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湖南如何發(fā)展BOE蝕刻液

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-01-22

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緩沖氧化物蝕刻劑(BOE)是一種用于微細(xì)加工的液體腐蝕劑。它的主要用途是蝕刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)的薄膜。它是氟化銨(NH4F)和氫氟酸(HF)等緩沖液的混合物。濃縮的HF蝕刻二氧化硅的速度太快,不能很好地進(jìn)行工藝控制,同時(shí)也會(huì)剝落用于光刻圖案化的光刻膠。BOE6:1is6partsbyvolume40%ammoniumfluorideand1partbyvolume49%HF.應(yīng)用緩沖氧化物蝕刻劑(BOE)6:1可用于柵極光刻(gatephotolithography)的AlGaN/GaN基高電子遷移率晶體管的氧化物去除。它可用于緩沖氧化物蝕刻劑法,制造微型生物芯片。一種BOE蝕刻液銷售電話如何選擇一家好的做BOE蝕刻液的公司。

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