【射頻離子源工作原理】：氣體通過一個專門設計的氣體絕緣器進入石英放電室，13.56mhz的射頻功率通過電感耦合進入放電室離化氣體。在產生plasma后、用柵網構成的加速系統(tǒng)將離子引出。初，離子被帶正電的Screen Grid集中、接下來加負電壓的加速柵網將離子束引出。被引出的離子形成離子束，向靶標輻射。離子所帶有的能量是由Screen grid的正電壓和Accelerator grid所加的負電壓大小所決定。離子源設備能促進光電產業(yè)升級，在國內也是一項“卡脖子”技術。具有能量高、熱輻射低、工作時間長、對膜層污染小、能量分布均勻性好、適應多種工作氣體的特點。關于真空鍍膜機，你知道多少？寧夏離子束濺射射頻離子源多少錢

【真空鍍膜機詳細資料】系統(tǒng)概述真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。常用于對半導體、光伏、電子、精密光學等行業(yè)的納米級表面處理。系統(tǒng)原理通過電子槍發(fā)射高壓電子轟擊坩堝中的待鍍靶材，使其在高真空下蒸發(fā)并沉積在被鍍基片上以獲得鍍膜。系統(tǒng)配置*自動化控制器:e-ControlPLC，是控制系統(tǒng)的硬件平臺。人機界面硬件:TPC1503工業(yè)級15寸觸摸式平板電腦，穩(wěn)定可靠。人機界面軟件:NETSCADA組態(tài)軟件開發(fā)平臺，提供真空鍍膜機的控制和監(jiān)視。安徽光學鍍膜射頻離子源廠家成都國泰真空鍍膜機怎么樣？

【真空鍍膜設備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復擦洗真空室內壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。2.當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦干凈箱內污垢。3.在重新開機前，要注意檢漏。方法：啟動維持泵，關好da門，數分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設備無法進入工作狀態(tài)。

    本申請還涉及一種射頻離子源離子束束徑控制方法，也即采用上述束徑控制裝置進行離子束束徑控制的方法，包括以下步驟：s1，對真空腔體5進行抽真空；s2，打開離子束發(fā)生器7，調整電壓電流參數；s3，在控制器6的輸入界面中輸入離子束束徑值；s4，點擊控制器6的執(zhí)行按鈕，控制器6向驅動器8發(fā)出指令，驅動器8控制驅動機構動作；s5，驅動組件驅動滑環(huán)41轉動并帶動導柱24在導槽42中滑動，葉片2繞固定軸23轉動使光闌3大小與輸入的離子束束徑值一致。下面給出一種采用該方法進行拋光的具體步驟：1、打開離子束拋光系統(tǒng)電源、水冷裝置、工作氬氣等；2、放置光學元件，采用合適夾具將光學元件固定；3、對真空腔體進行抽真空，保證實驗的真空狀態(tài)，且真空腔體壓強需達到×10-3pa以上；4、打開離子源也即離子束發(fā)生器，調整好離子源的電壓電流等參數；5、根據被拋光元件尺寸及檢測后的面形參數情況選擇離子束束徑，將離子束束徑參數輸入控制器的計算機控制界面；6、點擊控制器的執(zhí)行按鈕，控制器向驅動器發(fā)出指令，驅動器控制驅動機構動作；7，伺服電機驅動滑環(huán)轉動并帶動導柱在導槽中滑動，葉片繞固定軸轉動使光闌大小與輸入的離子束束徑值一致；8、控制離子束垂直入射法拉第杯。真空鍍膜機使用時，需要注意哪些問題?

【真空鍍膜對環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要。基片進入鍍膜室前均應進行認真的鍍前清潔處理，達到工件去油、去污和脫水的目的?；砻嫖廴緛碜粤慵诩庸?、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學清冼方法將其去掉。對經過清洗處理的清潔表面，不能在da氣環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至小。因為這些容器優(yōu)先吸附碳氫化合物。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面，一般應貯存在真空干燥箱中。qing除鍍膜室內的灰塵，設置清潔度高的工作間，保持室內高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求?？諝鉂穸萪a的地區(qū)，除鍍前要對基片、真空室內各部件認真清洗外，還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內，注意油擴散泵返油，對加熱功率高的擴散泵必須采取擋油措施。真空鍍膜機的應用領域。河南光學鍍膜射頻離子源怎么選

真空鍍膜機真空四個階段。寧夏離子束濺射射頻離子源多少錢

【真空鍍膜機清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源，在其相對于待清洗的表面加負偏壓可以實現離子轟擊的氣體解吸及某些碳氫化合物的去除。清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關系。即取決于單位表面積上的離子數和離子能量，從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣)，可以利用兩個適當的電極間的低壓下的輝光放電產生的離子轟擊來達到清洗的目的。該方法中，惰性氣體被離化并轟擊真空室內壁、真空室內的其它結構件及被鍍基片，它可以使某些真空系統(tǒng)免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣，對某些碳氫化合物可以獲得更好的清洗效果。因為氧氣可以使某些碳氫化合物氧化生成易揮發(fā)性氣體而容易被真空系統(tǒng)排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質的主要成分是碳和碳氫化合物。寧夏離子束濺射射頻離子源多少錢