǎn)

裝備:氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等

內(nèi)尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V



室溫+50~600℃ 規(guī)格參數(shù):

溫度范圍室溫:室溫+50~600℃

溫度分布精度:±8.0℃(at 600℃)

溫度上升時間:90min(室溫→600℃)

溫度下降時間:120min(600℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時間:約45分鐘

運轉(zhuǎn)功能:定值運轉(zhuǎn)、程序運轉(zhuǎn)

裝備:氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等

內(nèi)尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V



DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)


潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。


特點:

● MAX工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級,可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時間短,N2消耗量極低。

● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。

● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對氣體進(jìn)行冷卻回收。

● 液晶觸摸屏操作,自動/手動兩種運行模式。


安全性:

● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置。


浚和(上海)儀器有限公司是一家專業(yè)提供高溫?zé)o氧烘箱的公司,有想法的可以來電咨詢!

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DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO)


規(guī)格:

①內(nèi)尺寸(寬×深×高mm):660×500×660

②外形尺寸(寬×深×高mm):1450×1060×1960

③內(nèi)容積:216L

④棚板層數(shù)/層間距:19層/30mm

⑤排氣口:40KF法蘭

⑥氮氣入口:Rc1/2

⑦冷卻水入口:Rc3/4

⑧熱水出口:Rc3/4,2個

⑨電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 27A

⑩重量:約1100kg


選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機(jī)/ 運行/ 故障)、以太網(wǎng)通信功能


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浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫?zé)o氧烘箱,期待您的光臨!浙江高溫?zé)o氧烘箱DTN430C

浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫?zé)o氧烘箱,竭誠為您服務(wù)。湖北高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

DNN430C厭氧高溫氣氛爐 相關(guān)參數(shù)及規(guī)格(YAMATO)


規(guī)格:

內(nèi)尺寸(寬×深×高mm):450×450×450

外形尺寸(寬×深×高mm):1090×950×1540

內(nèi)容積:91L

棚板層數(shù)/層間距:12層/30mm

排氣口:40KF法蘭

氮氣入口:Rc1/2

冷卻水入口:Rc3/4

熱水出口:Rc3/4,2個

電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 16A

重量:約800kg



選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機(jī)/ 運行/ 故障)、以太網(wǎng)通信功能



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湖北高溫?zé)o氧烘箱固化半導(dǎo)體晶圓

浚和(上海)儀器有限公司是一家供應(yīng)國內(nèi)外先進(jìn)儀器和設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商和服務(wù)商,致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來,持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業(yè)提供先進(jìn)的產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù)。

浚和在不斷引進(jìn)國內(nèi)外先進(jìn)儀器設(shè)備的同時,結(jié)合行業(yè)和市場需求,加強(qiáng)和客戶之間的溝通,并與國際上多家**儀器設(shè)備制造商保持著長期穩(wěn)定的合作關(guān)系,不定期地與合作商進(jìn)行技術(shù)交流,努力加強(qiáng)自身技術(shù)力量。公司配備了數(shù)名有著多年行業(yè)經(jīng)驗的技術(shù)人員,依靠雄厚的技術(shù)實力、科學(xué)合理的配置方案、專業(yè)的安裝調(diào)試和周到的售后服務(wù),得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經(jīng)營產(chǎn)品包括:等離子清洗機(jī)、真空泵、噴霧干燥器、數(shù)字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機(jī)、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等,目前主要合作品牌有:日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時,公司還提供專業(yè)的技術(shù)服務(wù),如設(shè)備的維護(hù)、驗證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點為立足點,以客戶需求為導(dǎo)向,不斷地提高自身專業(yè)技術(shù)能力,不停地完善客戶服務(wù)質(zhì)量,在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神,力求與客戶共同進(jìn)步,為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。

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