通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式,熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。均經(jīng)精確計算,風源是由送風馬達運轉帶動風輪經(jīng)由電熱器,將熱風送至風道后進入烘箱工作室,且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱運用,如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關,可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速恢復操作狀態(tài)溫度值。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經(jīng)過電熱設備加熱攜帶熱能后經(jīng)風道進入工業(yè)烤箱的烘箱工作室。合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱發(fā)揮的重要作用。無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.
下面為大家簡單介紹一下六腔體無塵烤箱產(chǎn)品介紹:本產(chǎn)品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。技術指標:1無塵等級:Class100:(符合FED-STD209E標準:0.3um≤300個0.5≤100個)2溫度范圍:+60℃~+250℃(極限溫度350℃)3溫度均勻性:±2℃(空箱測試)4溫度精確度:±1℃(空箱測試)5設備型號規(guī)格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.合肥真萍與您分享工業(yè)烤箱對如今市場的影響。
HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。
石墨盤烤盤爐
一.產(chǎn)品介紹
真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。
二、設計特點
1、后門設計熱風電機
2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產(chǎn)生如圖所示的氣體流向
3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的
三、技術指標
1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;
2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;
4、加熱元件:石墨加熱棒;
5、冷卻方式:氣冷 + 循環(huán)風冷降溫;
6、控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;
7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃);
8、氣氛: 可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;
9、極限真空: 10-3torr級;
10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr
11、升溫功率:170kW;
12、升溫速率:15℃/min(空載);
13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘
14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高) 工業(yè)烤箱使用時的注意事項。
工業(yè)烤箱為內外雙層結構,殼體為角鋼薄鋼板,內外雙層殼體之間填充有纖維物質。工業(yè)烤箱使用的纖維物質多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業(yè)烤箱內物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。使用工業(yè)烤箱前的檢查步驟。無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.
工業(yè)烤箱的基本結構級應用!無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.
用途介紹:無氧干燥箱應用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,模壓固烤、IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。1、技術指標與基本配置:1.1使用溫度:RT~260℃,極限溫度:300℃;1.2爐膛腔數(shù):2個,上下布置;1.3爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:K分度1.4溫度和氧含量記錄:無紙記錄儀;2、氧含量(配氧分析儀):2.1高溫狀態(tài)氧含量:≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量:≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度:±1℃;2.3溫度均勻度:±2%℃(260℃平臺);無塵工業(yè)烤箱電烘箱接線.