下面為大家介紹一下六腔體無塵烤箱箱體結(jié)構(gòu)：1烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風(fēng)道部分，塵埃物過濾部分，N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實(shí)用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，內(nèi)膽材料：采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費(fèi)。4電熱部分：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHEDHEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分：整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過濾效果可達(dá)99.99%,Class100；可靠先進(jìn)的測控系統(tǒng)1溫度控制裝置：日本進(jìn)口溫控器，內(nèi)置PID自動整定，斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置：采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實(shí)時環(huán)境溫度進(jìn)行檢測打印。完善的控制系統(tǒng)1操作控制系統(tǒng)，采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動系統(tǒng)控制，更快速，更穩(wěn)定。2防護(hù)措施：緊急停止，超溫保護(hù),斷線報(bào)警，相序保護(hù)，過載保護(hù)等。工業(yè)烤箱在社會上的重要性。廈門大型工業(yè)烤箱

一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃（恒溫800℃,1h）二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)?，流量?jì)量程為2～20L/min；每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個排氣*囪，用于廢氣排放，廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進(jìn)入大氣中，減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量：5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量。廈門工業(yè)烤箱多少錢上海工業(yè)烤箱的價(jià)格是多少？

優(yōu)良連續(xù)爐的產(chǎn)品特點(diǎn)：1、雙邊配有鏈條傳動，解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象；2、烘箱分段式加熱，單獨(dú)電箱控制，方便操作，結(jié)構(gòu)主要由輸送機(jī)系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成，多段單獨(dú)；3、PID溫度控制，爐內(nèi)溫度均勻；4、輸送速度變頻調(diào)速，調(diào)節(jié)自如，運(yùn)行平穩(wěn)，產(chǎn)能高；5、每段單獨(dú)箱體設(shè)置廢氣排放接口，可外接到車間外面，避免車間廢氣污染。優(yōu)良連續(xù)爐的術(shù)參數(shù)：1、送風(fēng)方式：送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)；2、溫度范圍：RT+30℃~300℃；3、溫度精度：1℃4、溫度均勻性：1℃5、溫控裝置：富士智能PID溫控儀，LED數(shù)字顯示，PID自動演算及定時；6、材質(zhì)：內(nèi)膽不銹鋼，外箱體鋼板靜電噴塑；7、傳送方式：鏈桿、鏈網(wǎng)、自動錕輪，相當(dāng)強(qiáng)承重；8、復(fù)合式電加熱器；9、保護(hù)裝置：漏電保護(hù)、斷路保護(hù)、電機(jī)過載保護(hù)、接地保護(hù)、非正常運(yùn)行情況下蜂鳴報(bào)警。

HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo)：1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造，無發(fā)塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境。有哪些領(lǐng)域需要使用工業(yè)烤箱？

1.保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費(fèi)。2.電熱部分：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHEDHEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分：整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過濾效果可達(dá)99.99%,Class100；可靠先進(jìn)的測控系統(tǒng)1溫度控制裝置：日本進(jìn)口溫控器，內(nèi)置PID自動整定，斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置：采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實(shí)時環(huán)境溫度進(jìn)行檢測打印。合肥真萍告訴您什么是工業(yè)烤箱？不銹鋼工業(yè)烤箱門配件

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。廈門大型工業(yè)烤箱