并控制磁轉子12和噴頭11每間隔20s旋轉10s，也就是說，控制磁轉子旋轉10s，控制磁轉子停止旋轉后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉子旋轉10s，以此類推。本發(fā)明實施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實現減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉子12，如磁轉子12工作1小時后，將磁轉子12更換為新的磁轉子，以使磁轉子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。清洗劑的分類有哪些；浙江玻璃用減薄用清洗劑主要作用

    7保質期24主營產品：工業(yè)清洗劑空調清洗劑水處理藥劑除銹除油劑￥所在地：四川眉山在線詢價供應鋁材防氧劑、銅保護劑、銅清洗劑產品名稱銅保護劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險化學品否是否進口否主營產品：工業(yè)潤滑油自行車潤滑油鐘表加工潤滑油防水油食品級油格林潤滑科技（惠州）有限公司所在地：廣東惠州在線詢價KRB-206環(huán)保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強除油無腐蝕不變色類別堿性清洗液型號KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執(zhí)行標準國標企標CAS略主營產品：切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑￥武漢科瑞博科技有限公司所在地：湖北武漢在線詢價生產廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快速油污清洗劑分類銅清洗劑型號HWJ-781品牌輝煒佳PH值8-9保質期18CAS無主營產品：陶化劑硅烷處理劑脫漆劑鈍化劑￥東莞市輝煒佳金屬科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價供應銷售環(huán)保型銅化學拋光劑如銅化學拋光劑，銅酸洗工藝，銅拋光劑，銅清洗劑，銅本色清洗，銅氧化皮清洗分類精密電子儀器清洗劑型號Q810PH值保質期。南京玻璃用減薄用清洗劑溶劑選擇專業(yè)減薄用清洗劑，為您的產品質量保駕護航。

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結構示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖；圖7為所述底支撐件的結構正視圖；圖8為所述底支撐件的結構側視圖。圖中數字表示：1-轉換區(qū)；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測量儀；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側支撐件；421-豎直平板；422-側板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；433-連接部；434-接觸部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位塊；439-第二限位塊。具體實施方式以下結合附圖，對本發(fā)明上述的和另外的技術特征和優(yōu)點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設備的結構視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設備包括轉換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設置于所述轉換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中，在所述沖洗區(qū)2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經歷減薄處理。

    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預定部分并因此瞬時去除噴淋液，從而可得到更準確地玻璃厚度測量數據。一般的，所述目標厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產線還包括輔助厚度測量儀，所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的，從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標厚度的公差范圍，則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下，所述控制器發(fā)出警報來通知管理者，所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異?？赡苁菚簳r的。去除多余涂層，選擇減薄用清洗劑，效果好。

    經減薄處理后的玻璃可再次進入所述沖洗區(qū)2以經歷減薄后清潔并且通過所述轉換區(qū)1被卸載到外部；所述玻璃減薄設備還設置有制動組件，通過所述制動組件實現所述玻璃加工治具4從所述轉換區(qū)1經所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動，以及從所述蝕刻區(qū)3經所述沖洗區(qū)2向所述轉換區(qū)1的減薄后移動。在本實施例中，圖1內并排設置有2個所述玻璃減薄設備，所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2，所述第二沖洗區(qū)2設置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間，所述沖洗區(qū)2設置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉換區(qū)1之間，所述第三沖洗區(qū)2設置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉換區(qū)1可升降的折疊式結構，從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉換區(qū)1的放置或卸下。較佳的，所述轉換區(qū)1還設置有裝卸臂，通過所述裝卸臂可實現對所述玻璃加工治具4的上下料，以及單片玻璃的拿取檢測。實施例二如圖2所示，圖2為所述蝕刻區(qū)的結構示意圖；所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測量儀32、噴淋組件33和控制器；所述噴淋組件33在所述腔室31中對設置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測量儀32實時測量在所述腔室31內經歷減薄處理的玻璃厚度。減薄清洗劑，讓您的加工過程更輕松，提高生產效率。安徽減薄用清洗劑費用是多少

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    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經歷減薄處理，以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據所述輔助厚度測量儀的檢測數據判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的，當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時，可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈，所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區(qū)1內，經所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。浙江玻璃用減薄用清洗劑主要作用