EVG®720自動SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米，設(shè)有EVG's專有SmartNIL®技術(shù)EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu)。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40nm*的納米結(jié)構(gòu)，具有無人能比的吞吐量，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件，例如衍射光學元件（DOEs）。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。也可以訪問官網(wǎng)，獲得更多信息。在納米生物傳感器中，納米壓印可以用于制備納米級的生物傳感器，用于檢測生物分子的存在和濃度。掩模對準納米壓印質(zhì)保期多久

SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù)，可用于顯示器，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如，SmartNIL提供了無人能比的全區(qū)域共形壓印，以便滿足面板基板上線柵偏振器的ZUI重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進行高精度圖案化，以支持下一代藥物研究和醫(yī)學診斷設(shè)備的生產(chǎn)。此外，SmartNIL的ZUI新發(fā)展為制造具有ZUI高功能，ZUI小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度，這對于實現(xiàn)衍射光學元件（DOE）至關(guān)重要。特征：體積驗證的壓印技術(shù)，具有出色的復制保真度專有SmartNIL®技術(shù)，多使用聚合物印模技術(shù)經(jīng)過生產(chǎn)驗證的分辨率低至40nm或更小大面積全場壓印總擁有成本ZUI低在地形上留下印記對準能力室溫過程開放式材料平臺碳化硅納米壓印用途EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng)，使用分步重復納米壓印光刻技術(shù)，可進行有效的母版制作。

納米壓印應(yīng)用二：面板尺寸的大面積納米壓印EVG專有的且經(jīng)過大量證明的SmartNIL技術(shù)的蕞新進展，已使納米圖案能夠在面板尺寸蕞大為Gen3（550mmx650mm）的基板上實現(xiàn)。對于不能減小尺寸的顯示器，線柵偏振器，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用，至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟、高效的方法，因為它不受光學系統(tǒng)的限制，并且可以為蕞小的結(jié)構(gòu)提供蕞佳的圖案保真度。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們岱美，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。

EVG®610紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng)，從碎片到ZUI大150毫米。該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間瑾為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學者到**級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。HERCULESNIL300mm提供市場上蕞先近納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印，快速高功率曝光和平滑壓模分離。

IQAlignerUV-NIL自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)應(yīng)用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)IQAlignerUV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150mm至300mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應(yīng)。此外，EVGroup提供合格的微透鏡成型工藝，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識。EVGroup專有的卡盤設(shè)計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制。EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝。碳化硅納米壓印用途

分步重復刻印通常用于高效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。掩模對準納米壓印質(zhì)保期多久

EVG®720自動SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米，設(shè)有EVGs專有SmartNIL®技術(shù)EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu)。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40nm*的納米結(jié)構(gòu)，具有無人能比的吞吐量，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件，例如衍射光學元件（DOEs）。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。也可以訪問岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司的官網(wǎng)，獲得更多信息。掩模對準納米壓印質(zhì)保期多久