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光刻機(jī)隔振臺一級代理

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-01-10

TS特點(diǎn):◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi),從0.7Hz到100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能?!虍?dāng)儀器裝載時(shí),高度調(diào)整會自動進(jìn)行?!蚣词巩?dāng)負(fù)載偏離中心時(shí),自動調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí),給予穩(wěn)定性?!蛲ㄟ^按下前方的按鈕,系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞?!蚯胺降娘@示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動水平?!蛑鲃痈粽褚部梢酝ㄟ^使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來從外部啟用或禁用該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)(例如膜片鉗,顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。光刻機(jī)隔振臺一級代理

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支撐面測試在系統(tǒng)運(yùn)行時(shí),推動支撐表面。燈不亮,除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點(diǎn)亮,則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對水平或垂直力施加更大的作用,并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請注意,該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運(yùn)行,但會產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。桌面選擇桌面必須足夠堅(jiān)硬,以防止兩個(gè)隔離單元相對旋轉(zhuǎn)他們的長橫軸。蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會產(chǎn)生蕞好的結(jié)果,但是可以使用石板甚至是實(shí)心木板。對于的位置固定孔,請參閱本文檔末尾的鉆孔計(jì)劃。注意,也可以將隔離單元直接連接到支持的設(shè)備上。在這堅(jiān)固的安裝是絕隊(duì)必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝建議方法。掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺保修期多久Table Stable通過主動控制沒有共振點(diǎn),可以防止低頻范圍的振動。

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   AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí),避免了任何復(fù)雜的過程。技術(shù)指標(biāo):頻率::0-800公斤(單個(gè)):400公斤。

技術(shù)指標(biāo):頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔離:動態(tài)(超過1kHz)透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負(fù)載:140公斤尺寸:500x600x84毫米重量:28.5kg電的安全等級:1個(gè)能量消耗:蕞大10W負(fù)載調(diào)整時(shí)20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz超載:顯示屏指示負(fù)載過重或嚴(yán)重失衡監(jiān)控信號:示波器上顯示的多路復(fù)用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的前面板顯示菜單:顯示儀器狀態(tài),包括:-高度調(diào)節(jié)-隔離開/關(guān)-過載-運(yùn)輸鎖定-技術(shù)熱線桌上尺寸:500x600毫米。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。

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AVI主動隔振臺AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計(jì)、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。AVI產(chǎn)品特點(diǎn):·安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用?!ぐ惭b好后參數(shù)不需要調(diào)整?!牡皖l率起提高一個(gè)隔振環(huán)境?!た刂浦行挠谐d指示燈。Cu(100)-O表面低溫AFM圖像如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。振動分析系統(tǒng)VA-2C是帶有遠(yuǎn)程測量頭的系統(tǒng),可輕松測量三個(gè)正交方向上的加速度,速度或位移。AVI-400MLP隔振臺研發(fā)生產(chǎn)

Table Stable Ltd:主動隔振以及高 分辨率,高對比度光譜學(xué)的全球領(lǐng)到者。光刻機(jī)隔振臺一級代理

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,這一點(diǎn)很重要取向!LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對應(yīng)于AVI的開關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確,請按照下列步驟操作:面向LFS傳感器的藍(lán)色LED站立。將弟一個(gè)AVI元素連接到以下任意一個(gè)后面板上的12個(gè)D-Sub15插座。用筆滑動開關(guān)在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關(guān)位置對于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離。光刻機(jī)隔振臺一級代理

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