【為什么要在真空中鍍膜】:1.鍍的過程中不會受空氣分子碰撞,有較大的動量到達待鍍件表面2.防止氣體“污染”.如:鍍金屬膜時可以防止氧化3.成膜過程不受氣體影響,致密牢固4.真空(負壓)狀態(tài)下,鍍膜材料的熔點教常壓下低,易于融化蒸發(fā)(對于蒸發(fā)類型的鍍膜)真空鍍膜技術是一種新穎的材料合成與加工的新技術,是表面工程技術領域的重要組成部分。真空鍍膜技術是利用物理、化學手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜,從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導電、導磁、絕緣和裝飾等許多優(yōu)于固體材料本身的優(yōu)越性能,達到提高產品質量、延長產品壽命、節(jié)約能源和獲得明顯技術經濟效益的作用。因此真空鍍膜技術被譽為Zui具發(fā)展前途的重要技術之一,并已在高技術產業(yè)化的發(fā)展中展現(xiàn)出誘人的市場前景。真空鍍膜設備的應用。廣西大朗橡膠真空鍍膜設備
【真空鍍膜之真空的概念】: “真空”是指在給定空間內低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài),也就是該空間內氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。不同的真空狀態(tài),就意味著該空間具有不同的分子密度。在標準狀態(tài)(STP:即0℃,101325Pa,也就是1標準大氣壓,760Torr)下,氣體的分子密度為2.68E24/m3,而在真空度為1.33E&4 Pa(1E&6Torr)時,氣體的分子密度只有3.24E16/m3。完全沒有氣體的空間狀態(tài)為Jue對真空。Jue對真空實際上是不存在的。河北真空鍍膜設備項目真空鍍膜設備怎么維修。
【真空蒸鍍的歷史】:1857年Michael FaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油擴散式真空泵實用化、蒸鍍主要用于制作鏡片防反射膜。第二次世界大戰(zhàn)時,其他的光學機器對材料的需求提高,真空蒸鍍也因此快速發(fā)展。 【真空蒸鍍的原理】:在真空狀態(tài)下,加熱蒸發(fā)容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉積在目標物體表面,形成固態(tài)薄膜。依蒸鍍材料、基板的種類可分為:抵抗加熱、電子束、高周波 誘導、雷射等加熱方式。蒸鍍材料有鋁、亞鉛、金、銀、白金、鎳等金屬材料與可產生光學特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2 等氧化物與氟化物。蒸鍍除金屬外,樹脂與玻璃也可以使用、近年來連紙也變成可蒸鍍。 【蒸發(fā)鍍膜的優(yōu)缺點】: 優(yōu)點:設備簡單、容易操作;成膜的速率快,效率高。 缺點:薄膜的厚度均勻性不易控制,蒸發(fā)容器有污染的隱患,工藝重復性不好,附著力不高。
【真空鍍膜產品常見不良分析及改善對策之膜外自霧】:現(xiàn)象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙tong或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕??赡艹梢蛴校?.膜結構問題,外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙2.蒸發(fā)角過大,膜結構粗糙3.溫差:鏡片出罩時內外溫差過大4.潮氣:鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣5.真空室內POLYCOLD解凍時水汽過重6.蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻。7.膜與膜之間的應力改善思路:膜外白霧成因很多但各有特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環(huán)境減少吸附的對象。改善對策:1.改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。2.降低出罩時的鏡片溫度3.改善充氧(加大),改善膜結構4.適當降低蒸發(fā)速率,改善柱狀結構5.離子輔助鍍膜,改善膜結構6.加上Polycold解凍時的小充氣閥7.從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角8.改善基片表面粗糙度9.注意Polycold解凍時的真空度。 真空鍍膜設備的工作原理和構成。
多弧離子鍍原理是利用真空弧光放電計數(shù)用于蒸發(fā)源的技術,即在真空環(huán)境下引燃蒸發(fā)源(陰極),與陽極之間形成自持弧光放電,既從陰極弧光輝點放出陰極物質的離子。由于電流局部的集中,產生的焦耳熱使陰極材料局部的爆發(fā)性地等離子化,在工作偏壓的作用下與反應氣體化合,而沉積在工件表面是形成被鍍的膜層。真空蒸發(fā)鍍膜法:就是將鍍的基材放于真空鍍膜機的電極上進行加熱,使其蒸發(fā)為氣體,由于鍍膜室處于真空狀態(tài),所以氣體膜材的運輸不會受到阻礙,沉積到基片表面,就形成了均勻的薄膜。真空鍍膜設備主要用途?上海蒸發(fā)真空鍍膜設備
真空鍍膜設備真空四個階段。廣西大朗橡膠真空鍍膜設備
【真空鍍膜改善薄膜應力】: 1. 鍍后烘烤,Zui后一層膜鍍完后,烘烤不要馬上停止,延續(xù)10分鐘“回火”。讓膜層結構趨于穩(wěn)定。 2. 降溫時間適當延長,退火時效。減少由于真空室內外溫差過大帶來的熱應力。 3. 對高反膜、濾光膜等在蒸鍍過程中,基片溫度不宜過高,高溫易產生熱應力。并且對氧化鈦、氧化鉭等膜料的光學穩(wěn)定性有負面影響。 4. 鍍膜過程離子輔助,減少應力。 5. 選擇合適的膜系匹配,第yi層膜料與基片匹配。 6. 適當減小蒸發(fā)速率。 7. 對氧化物膜料全部充氧反應鍍,根據不同膜料控制氧進氣量。 廣西大朗橡膠真空鍍膜設備