線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測量光。特別地,通過使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來在不同位置處設(shè)置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域。深圳光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈
本實(shí)用新型涉及光電精密測量領(lǐng)域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測,將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測量具有如下優(yōu)點(diǎn):無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。徐州光譜共焦位移傳感器推薦它可以測量物體微小的位移,精度高達(dá)亞微米級別。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機(jī)殼,固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組,固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組,所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。
多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計分光器。在針對多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,多個受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個光學(xué)頭的多個測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢,可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測量。
根據(jù)權(quán)利要求所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光學(xué)頭是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。一種測量方法,包括以下步驟:射出具有不同波長的多個光束:通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將所射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光;使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束:以及基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的變形過程進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測,對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。鄭州光譜共焦位移傳感器常用解決方案
它可以測量物體的微小位移,精度可以達(dá)到亞微米級別。深圳光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈
準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置,且準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點(diǎn)。這樣,使準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學(xué)系統(tǒng),進(jìn)一步減小雜散光。準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組結(jié)構(gòu)簡單,易于加工裝配和調(diào)整,同時實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關(guān)系的優(yōu)點(diǎn);例如,軸向色散與波長產(chǎn)生三次函數(shù)關(guān)系,有利于加快后續(xù)處理數(shù)據(jù)的運(yùn)算速度。本實(shí)用新型的光譜儀包括有機(jī)殼,在機(jī)殼中固定設(shè)置有棱鏡組,棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,棱鏡組用于對反射光進(jìn)行色散,在機(jī)殼內(nèi)固定設(shè)置有聚焦透鏡組,聚焦透鏡組用于對色散后的光進(jìn)行聚焦,位于機(jī)殼內(nèi)的所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。深圳光譜共焦位移傳感器供應(yīng)鏈