當(dāng)匯聚光束的角度與自由曲面樣品11在測量點m的法線方向不一致時,返回光束經(jīng)過分光鏡4反射在四象限探測器13的光斑不會處于四象限探測器13的中心,因此,法向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca17根據(jù)四象限探測器13的探測信號對x電機(jī)5和y電機(jī)7進(jìn)行伺服控制,使得返回光的光束中心位置始終處于四象限探測器13的中心,即說明實現(xiàn)了對自由曲面樣品11的法向跟蹤;由于已經(jīng)實現(xiàn)了對自由曲面樣品11的法向跟蹤,因此探測光束沿原光路返回進(jìn)入共焦探測模塊,軸向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca18控制物鏡驅(qū)動器9進(jìn)行軸向掃描獲得共焦軸向強(qiáng)度曲線20,共焦軸向強(qiáng)度曲線20的峰值點對應(yīng)著物鏡10的焦點,即對應(yīng)自由曲面樣品11的軸向坐標(biāo),實現(xiàn)了在法向跟蹤的前提下利用激光共焦測量方法完成對測量點m的軸向位置的測量;在完成對測量點m的軸向位置測量后,掃描60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca19驅(qū)動二維精密位移臺12按照圖4所示掃描路徑進(jìn)行掃描探測,直至完成全部掃描點,進(jìn)而重建出自由曲面樣品11的三維輪廓。以上所述的具體描述,對公司方法的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明,所應(yīng)理解的是,以上所述為本公司方法的具體實施例而已,并不用于限定本公司方法的保護(hù)范圍。相位偏折光學(xué)的高精度面形檢測設(shè)備用于國家天文的MPO鏡片面形檢測,PV精度100nm。平坦度玻璃面型檢測費用
我公司自主研發(fā)生產(chǎn)的汽車玻璃在線檢測設(shè)備,是我公司的主打產(chǎn)品,就跟大家分享一下汽車玻璃的基礎(chǔ)知識和保養(yǎng)方法,希望對有車及愛車一族有所幫助:汽車玻璃是汽車車身附件中必不可少的,主要起到防護(hù)作用。汽車玻璃主要有以下三類:夾層玻璃,鋼化玻璃和區(qū)域鋼化玻璃,能承受較強(qiáng)的沖擊力。汽車玻璃按所在的位置分為:前擋風(fēng)玻璃,側(cè)窗玻璃,后擋風(fēng)玻璃和天窗玻璃四種;汽車玻璃圖片前擋風(fēng)玻璃國家強(qiáng)制規(guī)定必須是夾層玻璃,(一些低廉的農(nóng)用車前擋仍是鋼化玻璃或區(qū)域鋼化玻璃)側(cè)窗玻璃是鋼化玻璃,后擋風(fēng)玻璃一般是帶電加熱絲的鋼化玻璃發(fā)展前景/汽車玻璃編輯數(shù)據(jù)顯示,全球汽車玻璃行業(yè)按消費市場主題劃分,歐洲、北美、日本、中國以及韓國分別占據(jù)34%、26%、19%、9%和5%的比重,合計占據(jù)全球汽車玻璃市場93%。按企業(yè)來劃分,全球汽車玻璃市場被高度壟斷,日本旭硝子玻璃公司是世界上大的玻璃制造商,幾乎占領(lǐng)了汽車玻璃市場25%的份額,而且,玻璃行業(yè)的巨頭(圣戈班,日本板玻璃等)也霸占了汽車玻璃市場巨大份額。世界三大汽車玻璃制造商板硝子(NSG)、旭硝子(AGC)和圣戈班連同其在世界各地合資公司在內(nèi)共同占據(jù)了全球OEM市場70%左右的市場份額。寧波曲度玻璃面型檢測哪家好高鐵異形玻璃平面度、輪廓、裂紋等缺陷檢測,在線檢測,高精度檢測,減少人工,節(jié)約成本。
2)利用共焦探測技術(shù)對自由曲面樣品進(jìn)行非接觸測量,并通過60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca保持對樣品的法向跟蹤和軸向焦點的峰值提取,具備較高的測量效率和納米級測量精度。附圖說明圖1為本公司方法示意圖;圖2為本公司方法光路部分示意圖;圖3為本公司方法控制框圖;圖4為本公司方法掃描路徑示意圖;圖5為本公司方法共焦軸向強(qiáng)度示意圖;圖6為本公司方法光束離軸示意圖。圖中:1-激光二極管光源、2-準(zhǔn)直鏡、3-a分光鏡、4-b分光鏡、5-x電機(jī)、6-x光學(xué)平板、7-y電機(jī)、8-y光學(xué)平板、9-物鏡驅(qū)動器、10-物鏡、11-自由曲面樣品、12-二維精密位移臺、13-四象限探測器、14-收集透鏡、15-眼兒、16-光電探測器、17-法向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca、18-軸向60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca、19-掃描60bf8332-d34a-4b4a-a33c-ca、20-共焦軸向強(qiáng)度曲線、21-物鏡的入瞳、22-離軸準(zhǔn)直光束的平面光斑。具體實施方式下面結(jié)合附圖對本公司方法做詳細(xì)說明。本公司方法基于圖1所示的基于法向跟蹤的自由曲面共焦測量裝置來實現(xiàn)。
本公司方法涉及一種基于法向跟蹤的自由曲面共焦測量方法及裝置,屬于光學(xué)精密檢測領(lǐng)域。背景技術(shù):自由曲面光學(xué)元件具有較大的表面形貌自由度,在成像系統(tǒng)中具有改善光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量、提高分辨能力、增大作用距離、簡化儀器結(jié)構(gòu)、減小儀器體積重量和提高可靠性等優(yōu)點。使用自由曲面光學(xué)系統(tǒng)代替的平面鏡、球面鏡、共軸二次曲面鏡等已經(jīng)成為光學(xué)系統(tǒng)發(fā)展的重要趨勢。但是,自由曲面在增加了設(shè)計自由度的同時,對光學(xué)設(shè)計、加工和檢測提出了更高的要求。隨著光學(xué)cad與數(shù)控金剛石點加工技術(shù)在光學(xué)設(shè)計與制造中得到成功應(yīng)用,自由曲面的設(shè)計與加工已不再是主要技術(shù)障礙,但測量問題卻成為亟待研究解決的難題。金剛石點加工技術(shù)對自由曲面面形的加工精度,主要取決于對面形上各點空間坐標(biāo)的測量準(zhǔn)確度,因此,元件面形能否滿足設(shè)計要求,必須由高精度的檢測技術(shù)來保證。目前,國際上自由曲面的表面輪廓測量方法,主要分為光場圖像探測法、層析掃描探測法和探針三維掃描探測法三大類。其中,圖像探測法測量過程無需對樣品進(jìn)行掃描,測量速度快,但易受到樣品表面反射率、粗糙度等特性差異影響,無法適應(yīng)任意傾角變化的自由曲面高精度測量;層析掃描法原理簡單。我公司基于相位偏折光學(xué)的在線高精度玻璃檢測,解決工廠多檢具、費用高、難儲存的難題。
本方法實現(xiàn)上述實施例方法中的全部或部分流程,也可以通過計算機(jī)程序來指令相關(guān)的硬件來完成,計算機(jī)程序可存儲于一個計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)中,該計算機(jī)程序在被處理器執(zhí)行時,可實現(xiàn)上述各個方法實施例的步驟。其中,計算機(jī)程序包括計算機(jī)程序代碼,計算機(jī)程序代碼可以為源代碼形式、對象代碼形式、可執(zhí)行文件或某些中間形式等。計算機(jī)可讀介質(zhì)可以包括:能夠攜帶計算機(jī)程序代碼的任何實體或裝置、記錄介質(zhì)、u盤、移動硬盤、磁碟、光盤、計算機(jī)存儲器、只讀存儲器(rom,read-onlymemory)、隨機(jī)存取存儲器(ram,randomaccessmemory)、電載波信號、電信信號以及軟件分發(fā)介質(zhì)等。存儲器可用于存儲計算機(jī)程序和/或模塊,處理器通過運行或執(zhí)行存儲在存儲器內(nèi)的計算機(jī)程序和/或模塊,以及調(diào)用存儲在存儲器內(nèi)的數(shù)據(jù),實現(xiàn)各種功能。存儲器可以包括高速隨機(jī)存取存儲器,還可以包括非易失性存儲器,例如硬盤、內(nèi)存、插接式硬盤,智能存儲卡(smartmediacard,smc),安全數(shù)字(securedigital,sd)卡,閃存卡(flashcard)、至少一個磁盤存儲器件、閃存器件、或其它易失性固態(tài)存儲器件等。汽車玻璃的形狀檢測設(shè)備。揚州工業(yè)玻璃面型檢測質(zhì)量好價格憂的廠家
透射式屈光度檢測,應(yīng)用于眼鏡、光學(xué)鏡片、光學(xué)玻璃行業(yè)。平坦度玻璃面型檢測費用
但對被測零件的尺寸和材料都有一定限制,對運行環(huán)境要求較高,現(xiàn)有儀器測量精度較低。探針三維掃描探測法,采用探針對被測自由曲面樣品表面進(jìn)行逐點定位,通過測量各個位置點的坐標(biāo)重構(gòu)得到樣品表面形貌,通常由坐標(biāo)測量機(jī)驅(qū)動探針進(jìn)行探測,該方法具有測量精度高、適用范圍廣等優(yōu)勢,已逐漸成為自由曲面測量的主流技術(shù)。傳統(tǒng)的探針三維掃描測量方法包括:清晰度法、飛行時間法和共焦定位法。其中,清晰度法利用數(shù)字圖像處理技術(shù),對光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量進(jìn)行判定,尋找成像為清晰的點作為定焦位置,但受衍射限制十分明顯,瞄準(zhǔn)定位靈敏度較低,定位精度為微米量級。飛行時間法測量原理簡單,不需要圖像處理,但分辨率較低,不適用于精密測量環(huán)境中。干涉方法的靈敏度很高,其軸向定位精度為納米級,但是對測量環(huán)境要求苛刻,并且容易受到樣品表面的傾角、粗糙度等特性差異影響,實際工程應(yīng)用受到較大限制。共焦法定焦精度較高,抗環(huán)境干擾能力強(qiáng),并且對樣品表面屬性差異影響具有一定的抑制能力,但同樣容易受到樣品表面的傾角、粗糙度等特性差異影響。綜上所述,現(xiàn)有測量方法測量精度受樣品表面粗糙度、起伏、傾角等特性差異的影響大。平坦度玻璃面型檢測費用
領(lǐng)先光學(xué)技術(shù)(江蘇)有限公司成立于2019年,公司總部地址位于武進(jìn)區(qū)天安數(shù)碼城內(nèi)獨棟12-2#寫字樓。我們的種子企業(yè)“l(fā)ing先光學(xué)技術(shù)(常熟)有限公司”成立于2014年,是國家高新技術(shù)企業(yè)、科技型中小型企業(yè)、江蘇省民營科技企業(yè)、雛鷹企業(yè)。知識產(chǎn)權(quán)80余項(發(fā)明專利8項)。內(nèi)核團(tuán)隊:教授2名、博士2名、行業(yè)渠道關(guān)鍵人4人。長期穩(wěn)定與復(fù)旦大學(xué)、大連理工大學(xué)合作。底層技術(shù)包括:光學(xué)(相位偏折、白光干涉、白光共焦、深度學(xué)習(xí));MicroLED(發(fā)光器件、透明顯示、微型投影)。是做一件“利用光學(xué)進(jìn)行工業(yè)質(zhì)量檢測設(shè)備的生產(chǎn)和制造”。自主開發(fā)光學(xué)系統(tǒng)和底層內(nèi)核算法,擁有十年以上行業(yè)經(jīng)驗,主要應(yīng)用于:汽車玻璃檢測行業(yè)、片材檢測行業(yè)、半導(dǎo)體材料檢測行業(yè),我們的戰(zhàn)略新產(chǎn)品:微米級光刻機(jī)已經(jīng)完成版流片,也正在一步步趨于穩(wěn)定和成熟。公司在科技的浪潮中,已經(jīng)具有將內(nèi)核技術(shù)轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品的經(jīng)驗與能力。公司是高科技、高成長性企業(yè),公司不斷的夯實自身技術(shù)基礎(chǔ),愿成為中國工業(yè)發(fā)展中奠基石的一份子,打破國外的智能裝備的,樹名族自有高技術(shù)品牌。