下面為大家介紹一下石墨盤烤盤爐一.產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級；10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱對如今市場的影響。浙江工業(yè)烤箱銷售價格

HMDS真空烤箱整機尺寸、真空腔體尺寸：1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動度：±0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫）。嘉興無塵工業(yè)烤箱合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用。

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫燒結、熱處理。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃（恒溫800℃,1h）二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮氣，流量計量程為2～20L/min；每路流量可調節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設置一個排氣*囪，用于廢氣排放，廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進入大氣中，減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量：5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結構無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設備安全升溫速率≤5℃/min四、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量采用K分度熱偶測量2.控制儀表采用進口智能調節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫3.上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護功能4.控制方式固態(tài)繼電器過零控制5.超溫處理⑴.當測量溫度超過設定的安全值時，斷加熱，并報警。⑵.當測量溫度超過目標溫度達到安全偏差值時，報警。

工業(yè)烤箱的工作原理：工業(yè)烤箱在工作時，操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動性，能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式，熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計算，風源是由送風馬達運轉帶動風輪經(jīng)由電熱器，將熱風送至風道后進入烘箱工作室，且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱運用，如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復操作狀態(tài)溫度值。使用工業(yè)烤箱前的檢查步驟。

本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造，普遍應用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。技術指標：可靠的測控系統(tǒng)1溫度控制裝置：進口溫控器，內(nèi)置PID自動整定，斜率設定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置：采用六通道巡回檢測有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進行檢測打印。完善的控制系統(tǒng)，及安全防護措施1操作控制系統(tǒng)，采用精密電子儀器儀表結合電力拖動系統(tǒng)控制，更快速，更穩(wěn)定。2防護措施：緊急停止，超溫保護,斷線報警，相序保護，過載保護，短路保護，漏電保護，及電磁門禁保護等。合肥真萍告訴您什么是工業(yè)烤箱？福州工業(yè)烤箱門把手

工業(yè)烤箱如何發(fā)揮重要作用呢？浙江工業(yè)烤箱銷售價格

下面為大家介紹一下高溫無氧固化烘箱。無氧干燥箱應用于航空、航天、石油、化工、***、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。1、技術指標與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃；1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：±1℃；2.3溫度均勻度：±2%℃（260℃平臺）；浙江工業(yè)烤箱銷售價格