【真空鍍膜機概述】： 真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子搶加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 真空鍍膜機構(gòu)造的五da系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)。 真空鍍膜三要素：真空度、抽氣時間、溫度；任何鍍膜工藝都需要為這三個要素設(shè)定目標值；因此，只有當三個條件同時滿足時，自動化程序才會自動運行。 真空鍍膜機需要做定期定期保養(yǎng)，目的在于：讓鍍膜機能長時間地正常運轉(zhuǎn)；降低故障時間，避免影響產(chǎn)能，減少損失；提高機器精度，穩(wěn)定品質(zhì)；加快抽氣速度，提升機器利用率等。真空鍍膜機技術(shù)教程。江蘇真空鍍膜機

對經(jīng)過清洗處理的清潔表面，不能在大氣環(huán)境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至小。因為這些容器優(yōu)先吸附碳氫化合物。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。鍍膜室內(nèi)的灰塵，設(shè)置清潔度高的工作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求?？諝鉂穸却蟮牡貐^(qū)，除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部件認真清洗外，還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴散泵返油，對加熱功率高的擴散泵必須采取擋油措施。上海配分子泵的真空鍍膜機真空鍍膜機的主要應(yīng)用。

【真空鍍膜機之卷繞機構(gòu)設(shè)計中應(yīng)考慮的問題】①提高卷繞速度的問題。卷繞速度即是帶狀基材運動的線速度，它是卷繞機構(gòu)的一個主要技術(shù)指櫟。國內(nèi)早期鍍膜機卷繞速度只有10m/min，現(xiàn)在也只有80m/min～120m/min，在國外日本的EW系列產(chǎn)品中，其卷繞速度已達到300m/min，德國L．H公司生產(chǎn)的鍍膜機已達到600m/min，可見隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展，卷繞速度有待提高。②帶狀基材的線速恒定問題。這一問題也很重要，因為只有卷繞機構(gòu)保證帶狀基材的線速恒定，才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點對制備帶狀基材的功能性膜（如電容器膜）尤為重要。③帶狀基材的跑偏和起褶問題。隨著卷繞速度的提高，帶狀基材在卷繞鍍膜過程中，起褶和發(fā)生偏斜，嚴重時會造成基材的斷裂，使生產(chǎn)中斷，既影響生產(chǎn)效率，又浪費材料。因此，在卷繞機構(gòu)的設(shè)計中應(yīng)充分考慮這一問題。

【真空鍍膜機之鍍鋅工藝】在鋼鐵合金材料的表面鍍一層鋅以起美觀、防銹等作用的表面處理技術(shù)，表面的鋅層是一種電化學保護層，可以防止金屬腐壞，主要采用的方法是熱鍍鋅和電鍍鋅。 適用材料： 由于鍍鋅工藝依賴于冶金結(jié)合技術(shù)，所以只適合鋼和鐵的表面處理。 工藝成本：無模具費用，周期短/人力成本中等，因為工件的表面質(zhì)量很da程度上取決于鍍鋅前的人工表面處理。 環(huán)境影響：由于鍍鋅工藝增長了鋼鐵件40-100年的使用壽命，很好的防止了工件的生銹和腐壞，所以對保護壞境有積極的作用。另外，鍍過鋅的工件在使用壽命到期后，可以重新送返鍍鋅槽，對液態(tài)鋅的反復(fù)利用不會產(chǎn)生化學或物理廢料。 真空鍍膜機的應(yīng)用領(lǐng)域。

【常見的真空材料表面上的污染物類型】1、油脂：加工、裝配、操作時沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等；2、酸、堿、鹽類物質(zhì)：清洗時的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等；3、表面氧化物：材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物；4、水基類：操作時的手汗、吹氣時的水汽、唾液等；5、拋光殘渣及環(huán)境空氣中的塵埃和其它有機物等。清洗這些污染物的目的是為了改進真空鍍膜機的工作穩(wěn)定性，使工作能夠更加順利的進行。清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類。在真空鍍膜機使用鍍膜材料鍍膜前，對鍍膜材料做簡單的表面清潔可以延長鍍膜機的使用壽命。因為各種污染物不僅使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度，還會影響真空部件連接處的強度和密封性能。前期到位的清洗工作可以減少許多麻煩，避免許多小問題的發(fā)生，對工作效率、真空鍍膜機鍍膜質(zhì)量都具有十分積極的作用?？蒬ada提高真空系統(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。真空鍍膜機參數(shù)怎么調(diào)？廣西蒸發(fā)真空鍍膜機

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【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料，把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點是基片相對于離子源和靶是du立的，它的溫度可以單獨控制?；ǔ＝拥匚唬桶信c高頻電路無關(guān)，不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊，因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型，控溫范圍為-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，實現(xiàn)對樣品臺的單獨控溫，就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造，設(shè)計、加工了專門的金屬樣品架，放上樣品后蓋上金屬壓片，用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上，可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個測溫鉑電阻，用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊，再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連，以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。江蘇真空鍍膜機