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云南模塊廠家

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    所述***氧化層厚度為1000-1200a。進(jìn)一步地,所述第二氧化層厚度為3000-5000a。進(jìn)一步地,兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有***摻雜區(qū),所述***摻雜區(qū)的摻雜類型與所述半導(dǎo)體襯底的類型相反。進(jìn)一步地,在所述***摻雜區(qū)的內(nèi)表面設(shè)置兩個(gè)第二摻雜區(qū),所述第二摻雜區(qū)的摻雜類型與***摻雜區(qū)的摻雜類型相反,兩個(gè)所述第二摻雜區(qū)分別設(shè)置在靠近兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)的一側(cè),所述***摻雜區(qū)和所述第二摻雜區(qū)與發(fā)射極金屬接觸。進(jìn)一步地,所述半導(dǎo)體的底部還設(shè)置有緩沖層和集電極,所述集電極設(shè)置在比較低層。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型提供的溝槽柵igbt通過在溝槽內(nèi)設(shè)置兩種厚度氧化層,兩種厚度氧化層分別為***氧化層和第二氧化層,該第二氧化層厚度大于***氧化層厚度,因?yàn)榻Y(jié)電容與氧化層的厚度成反比,因此增加氧化層的厚度會(huì)降低器件的結(jié)電容大小,從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt結(jié)電容大的問題,從而提高了本實(shí)用新型的開關(guān)特性,使得本實(shí)用新型可應(yīng)用于高頻場(chǎng)景。附圖說明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中平面柵igbt的示意圖;圖2為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt的示意圖;圖3為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法的流程圖;圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的溝槽柵igbt的示意圖。浙江大規(guī)模模塊進(jìn)貨價(jià)過零觸發(fā)型交流固態(tài)繼電器(AC-SSR)的內(nèi)部電路。

    該第二氧化層22的厚度為3000-5000a(如圖5c所示),根據(jù)應(yīng)用端對(duì)器件的開關(guān)特性需求,可以對(duì)第二氧化層22的厚度進(jìn)行調(diào)節(jié);s102:沉積光刻膠3(如圖5d所示);s104:去除溝道區(qū)的光刻膠3,保留非溝道區(qū)的光刻膠3,從而保護(hù)溝槽內(nèi)非溝道區(qū)的第二氧化層22不被蝕刻;s105:對(duì)第二氧化層22進(jìn)行蝕刻(如圖5f所示),然后去除溝槽內(nèi)非溝道區(qū)保留的光刻膠3(如圖5g所示);s106:在溝槽內(nèi)沉積***氧化層21(如圖5h所示);s107:沉積多晶硅層(如圖5i所示),然后去除表面多余多晶硅層(如圖5j所示)。需要說明的是,本實(shí)施例提供的制作方法形成兩種厚度氧化層2沒有新增光刻流程,從而節(jié)省了光罩制作成本。綜上,本實(shí)施例提供的溝槽柵igbt及其制作方法可以降低現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)的結(jié)電容大小、提高了器件的開關(guān)特性,從而使得本實(shí)用新型可以應(yīng)用于高頻場(chǎng)景。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

    專業(yè)進(jìn)行智能廚具產(chǎn)品的開發(fā)和研究,并設(shè)立了以上海市區(qū)為中心的賽米控營(yíng)銷售后服務(wù)點(diǎn)。2009年3月,賽米控公司聯(lián)合石家莊啟宏東立科技有限公司共同投資成立石家莊賽米控電子科技有限公司。石家莊賽米控公司主要負(fù)責(zé)北方商用電磁爐成品的組裝生產(chǎn)與銷售。2004年,佛山市順德銘誠(chéng)科技公司成立。一幫追求真理,懷著遠(yuǎn)大抱負(fù)的年輕人開創(chuàng)了中國(guó)廚具發(fā)展史上的先河,***家把大功率電磁爐技術(shù)做成機(jī)芯的形式對(duì)全國(guó)廚具公司進(jìn)行銷售。2006年,佛山市順德銘芳玉電子有限公司成立,并推出西門康牌商用電磁爐中西廚具成品。世界上***家推出采用中式炒爐15CM拋鍋不間斷加熱有火力輸出這一新技術(shù),并成為中國(guó)大功率電磁感應(yīng)加熱技術(shù)行業(yè)名副其實(shí)的領(lǐng)秀。后同行業(yè)沿用,同為現(xiàn)有商用電磁爐的一個(gè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。2007年,世界***臺(tái)不用市電的太陽能電磁灶在這里誕生。"牛灶"**雙區(qū)加熱大鍋灶刷新了同行業(yè)技術(shù),并推動(dòng)行業(yè)的進(jìn)步發(fā)展。同年,在順德、高明規(guī)劃購置工業(yè)用地20畝,布局全國(guó)比較大的商用電磁爐生產(chǎn)基地。二極管的伏安特性是指加在二極管兩端電壓和流過二極管的電流之間的關(guān)系。

    以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:風(fēng)電變流器的igbt驅(qū)動(dòng)電路,包括原邊電路、隔離電路和副邊電路,所述原邊電路包括死區(qū)電路、互鎖電路、保護(hù)電路、15v電源輸入濾波電路和dc/dc電路,所述隔離電路包括變壓器隔離電路和光耦隔離電路,所述副邊電路包括±15v驅(qū)動(dòng)電源、驅(qū)動(dòng)電路和vce-sat檢測(cè)電路,vce-sat檢測(cè)電路分別連接igbt模塊、驅(qū)動(dòng)電路和光耦隔離電路,光耦隔離電路還連接死區(qū)電路、互鎖電路和保護(hù)電路,驅(qū)動(dòng)電路還分別連接光耦隔離電路和igbt模塊,vce-sat檢測(cè)電路檢測(cè)到igbt模塊發(fā)生短路故障或過流故障時(shí),通過光耦隔離電路傳遞故障信號(hào)給原邊電路,原邊電路同時(shí)***igbt模塊上下管驅(qū)動(dòng)信號(hào),并通過光耦隔離電路和驅(qū)動(dòng)電路關(guān)斷igbt模塊。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述igbt模塊分為上下兩路。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述死區(qū)電路、互鎖電路、保護(hù)電路均分為上下兩路。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述光耦隔離電路分為上下兩路。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述驅(qū)動(dòng)電路分為上下兩路。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述光耦隔離電路包括反饋光耦和驅(qū)動(dòng)光耦。該器件還適用于通用線電壓整流器應(yīng)用,如電源和標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)。湖北代理模塊

曲線OA段稱為不導(dǎo)通區(qū)或死區(qū)。一般硅管的死區(qū)電壓約為0.5伏。云南模塊廠家

    pwm_l信號(hào)為低電平時(shí),c2通過r2充電,r2,c2構(gòu)成死區(qū)延時(shí)td。當(dāng)pwm_h信號(hào)為高電平時(shí),c3通過d3快速放電,pwm_l信號(hào)為低電平時(shí),c3通過r3充電,r3,c3構(gòu)成死區(qū)延時(shí)td。其中v1輸入采用cmos施密特與非門,可以提高輸入信號(hào)門檻電壓,提高信號(hào)抗干擾能力。上管驅(qū)動(dòng)電路由r11,q3,q4,r8構(gòu)成推挽放大電路,對(duì)光耦輸出信號(hào)u2_out信號(hào)進(jìn)行放大,上管驅(qū)動(dòng)信號(hào)drv_h直接連接igbt模塊上管門極hg,滿足igbt模塊對(duì)于驅(qū)動(dòng)峰值電流的需求。下管驅(qū)動(dòng)電路由r17,q5,q6,r18構(gòu)成推挽放大電路,對(duì)光耦輸出信號(hào)u4_out信號(hào)進(jìn)行放大,下管驅(qū)動(dòng)信號(hào)drv_l直接連接igbt模塊下管門極lg,滿足igbt模塊對(duì)于驅(qū)動(dòng)峰值電流的需求。上管vce-sat檢測(cè)電路由r9,d11,r10構(gòu)成vce-sat采樣電路:當(dāng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)drv_h為高電平(15v)時(shí),通過電阻和igbt模塊導(dǎo)通壓降vce-sat的分壓原理:,采樣信號(hào)vce_h,r13和r14構(gòu)成分壓電路(通過r13和r14設(shè)定保護(hù)值),比較信號(hào)comp_h,通過vce_h與comp_h的比較實(shí)現(xiàn)vce飽和壓降的檢測(cè),并輸出故障信號(hào)fault_h:當(dāng)vce_h小于comp_h,fault_h為高電平,正常狀態(tài);當(dāng)vce_h大于comp_h,fault_h為低電平,報(bào)故障狀態(tài);當(dāng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)drv_l為低電平(-15v)時(shí)。云南模塊廠家

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