為了解決超薄石英晶片高表面質(zhì)量的加工問題,以及尋求一種高效低成本的加工方法,將一種新的超精密拋光工藝應(yīng)用到超薄石英晶片的加工中。依照傳統(tǒng)的平面研磨機(jī)游離磨粒加工,因?yàn)楣ぜc磨具之間的磨粒粒度實(shí)際不均勻,較大尺度的磨?;驈墓ぜ系袈涞某叨容^大的磨削簡單進(jìn)入加工區(qū),使得無論是硬質(zhì)研磨盤還是軟質(zhì)盤,大顆粒與磨粒的載荷不同,簡單致使工件的外表損害。 平面研磨機(jī)的半固結(jié)磨料磨具和一般磨具在結(jié)構(gòu)上對比相似,由磨粒、孔隙、結(jié)合劑構(gòu)成,但組合劑強(qiáng)度不大,當(dāng)硬質(zhì)大顆粒進(jìn)入加工區(qū)時(shí),研磨盤上大顆粒周圍磨??砂l(fā)生方位搬遷,構(gòu)成“圈套”空間,使大顆粒與磨粒趨于等高。使得載荷變化小,外表損害也相對較低。 由于石英晶片的基頻與表面質(zhì)量直接相關(guān),石英晶片超精密平面研磨機(jī)半固結(jié)磨粒磨具加工技術(shù),使石英晶片表面質(zhì)量有望得到提高。石英晶片的基頻,也因此得到了穩(wěn)定及提高。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:使用該工藝加工超薄石英晶片可以得到厚度為9.7mm、表面粗糙度為0.002mm的超光滑表面;同時(shí),該研究還發(fā)現(xiàn)通過延長拋光時(shí)間可以減小石英晶片的表面殘余應(yīng)力,可有效控制石英晶片四角“翹曲”現(xiàn)象,得到更好的平面度和平行度。相關(guān)設(shè)備:平面研磨機(jī)溫州市百誠研磨機(jī)械有限公司 研磨機(jī)獲得眾多用戶的認(rèn)可。廣東拋光研磨機(jī)檢修
研磨盤轉(zhuǎn)動通過變頻電機(jī)及減速器來調(diào)速,體積小、效率高、運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪聲小。變速比為1:20,研磨盤轉(zhuǎn)速至高為150r/min控制板上顯示為電機(jī)轉(zhuǎn)速。有運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間調(diào)節(jié)功能,設(shè)定至長時(shí)間為100min,當(dāng)設(shè)定了研磨機(jī)時(shí)間后,啟動運(yùn)轉(zhuǎn)到設(shè)定時(shí)間,研磨機(jī)自動停止運(yùn)行,研磨操作更為方便簡單。加入調(diào)節(jié)功能完善,配好的研磨劑放入儲罐后,通過電磁攪拌可防止研磨劑中磨料沉淀,儲罐內(nèi)采用氣加壓及電磁閥可控制研磨劑加人時(shí)間間隔,至長為100min,同時(shí)也可控制每次研磨劑的時(shí)間??刂瓢迳巷@示“分/次”為加研磨劑時(shí)間間隔。 上海振動拋光研磨機(jī)檢修研磨機(jī),就選溫州市百誠研磨機(jī)械有限公司,用戶的信賴之選。
同一類型工件所用的耗材和裝備是相同的。機(jī)器的研磨原理和適用范圍是相同的。不一樣的當(dāng)?shù)乇砣缃耠p單面研磨機(jī)上面有兩個(gè)研磨盤,上研磨盤和下研磨盤,兩者平行。而單面研磨機(jī)上只要一個(gè)研磨盤。其次,兩者固定工件的方法有些不相同。單面研磨機(jī)的作業(yè)原理:將被磨、拋材料放于研磨盤上,研磨盤逆時(shí)鐘滾動,批改輪帶動工件自轉(zhuǎn),重力加壓的方法對工件施壓,工件與研磨盤作相對作業(yè)磨擦,來到達(dá)研磨拋光意圖。研磨盤修整采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動,金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行精細(xì)修整,得到抱負(fù)的平面效果。雙單面研磨機(jī)的作業(yè)原理:上、下研磨盤作相反方向滾動,工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動。磨削阻力小不損害工件,并且雙面均勻磨削出產(chǎn)功率高。有光柵厚度操控系統(tǒng),加工后的商品厚度公役可操控。雙單面研磨機(jī)的設(shè)備包含兩個(gè)研磨盤,游輪,四個(gè)電機(jī),太陽輪,修面機(jī)等。兩者相比較,雙單面研磨機(jī)的結(jié)構(gòu)相對要雜亂一些,但是假如需求雙面研磨的工件用雙面機(jī)進(jìn)行研磨比單面機(jī)的功率無形中藥快一倍。這種雙單面研磨機(jī)的誕生和發(fā)展為許多行業(yè)的出產(chǎn)功率帶來了改進(jìn)。用的比較多的有光學(xué)玻璃行業(yè)的硅片,藍(lán)寶石襯底,外延片等等。
高速研磨機(jī)精密研磨機(jī)可用于機(jī)械式與手動式研磨。特殊研磨輪設(shè)計(jì)研磨布帶無壓力感刮膠不變形無波紋狀現(xiàn)象確保研磨精度,研磨角度度以配合各種特殊印刷的效能。研磨機(jī)裝有洗塵裝置可工業(yè)污染有利于工作人員的健康及設(shè)備的保養(yǎng),高速研磨機(jī)精密研磨機(jī)操作簡便無需技術(shù)即可操作,研磨機(jī)采用無級調(diào)速系統(tǒng)控制,可輕易調(diào)整出適合研磨各種部件的研磨速度。采用電—?dú)獗壤y閉環(huán)反饋壓力控制??烧{(diào)控壓力裝置。上盤設(shè)置緩降功能。有效的防止薄脆工件的破碎,通過一個(gè)時(shí)間繼電器和一個(gè)研磨計(jì)數(shù)器。溫州市百誠研磨機(jī)械有限公司致力于提供 研磨機(jī),歡迎您的來電!
研磨機(jī)是機(jī)械密封制造行業(yè)中使用的研磨設(shè)備。它由床身、底座、減速箱體、研磨盤、控制環(huán)(亦稱擋圈或修正環(huán))、限位支承架等組成。其傳動機(jī)構(gòu)如圖9-33所示。自動震動研磨機(jī)廠家介紹到研磨時(shí),工件放在控制環(huán)內(nèi),用塑料隔離環(huán)把工件均勻排布在控制環(huán)內(nèi),通過壓重施加研磨壓力,當(dāng)研磨盤旋轉(zhuǎn)時(shí)控制環(huán)在限位支承架內(nèi)旋轉(zhuǎn),工件除了自轉(zhuǎn)外還隨同控制環(huán)在研磨盤上公轉(zhuǎn),在磨料作用下,不斷研磨表面。重塊式平面研磨機(jī)這是一種單面研磨機(jī)(見圖9-35),采用壓重來施加研磨壓力,控制環(huán)共有3個(gè)研磨劑采用人工加入,研磨工件加壓采用上件上加重塊方式,操作人員體力消耗大。一般用于中型密封環(huán)的研磨加工,是一種使用較多的研磨機(jī)。其主要技術(shù)參數(shù)為:大研削工件直徑:240mm。工件薄厚度:1mm。工件加工精度平面度0.03μm,粗糙度Ra0.05μm。研磨盤直徑650mm,轉(zhuǎn)速10~60r/min,無極變速,電動機(jī)功率1.5~2.2kW。控制環(huán)直徑X內(nèi)圈直徑:280mmX240mm。外形尺寸(長X寬X高):900mmX1000mmX800mm。質(zhì)量:1200kg。溫州市百誠研磨機(jī)械有限公司為您提供 研磨機(jī)。深圳刀片研磨機(jī)廠家
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平面研磨機(jī)的工作原理 行星式平面研磨運(yùn)動是至常見的用于平面研磨機(jī)構(gòu)中的方式,如圖1所示。大多數(shù)情況下是研磨盤以設(shè)定的轉(zhuǎn)速主動旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速是已知的,工件由壓頭工裝壓向磨盤,壓頭限制了工件的移動,懸浮在磨盤的上表面,靠研磨切削力帶動工件并隨磨盤轉(zhuǎn)動,從而得到所需表面質(zhì)量的研磨產(chǎn)品。 行星輪的自轉(zhuǎn)是通過工件中心與磨盤中心之間的距離隨時(shí)間周期性變化的。這種研磨方式,工件轉(zhuǎn)速不等于研磨盤轉(zhuǎn)速,其值隨研磨盤轉(zhuǎn)速的增大而基本成線性增大,但其與磨盤轉(zhuǎn)速之比卻隨磨盤轉(zhuǎn)速的增大而下降。 廣東拋光研磨機(jī)檢修
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