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云南光學(xué)鍍膜機(jī)離子源工作原理

來源: 發(fā)布時間:2021-10-18

【光學(xué)鍍膜之何為化學(xué)氣相蒸鍍,主要的優(yōu)缺點(diǎn)有哪些】 化學(xué)氣相蒸鍍乃使用一種或多種氣體,在一加熱的固體基材上發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并鍍上一層固態(tài)薄膜。 優(yōu)點(diǎn): (1)真空度要求不高,甚至可以不需要真空,例如熱噴覆 (2)沉積速率快,大氣CVD可以達(dá)到1μm/min (3)與PVD比較的話?;瘜W(xué)量論組成或合金的鍍膜較容易達(dá)成 (4)鍍膜的成份多樣化,如金屬、非金屬、半導(dǎo)體、光電材料、鉆石薄膜等等 (5)可以在復(fù)雜形狀的基材鍍膜,甚至滲入多孔的陶瓷 (6)厚度的均勻性良好,低壓CVD甚至可以同時鍍數(shù)十芯片 缺點(diǎn): (1)熱力學(xué)及化學(xué)反應(yīng)機(jī)制不易了解或不甚了解 (2)需要在高溫下進(jìn)行,有些基材不能承受,甚至和鍍膜產(chǎn)生作用 (3)反應(yīng)氣體可能具腐蝕性、毒性或baozha性,處理時需小心 (4)反應(yīng)生成物可能殘余在鍍膜上,成為雜質(zhì) (5)基材的遮蔽很難 光學(xué)鍍膜機(jī)故障維修技巧有哪些?云南光學(xué)鍍膜機(jī)離子源工作原理

【光學(xué)鍍膜之何為濺射鍍】用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑Π忻娴年枠O上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入 10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。 ①反應(yīng)濺射法:即將反應(yīng)氣體 (O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或濺射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上,適用濺射化合物膜。 ②高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對面的電極上。高頻電源一端接地,一端通過匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周分別打到絕緣靶上沉積。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負(fù)電,在達(dá)到動態(tài)平衡時,靶處于負(fù)的偏置電位,從而使正離子對靶的濺射持續(xù)進(jìn)行,適用濺射絕緣膜。 遼寧光學(xué)鍍膜機(jī)原理光學(xué)鍍膜機(jī)技術(shù)教程。

【光學(xué)薄膜的研究新進(jìn)展之軟X射線多層膜】意大利、英國、法國、美國和俄羅斯等國對軟X射線多層膜開展了廣fan研究,軟X射線的光譜區(qū)為1~30nm,據(jù)報道,不同波長的各種軟X射線多層膜都取得了可喜的成績。 采用離子束濺射和磁控濺射等鍍膜技術(shù)制備的軟X射線多層膜,在X光激光器、X射線望遠(yuǎn)鏡等高技術(shù)方面得到應(yīng)用;近年來,X射線天文學(xué)、軟X射線顯微術(shù)、軟X射線投影光刻以及軟X射線激光均取得了很好的發(fā)展,其中軟X射線多層膜起著關(guān)鍵作用。意大利和荷蘭聯(lián)合研制并成功發(fā)射了探測X射線的衛(wèi)星以及發(fā)射了“多面鏡X射線觀測衛(wèi)星”,均使用了軟X射線多層膜;美國已多次發(fā)射帶有正入射的X射線多層膜系統(tǒng)的衛(wèi)星,得到了4.4~30.4″nm波段的高分辨率太陽圖像。

【光學(xué)鍍膜之什么是蒸發(fā)鍍】通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為蒸發(fā)鍍膜。蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。 薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關(guān)。對于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。蒸氣分子平均動能約為0.1~0.2電子伏。 光學(xué)鍍膜機(jī)的生產(chǎn)廠家。

【光學(xué)鍍膜之蒸發(fā)源的類型和特點(diǎn)】 ①電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì) 。電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。 ②高頻感應(yīng)加熱源:用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì)。 ③電子束加熱源:用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。適用于蒸發(fā)溫度較高(不低于2000℃)的材料。 特點(diǎn):能在金屬、半導(dǎo)體、絕緣體甚至塑料、紙張、織物表面上沉積金屬、半導(dǎo)體、絕緣體、不同成分比的合金、化合物及部分有基聚合物等的薄膜,其適用范圍之廣是其它方法無法與之比擬的??梢圆煌某练e速率、不同的基板溫度和不同的蒸氣分子入射角蒸鍍成膜,因而可得到不同顯微結(jié)構(gòu)和結(jié)晶形態(tài)(單晶、多晶或非晶等)的薄膜; 薄膜的純度很高;易于在線檢測和控制薄膜的厚度與成分;厚度控制精度*高可達(dá)單分子層量級。 光學(xué)鍍膜機(jī)常見故障及解決方法。遼寧光學(xué)鍍膜機(jī)原理

光學(xué)鍍膜機(jī)的操作視頻。云南光學(xué)鍍膜機(jī)離子源工作原理

【鍍膜玻璃的主要產(chǎn)生法之真空蒸鍍法】真空蒸發(fā)鍍膜法(簡稱真空蒸鍍法,Vacuum Evaporation) 是指在一定的真空條件下,利用高溫加熱蒸鍍材料(金屬合金或金屬氧化物)到一定溫度條件下, 使其原子或分子從表面汽化逸出,形成蒸汽流,并飛行濺射到玻璃基板表面凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法。 由于真空蒸鍛法的主要物理過程是通過加熱蒸發(fā)材料而產(chǎn)生,所以又稱熱蒸發(fā)法。蒸發(fā)源作為蒸發(fā)裝置的關(guān)鍵部件,大多數(shù)蒸發(fā)材料都要求在1000-2000℃的高溫下蒸發(fā)。真空蒸鍍法按蒸發(fā)源的不同可分為電阻法、電子束蒸發(fā)法、高頻感應(yīng)法和激光蒸發(fā)法等。目前,采用真空蒸鍍法生產(chǎn)鍍膜玻璃的均是采用間歇式生產(chǎn)。 云南光學(xué)鍍膜機(jī)離子源工作原理

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