需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,**終形成薄膜。真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子槍加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機采購,推薦無錫光潤!推薦真空鍍膜機特點
與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,將反應(yīng)氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或濺射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對面的電極上。高頻電源一端接地,一端通過匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負電,在達到動態(tài)平衡時,靶處于負的偏置電位,從而使正離子對靶的濺射持續(xù)進行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個數(shù)量級。江西**真空鍍膜機廠家無錫光潤,專業(yè)真空鍍膜機供應(yīng)商!
任何固體材料在大氣環(huán)境下都會溶解和吸附一些氣體,當(dāng)材料置于真空狀態(tài)時就會因為脫附、解析而出氣。出氣的速率與材料中的氣體含量成正比。不同的材料解析的氣體成分及解析的溫度及時間是不同的。各種泵對不同成分的氣體抽氣速率也是不一樣的。抽真空時,首先抽走的是容器中的大氣(這部份氣體很快被抽走,10-1Pa時爐內(nèi)氣體基本抽盡),然后是材料表面解吸的氣體、材料內(nèi)部向表面擴散出來的氣體,以及通過器壁滲透到真空中的氣體.因此在貨品進入爐內(nèi)之后,都要進行保溫除氣,因為貨品在進爐前會吸附一些雜質(zhì)氣體,我們要通過適當(dāng)?shù)募訜幔屵@些氣體解析脫附貨品的表面。以不銹鋼為例,除了在它表面吸附的氣體之外,在不斷的加熱保溫過程中鋼內(nèi)部還會析出一些氣體,這些氣體的存在往往對薄膜的純度和顏色有較大的影響,對膜層附著力影響也很大。
霍爾離子源霍爾離子源是陽極在一個強軸向磁場的協(xié)作下將工藝氣體等離子化。這個軸向磁場的強不平衡性將氣體離子分離并形成離子束。由于軸向磁場的作用太強,霍爾離子源離子束需要補充電子以中和離子流。常見的中和源就是鎢絲(陰極)。霍爾離子源的特點是:1簡單耐用。2離子電流與氣體流量幾乎成比例,可獲得較大離子電流。3鎢絲一般橫跨在出口,收離子束沖擊很快會銷蝕,尤其對反應(yīng)氣體,一般十幾個小時就需更換。并且鎢絲還會有一定的污染。為解決鎢絲的缺點。有采用較長壽中和器的,如一個小的空心陰極源?;魻栯x子源可以說是應(yīng)用較廣的離子源。如Veece的MarkI和MarkII離子源。適用的如國產(chǎn)的大部分離子源。如果鍍耐磨裝飾膜,膜厚大,需要與機體結(jié)合力強,而均勻性要求不高。可用霍爾離子源。其離子電流大,且離子能級也高。如果是鍍光學(xué)膜,則主要要求離子電流能級集中,離子電流均勻性好。故建議用Kaufman或RF離子源,有條件的可采用ECR(電子回旋)或ICP(感應(yīng)耦合)離子源。另外,也要考慮到耗材,如用鎢絲的霍爾源在反應(yīng)氣體中十來個小時就燒斷了。而離子源如ICP離子源可在反應(yīng)氣體中連續(xù)工作幾百小時。購買真空鍍膜機,歡迎來無錫光潤真空!
鍍燈具鋁膜,因為是金屬膜,當(dāng)然是直流磁控濺射好。速度快。中頻適合鍍化合物膜。如果選離子源,霍爾離子源就夠了。但要注意你的燈具大小。一般霍爾離子源是圓形,離子源覆蓋的面積有限。你一定要用離子束將工件全部覆蓋到。若普通霍爾離子源太小,可考慮用陽極層離子源。離子源難起輝的一個原因是磁場太弱激發(fā)不起等離子體。離子源的種類雖多,但基本上是先產(chǎn)生等離子體,然后從等離子體中抽出氣體離子并加速成離子束,然后需要注入電子中和離子流?,F(xiàn)在國內(nèi)離子源陰極一般都用鎢絲,很簡單方便。但需要定期更換。尤其是光學(xué)鍍膜時用氧氣,鎢絲一般只能用10個小時左右。另外鎢絲燒蝕會污染膜層。購買真空鍍膜機,歡迎來電!品質(zhì)真空鍍膜機私人定做
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在離子源推進器實驗中,人們發(fā)現(xiàn)有推進器材料從離子源飛出,這就開始了離子源在材料,特別是材料表面改性的應(yīng)用。離子源的另一個重要應(yīng)用是高能物理。具體就是離子加速器。簡單地說就是用一臺離子源產(chǎn)生某種材料的離子,這個離子就在磁性環(huán)路上加速,從而轟擊一個靶,產(chǎn)生新的物質(zhì)或揭示新的物理規(guī)律。真空鍍膜中用到的離子源種類較多。主要有:高頻離子源,弧放電離子源,kaufman離子源,射頻離子源,霍爾離子源,冷陰極離子源,電子回旋離子源,陽極層離子源,感應(yīng)耦合離子源可能還有很多其它類型離子源未被提到。離子源類型雖多,目的卻無非在線清洗,改善被鍍表面能量分布和調(diào)制增加反應(yīng)氣體能量。離子源可以改善膜與基體的結(jié)合強度,同時膜本身的硬度與耐磨耐蝕特性也會改善。推薦真空鍍膜機特點
無錫光潤真空科技有限公司(簡稱“光潤真空”)是從事真空鍍膜設(shè)備研發(fā)、設(shè)計、銷售、制造、服務(wù)于一體的綜合性科技公司。
光潤真空技術(shù)團隊具有20多年真空鍍膜設(shè)備研制和工藝開發(fā)的經(jīng)驗,公司開發(fā)的GRJR系列、GRDR系列卷繞鍍膜設(shè)備等在國內(nèi)處于**水平。公司產(chǎn)品覆蓋磁控濺射卷繞鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)卷繞鍍膜設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜**設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜**設(shè)備、多弧離子真空鍍膜**設(shè)備等。
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