所描述的實施例是本實用新型的一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。本實用新型一種實施方式的真空反應腔室,其結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體10,以及位于所述外腔體10內(nèi)的用于進行工藝反應的內(nèi)反應腔20;所述內(nèi)反應腔20的側(cè)壁上設(shè)有自動門23,所述自動門23連接自動門控制器,工件自所述外腔體10經(jīng)所述自動門23進入所述內(nèi)反應腔20中。本實施方式提供的真空反應腔室,外腔室和內(nèi)反應腔20為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應腔20位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當于設(shè)置了兩個腔室,其中外腔體10用于隔絕大氣,提供真空環(huán)境,而內(nèi)反應腔20中的區(qū)域為工藝反應區(qū),形成相對封閉的工藝環(huán)境,相關(guān)工藝反應在內(nèi)反應腔20中進行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應腔20中,而與工藝反應無直接關(guān)系的機械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體10中的工件再經(jīng)自動門23進入內(nèi)反應腔20中進行工藝反應,可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進入內(nèi)反應腔20中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進入工藝反應區(qū)域。 寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,效果佳,有需要可以咨詢!浙江雙門真空鍍膜設(shè)備工廠直銷
這樣就可以及時打開密封門,將基板取出準備下一次鍍膜,能夠有效防止鍍膜材料噴濺,且省去坩堝降溫的時間,提高了工作效率。(2)、該高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,通過腔體左側(cè)的頂部固定連接有電機,并且電機輸出軸的一端固定連接有雙向螺紋桿,雙向螺紋桿表面的兩側(cè)且位于腔體的內(nèi)部均螺紋連接有活動塊,兩個活動塊的底部均固定連接有限位板,電機工作能夠調(diào)整兩個限位板之間的距離,使限位板能夠固定不同大小的基板,擴大了適用范圍,適用性更強,提高了實用性。附圖說明圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)的立體圖;圖2為本實用新型結(jié)構(gòu)的剖視圖;圖3為本實用新型圖2中a處的局部放大圖;圖4為本實用新型寶來利真空密封蓋結(jié)構(gòu)的立體圖;圖5為本實用新型第二密封蓋結(jié)構(gòu)的立體圖。圖中:1腔體、2基板、3坩堝、4支撐腿、5密封門、6支撐板、7防護框、8寶來利真空滑軌、9活動板、10寶來利真空伸縮桿、11第二伸縮桿、12寶來利真空密封蓋、13第二密封蓋、14加熱板、15降溫板、16電機、17雙向螺紋桿、18活動塊、19限位板、20第二滑軌、21抽風機、22風管。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然。 燈管真空鍍膜設(shè)備推薦廠家品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備膜層不易褪色,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
在進一步的實施例中,結(jié)合圖1可得,沉降組件包括沉降管51、擠壓管52、氣缸53及水箱55;沉降管51安裝在抽氣管3上;擠壓管52安裝在沉降管51遠離真空泵4的側(cè)壁上、且擠壓管52與沉降管51之間連通;水箱55安裝在真空泵4與擠壓管52中間、且水箱55與擠壓管52之間連通;氣缸53安裝在擠壓管52遠離沉降管51一側(cè);擠壓管52內(nèi)設(shè)有活塞54;氣缸53的伸縮軸穿過擠壓管52并與活塞54連接;通過擠壓活塞54,對擠壓管52內(nèi)的水擠壓,使其噴出到沉降管51中,沉降粉塵。在進一步的實施例中,結(jié)合圖1和圖3可得,沉降管51遠離擠壓管52一側(cè)設(shè)有出水口;出水口上設(shè)有塞蓋511;擠壓管52靠近沉降管51處設(shè)有第二過濾網(wǎng)521;當沉降管51內(nèi)水過多時,打開塞蓋511排出廢水及粉塵,第二過濾網(wǎng)521用于防止粉塵進行擠壓管52中污染水源。在進一步的實施例中,結(jié)合圖2所示,頂蓋22側(cè)壁設(shè)有寶來利真空凸塊221;第二連接套2內(nèi)側(cè)壁靠近頂蓋22處設(shè)有寶來利真空凹槽21;寶來利真空凸塊221嵌于寶來利真空凹槽21中;頂蓋22遠離鍍膜機1一側(cè)與寶來利真空凹槽21靠近抽氣管3一側(cè)通過彈簧連接;寶來利真空凸塊221與寶來利真空凹槽21配合用于對頂蓋22的移動方向進行限位,保證其準確的蓋在出氣管11口上。在進一步的實施例中。
結(jié)合圖1和圖2所示,頂蓋22遠離鍍膜機1一側(cè)設(shè)有動觸點224;第二連接套2內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點123,靜觸點123位于寶來利真空凹槽21與抽氣管3之間;動觸點224與外部電源電性連接;靜觸點123與氣缸53電性連接;利用動觸點224與靜觸點123的接觸來控制氣缸53的運行,防止氣缸53長時間運行,節(jié)約能源。在進一步的實施例中,結(jié)合圖1所示,鍍膜機1靠近出氣管11的側(cè)壁上設(shè)有開關(guān)13及換向器;開關(guān)13分別與換向器及真空泵4電性連接;換向器與電磁鐵122電性連接;利用換向器改變電磁鐵122電流的方向來改變磁極,進行頂蓋22的打開與閉合。在進一步的實施例中,結(jié)合圖4所示,頂蓋22側(cè)壁上設(shè)有凹孔225;便于在抽氣時氣體的排出。應當理解的是,對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述說明加以改進或變換,而所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權(quán)利要求的保護范圍。 寶來利3D鏡頭真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來咨詢!
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