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蘇州顯示面板用減薄用清洗劑按需定制

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-03-15

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    所述控制器進(jìn)行第二次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測(cè)量儀進(jìn)行厚度檢測(cè),從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí),所述玻璃加工治具4可再次進(jìn)入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進(jìn)行減薄處理。所述主厚度測(cè)量儀32設(shè)置在其中對(duì)玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃厚度,使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度;所述輔助厚度測(cè)量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中,并且再次測(cè)量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測(cè)量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測(cè)量儀可提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測(cè)量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測(cè)量儀設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進(jìn)行厚度檢測(cè),從而檢測(cè)預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運(yùn)出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn),并進(jìn)一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解,在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對(duì)其進(jìn)行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光;磁轉(zhuǎn)子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄??蛇x地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作,以對(duì)所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄??蛇x地,所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層,以通過所述研磨層對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨??蛇x地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層??蛇x地,還包括:熱板,設(shè)置于所述托盤底部,用于對(duì)所述托盤進(jìn)行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光;通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。哪家減薄用清洗劑的質(zhì)量比較好。

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