潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以***。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)比較好溫度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。 潔凈室車間的規(guī)劃有哪些?找上海中沃。合肥千級(jí)潔凈室
單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。(3)矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形高效過(guò)濾器,也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長(zhǎng)比一般在。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)(100級(jí))潔凈度。潔凈室的流型基本上是上述三種類型,但是實(shí)際應(yīng)用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區(qū)域(單向流部分)實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”(一側(cè)敞開(kāi)),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實(shí)現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級(jí)以上潔凈度,工作臺(tái)就設(shè)在“隧道內(nèi)”。潔凈室按受控粒子的性質(zhì)劃分。上海中沃供。 天津潔凈室廠房潔凈室廠家排名?上海中沃挺不錯(cuò)。
潔凈室分類 編輯 潔凈室按氣流的流動(dòng)狀態(tài)分 根據(jù)氣流的流動(dòng)狀態(tài)分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室 [1] : (1) 非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn):終端過(guò)濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口,也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上; 回風(fēng)口均設(shè)在潔凈室的下部,目的是避免出現(xiàn)“揚(yáng)灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級(jí)的潔凈室中。上海中沃電子科技有限公司供
潔凈室空氣凈化技術(shù)分類有哪些***代:銀離子凈化技術(shù):簡(jiǎn)單地說(shuō)就是把銀塊離子化吹到空氣中以起到殺菌的效果缺點(diǎn)產(chǎn)品成本高,細(xì)菌殺滅率低,對(duì)毒幾乎沒(méi)有殺滅特性。
第二代:離子技術(shù): 主要原理是運(yùn)用靜電釋放負(fù)離子,吸附集中空氣中的粉塵起到降塵作用,同時(shí)負(fù)離子對(duì)空氣中的氧氣也有電離成臭氧的作用,對(duì)細(xì)菌有一定的殺滅作用,這類產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)品生產(chǎn)成本較低。
第三代:溫等離子技術(shù): 主要原理是,通過(guò)給氣體外加電壓至氣體的放電電壓,使氣體被擊穿,產(chǎn)生各種強(qiáng)氧化性的低溫等離子,并在極短時(shí)間內(nèi)把接觸。 鋰電池潔凈室的報(bào)價(jià)方案?找上海中沃。
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潔凈室的潔凈度是多少?上海中沃知道。合肥千級(jí)潔凈室
潔凈車間功能溫度測(cè)試:應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格,每個(gè)分格面積不超過(guò)100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定,每格測(cè)點(diǎn)1個(gè)以上,每個(gè)房間測(cè)點(diǎn)至少2個(gè)。測(cè)試高度應(yīng)為工作面高度,距的吊頂、墻面和地面不小于300mm,并應(yīng)考慮熱源等的影響,測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H,并至少6min測(cè)量一次,讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。潔凈車間一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn),每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測(cè)點(diǎn),測(cè)試點(diǎn)高度宜為工作面高度,測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少1H,并至少6min測(cè)量一次,讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。潔凈車間濕度的測(cè)試:濕度測(cè)試可采用通風(fēng)干濕球濕度計(jì)、電容式濕度計(jì)、數(shù)字式濕度計(jì)、毛發(fā)式濕度儀器。相對(duì)濕度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)、測(cè)試頻度和時(shí)間與溫度測(cè)試時(shí)間相同,應(yīng)一同測(cè)試。溫度測(cè)試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力,溫度測(cè)試應(yīng)在潔凈車間進(jìn)行調(diào)試,氣流均勻性測(cè)試完成,并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行24H以上后進(jìn)行。潔凈車間的溫度測(cè)試有功能溫度測(cè)試和一般溫度測(cè)試。功能溫度測(cè)試主要用于需嚴(yán)格控制溫度精度時(shí)或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”進(jìn)行測(cè)試時(shí)應(yīng)用;一般溫度測(cè)試主要使用于“空態(tài)”時(shí)溫度測(cè)試。 合肥千級(jí)潔凈室