【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進(jìn)入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個(gè)離子所濺射出的原子個(gè)數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等*高,Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生,在10-1—10 Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負(fù)電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時(shí)應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點(diǎn)材料也容易濺鍍,但對非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達(dá)10W/cm2,非金屬<5W/cm2。 真空鍍膜機(jī)品牌排行。浙江真空鍍膜機(jī)品牌有哪些
【真空鍍膜之陽極氧化】陽極氧化:主要是鋁的陽極氧化,是利用電化學(xué)原理,在鋁和鋁合金的表面生成一層Al2O3(氧化鋁)膜。這層氧化膜具有防護(hù)性、裝飾性、絕緣性、耐磨性等特殊特性 適用材料: 鋁、鋁合金等鋁制品 工藝成本:生產(chǎn)過程中,水、電的消耗是相當(dāng)da的,特別是在氧化工序。機(jī)器本身的熱耗,需要不停地用循環(huán)水進(jìn)行降溫,噸電耗往往在1000度左右。 環(huán)境影響:陽極氧化在能效方面不算出色,同時(shí)在鋁電解生產(chǎn)中,陽極效應(yīng)還會產(chǎn)生對da氣臭氧層造成破壞性副作用的氣體。 吉林實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜機(jī)錦成國泰真空鍍膜機(jī)怎么樣?
【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨(dú)控制?;ǔ=拥匚?,它和靶與高頻電路無關(guān),不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實(shí)現(xiàn)對樣品臺的單獨(dú)控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造,設(shè)計(jì)、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上,可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連,以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進(jìn)而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個(gè)數(shù)量級),濺射速度可達(dá)0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前*實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù) 濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputter gun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30- 40%,圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse), 直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。 射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。 脈沖:泛用,*新發(fā)展出 真空鍍膜機(jī)為什么會越來越慢?
【真空鍍膜機(jī)清洗工藝要求】真空工藝進(jìn)行前應(yīng)清洗真空材料,從工件或系統(tǒng)材料表面qing除污染物;真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的,因?yàn)橛晌廴疚锼斐傻臍怏w、蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同時(shí)也會影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。 污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”,根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體,它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來看,它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài),可以是無機(jī)物或有機(jī)物。 暴露在空氣中的表面*易受到污染,污染的來源有很多種,*初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。 真空鍍膜機(jī)的工作原理。天津光學(xué)真空鍍膜機(jī)廠家
真空鍍膜機(jī)該如何維修。浙江真空鍍膜機(jī)品牌有哪些
【真空鍍膜機(jī)之真空泵的維護(hù)和保養(yǎng)】1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油,確保泵工作正常。3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新泵,抽除清潔干燥的氣體時(shí),建議在工作100小時(shí)左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油期限。4、一般情況下,泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)泵腔內(nèi)的零件,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。 清洗裝配時(shí)應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。5、有條件的對管中同樣進(jìn)行清理,確保管路暢通。6、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行,一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次,因清洗時(shí)在泵中會留有一定量易揮發(fā)物,待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后,再投入正常工作。7、本系列泵油采用專業(yè)用真空泵油。浙江真空鍍膜機(jī)品牌有哪些
成都國泰真空設(shè)備有限公司位于成都海峽兩岸科技產(chǎn)業(yè)開發(fā)園科林西路618號。公司自成立以來,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),公司旗下光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備深受客戶的喜愛。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識,遵守行業(yè)規(guī)范,植根于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。國泰真空立足于全國市場,依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,融合前沿的技術(shù)理念,飛快響應(yīng)客戶的變化需求。