HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。工業(yè)烤箱在社會(huì)上的重要性。精密工業(yè)烤箱非標(biāo)定制

HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo)：1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。精密工業(yè)烤箱非標(biāo)定制工業(yè)烤箱常見(jiàn)的用途有哪些？合肥真萍告訴您！

可靠的測(cè)控系統(tǒng)1溫度控制裝置：進(jìn)口溫控器，內(nèi)置PID自動(dòng)整定，斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置：采用六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。完善的控制系統(tǒng)，及安全防護(hù)措施1操作控制系統(tǒng)，采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制，更快速，更穩(wěn)定。2防護(hù)措施：緊急停止，超溫保護(hù),斷線報(bào)警，相序保護(hù)，過(guò)載保護(hù)，短路保護(hù)，漏電保護(hù)，及電磁門禁保護(hù)等

鋰電池真空干燥箱產(chǎn)品描述：真空干燥箱，是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點(diǎn)，加快干燥的速度。

特點(diǎn)：

1、長(zhǎng)方體工作室，增加有效容積，微電腦溫度控制器，精確控溫。

2、雙層玻璃視窗觀察工作室內(nèi)物體，一目了然。

3、箱體閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。

4、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。

5、儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行，所以不會(huì)氧化。

真空程序分段控制

該型號(hào)機(jī)型，抽真空過(guò)程可提供程序化編程，根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值，保壓時(shí)間值?？蓪?shí)現(xiàn)多段抽真空和保壓編程。

操作步驟

1，接通電源

2，產(chǎn)品送入腔體，關(guān)門

3，打開(kāi)電源

4，工作溫度設(shè)定好，啟動(dòng)加熱，設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)恒溫狀態(tài)

5，真空值和時(shí)間設(shè)定好后，啟動(dòng)真空泵，開(kāi)始進(jìn)入自動(dòng)抽真空階段

6，到達(dá)時(shí)間值后，真空泵自動(dòng)關(guān)閉 工業(yè)烤箱的重要組成部分。

高溫鐘罩爐設(shè)備規(guī)格及結(jié)構(gòu)爐膛結(jié)構(gòu)：采用多晶莫來(lái)石材料砌筑而成外形尺寸：W1300×H2200×D1510(mm)一、熱工系統(tǒng)1.1額定溫度：1550℃1.2限制溫度：1600℃1.3加熱元件：U型硅鉬棒1.4加熱功率：16kW1.5空爐保溫功率≤8kW1.6溫區(qū)個(gè)數(shù)：1個(gè)1.7控溫點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn)1.8熱偶:B分度1.9程序**精度：±2℃（大于600℃,升溫速率≤3℃/min）二、氣氛系統(tǒng)2.1爐膛氣氛：2路空氣，流量計(jì)量程為7～70L/min；每路流量可調(diào)節(jié)2.2排氣系統(tǒng)：在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣*囪，用于廢氣排放三、傳動(dòng)系統(tǒng)3.1傳動(dòng)方式：升降式3.2傳動(dòng)類型：電動(dòng)推桿傳動(dòng)3.3容積：20L四、冷卻系統(tǒng)4.1冷卻結(jié)構(gòu)：無(wú)4.2產(chǎn)品降溫：隨爐降溫五、安全保護(hù)5.1升、降、停按鈕：載料臺(tái)的升、降、?？刂?.2報(bào)警指示：超溫、斷偶、過(guò)載、超程、偏差等聲光報(bào)警5.3設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min六、溫度控制系統(tǒng)6.1溫度測(cè)量:采用B分度熱偶測(cè)量6.2控制方式：高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制6.3限溫處理：6.3.1當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)設(shè)定的安全值時(shí)，斷加熱，并報(bào)警6.3.2當(dāng)測(cè)量溫度超過(guò)目標(biāo)溫度達(dá)到限制偏差值時(shí)，報(bào)警6.4控制儀表：采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能有哪些領(lǐng)域需要使用工業(yè)烤箱？做工業(yè)烤箱保養(yǎng)

合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱的重要性。精密工業(yè)烤箱非標(biāo)定制

真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞，解決探針卡潮濕及氧化問(wèn)題解決光罩的受潮問(wèn)題---黃光部封裝的金線，解決液晶的受潮問(wèn)題，解決線路板受潮問(wèn)題。下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤?。潔凈?jié)能氮?dú)夤竦臏貪穸扔涗浌δ埽?.5.1內(nèi)建內(nèi)存，可儲(chǔ)存溫度/濕度，收集時(shí)間1~240分鐘可自行設(shè)定。2.5.2可利用RS232連接阜下載至計(jì)算機(jī)中讀取。2.5.3品管記錄格式設(shè)計(jì)，有助于內(nèi)部記錄追蹤并可支持?jǐn)?shù)據(jù)庫(kù)檔案格式。潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦臐穸染瘓?bào)系統(tǒng)：1.6.1可設(shè)定啟動(dòng)警報(bào)的濕度值及條件，內(nèi)配蜂鳴器（90分貝）及閃爍警示功能1.6.2可另外選配積層式警示燈。1.7、溫濕度偏移校正功能：內(nèi)建校正功能，確保顯示準(zhǔn)確度。精密工業(yè)烤箱非標(biāo)定制