真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術(shù)指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)合肥真萍告訴您如何正確使用工業(yè)烤箱?定制工業(yè)烤箱保養(yǎng)
1、本烘箱由室體、加熱系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、送風系統(tǒng)、保護系統(tǒng)等組成。2、箱體采用先進設備制作、業(yè)內(nèi)的制造工藝流程、線條流暢、美觀大方。3、工作室材質(zhì)為不銹鋼、外箱材質(zhì)為優(yōu)良冷軋鋼板,產(chǎn)品外殼使用環(huán)保金屬漆噴制,整體設計美觀大方,適合較好實驗室的顏色搭配。4、工作室內(nèi)的擱架不可調(diào)節(jié)。5、工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是優(yōu)良超細玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,國內(nèi),高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結(jié)構(gòu)獨特,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。6、門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、耐高溫性、抗老化性好。立式工業(yè)烤箱多少錢一臺上海工業(yè)烤箱的發(fā)展趨勢。
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫燒結(jié)、熱處理。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個數(shù)1個7.控溫點數(shù)2點8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設置一個排氣*囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進入大氣中,減少對環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護4.報警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報警保護5.設備安全升溫速率≤5℃/min四、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量采用K分度熱偶測量2.控制儀表采用進口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫3.上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護功能4.控制方式固態(tài)繼電器過零控制5.超溫處理⑴.當測量溫度超過設定的安全值時,斷加熱,并報警。⑵.當測量溫度超過目標溫度達到安全偏差值時,報警。
工業(yè)烤箱為內(nèi)外雙層結(jié)構(gòu),殼體為角鋼薄鋼板,內(nèi)外雙層殼體之間填充有纖維物質(zhì)。工業(yè)烤箱使用的纖維物質(zhì)多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內(nèi)部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業(yè)烤箱內(nèi)物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱的作用是什么?合肥真萍告訴您。
連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內(nèi)不斷移動,完成加熱、保溫,有時包括冷卻在內(nèi)全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機械機構(gòu)連續(xù)地或間歇地進行裝料和出料,連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高勞動生產(chǎn)率和改善勞動條件。1、采用智能型溫度控制模塊,PID自動演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細度;2、分段控制(當?shù)竭_設定溫度時可任意關(guān)掉其中幾段發(fā)熱管,降低加熱功率,其達到省電效果)。工業(yè)烤箱的重要組成部分有哪些?無塵工業(yè)烤箱門配件
工業(yè)烤箱的發(fā)展前景如何呢?定制工業(yè)烤箱保養(yǎng)
HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標:1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境。6HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。7.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)8.溫度與PLC聯(lián)動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發(fā)出警報)9.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)定制工業(yè)烤箱保養(yǎng)