其包含軸、與所述軸連動(dòng)的馬達(dá)轉(zhuǎn)子、具有使所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的定子芯的馬達(dá)定子、每3相至少分成第1線圈組和第2線圈組這兩個(gè)系統(tǒng)且用3相交流電對(duì)所述定子芯進(jìn)行勵(lì)磁的多個(gè)線圈組、以及在內(nèi)側(cè)收納所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子、所述馬達(dá)定子和所述多個(gè)線圈組的筒狀的殼體；電子控制裝置，其是為了對(duì)所述電動(dòng)馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制而設(shè)置的，包含設(shè)于所述軸的靠負(fù)載相反側(cè)的端部的磁體、以及位于所述軸的負(fù)載相反側(cè)且配置在所述軸的軸向的延長線上的電路基板；第1線圈布線，其將所述第1線圈組和所述電路基板連接起來；以及第2線圈布線，其將所述第2線圈組和所述電路基板連接起來，所述電路基板具有：檢測(cè)電路，其包含對(duì)所述磁體的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；以及控制電路，其包含對(duì)所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進(jìn)行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出。棲霞區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！賈汪區(qū)糖袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家

    而不是全部的實(shí)施例。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，只是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。如圖1-3所示，本發(fā)明的一種板材搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備的機(jī)械手，包括立柱1，立柱1的底部安裝有滑輪，滑輪可配合滑軌等移動(dòng)裝置以使得機(jī)械手的移動(dòng)范圍更廣，立柱1的頂壁上安裝有第1電機(jī)2，第1電機(jī)2的驅(qū)動(dòng)端安裝有斜齒輪8，立柱1的一側(cè)的側(cè)壁上安裝有兩個(gè)支撐板10，兩個(gè)支撐板10之間共同安裝有蝸桿9，兩個(gè)支撐板10上均開設(shè)有斜螺紋孔，且斜螺紋孔與蝸桿9相互嚙合，蝸桿9與斜齒輪8相互嚙合，蝸桿9的底端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有安裝板7，安裝板7靠近立柱1一側(cè)的側(cè)壁上安裝有滑塊，立柱1的側(cè)壁上開設(shè)有與滑塊相互配合的豎向滑槽，安裝板7通過滑塊與豎向滑槽的配合可沿著立柱1進(jìn)行上下滑動(dòng)，安裝板7的頂壁上開設(shè)有轉(zhuǎn)槽，轉(zhuǎn)槽內(nèi)設(shè)有限位板18，蝸桿9的底端貫穿安裝板7的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，蝸桿9的底端安裝在限位板18的頂壁上。本發(fā)明中。賈汪區(qū)糖袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家浦口區(qū)包裝袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    起到防滑作用。固定夾和轉(zhuǎn)動(dòng)夾閉合后形成一個(gè)由四個(gè)沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成的空間，使得夾持件可以從兩個(gè)垂直的角度夾持艙壁助力扶手。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，固定夾持機(jī)構(gòu)與長度調(diào)整機(jī)構(gòu)之間通過萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)連接。萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)中的球頭位于弧形槽中，并可在其中自由轉(zhuǎn)動(dòng)。使得長度調(diào)整機(jī)構(gòu)也可自由轉(zhuǎn)動(dòng)，而航天員可通過鎖緊件來壓緊球頭，從而鎖定長度調(diào)整機(jī)構(gòu)使其不再轉(zhuǎn)動(dòng)。而位于弧形槽中的阻尼件則可在長度調(diào)整機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)到位后依靠其與球頭之間的摩擦力使轉(zhuǎn)動(dòng)自動(dòng)停止。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，外調(diào)節(jié)桿可往復(fù)移動(dòng)地套設(shè)在內(nèi)調(diào)節(jié)桿上，內(nèi)調(diào)節(jié)桿上設(shè)有多個(gè)固定孔。而外調(diào)節(jié)桿上設(shè)有開關(guān)結(jié)構(gòu)。航天員可通過撥動(dòng)開關(guān)結(jié)構(gòu)中的凸輪手柄使與其鉸接的鎖定銷做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，從而在位于固定孔中和脫離固定孔兩個(gè)狀態(tài)之間切換，完成調(diào)整長度并鎖定。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，長度調(diào)整機(jī)構(gòu)和末端助力機(jī)構(gòu)之間通過萬向接頭機(jī)構(gòu)連接，萬向接頭機(jī)構(gòu)與萬向球頭接頭機(jī)構(gòu)相似，同樣為類似關(guān)節(jié)的機(jī)構(gòu)。使得末端主力機(jī)構(gòu)也可做自由轉(zhuǎn)動(dòng)。而連桿可旋轉(zhuǎn)地連接在末端扶手上，使得末端扶手可繞連桿軸線旋轉(zhuǎn)。配合萬向球頭接頭機(jī)構(gòu)構(gòu)成的關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)。

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)。高淳區(qū)包裝袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    所述蝸桿的底端貫穿安裝板的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，所述蝸桿的底端安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板的頂壁上同樣開設(shè)有轉(zhuǎn)槽，所述轉(zhuǎn)槽內(nèi)同樣設(shè)有限位板，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離移動(dòng)夾板的一端貫穿固定夾板的頂壁并延伸至轉(zhuǎn)槽內(nèi)，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)桿遠(yuǎn)離移動(dòng)夾板的一端分別安裝在限位板的頂壁上。地，所述固定夾板與移動(dòng)夾板相對(duì)一側(cè)的側(cè)壁上均安裝有防滑齒。地，所述橫板上開設(shè)有與三角形傳動(dòng)件相匹配的矩形槽。地，所述安裝板靠近立柱一側(cè)的側(cè)壁上安裝有滑塊，所述立柱的側(cè)壁上開設(shè)有與滑塊相互配合的豎向滑槽。地，所述立柱的底部安裝有滑輪。本發(fā)明中，分別將第1電機(jī)和第二電機(jī)接通電源，先將第二電機(jī)進(jìn)行正轉(zhuǎn)，第二電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)第1轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，第1轉(zhuǎn)盤通過三角形傳動(dòng)件可將兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)兩個(gè)第二轉(zhuǎn)盤上均安裝的轉(zhuǎn)桿可與移動(dòng)夾板進(jìn)行嚙合，因此轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可迫使移動(dòng)夾板向固定夾板進(jìn)行移動(dòng)，進(jìn)而在固定夾板與移動(dòng)夾板的相互配合下可對(duì)板材進(jìn)行夾緊，固定夾板與移動(dòng)夾板上安裝的防滑齒可防止板材滑落，增加穩(wěn)定性，將板材夾緊后，打開第1電機(jī)并將第1電機(jī)進(jìn)行正轉(zhuǎn)，第1電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)端安裝的斜齒輪可將蝸桿進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。浦口區(qū)象鼻子氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！南京糖袋氣動(dòng)懸臂吊

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    其配置在所述第1面與所述電路基板之間；以及彈性體，其配置在所述壁部與所述電路基板之間，所述電路基板具有：檢測(cè)電路，其包含對(duì)所述磁體的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器；第1電力電路，其包含向所述第1線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；第2電力電路，其包含向所述第2線圈組供給電流的多個(gè)電子元器件；以及控制電路，其包含對(duì)所述第1電力電路和所述第2電力電路中的至少一者所供給的電流進(jìn)行控制的電子元器件，所述第1線圈布線和所述第2線圈布線均具有：第1部位，其在與所述軸的軸向交叉的方向上突出到所述殼體的外側(cè)；以及第2部位，其在所述外側(cè)自所述第1部位朝向所述電路基板突出，所述散熱器具有通孔，該通孔設(shè)置在所述第1面與所述第2面之間且供所述軸穿過，在自所述軸的軸向俯視時(shí)，所述通孔位于所述壁部的環(huán)的內(nèi)側(cè)。由此，能夠?qū)⒌?電力電路和第2電力電路配置在靠近電路基板的外周的位置，能夠增大第1電力電路以及第2電力電路與磁傳感器之間的間隔距離。由此，由第1電力電路和第2電力電路產(chǎn)生的熱不易向磁傳感器傳遞，因此，能夠抑制磁傳感器的溫度上升。另外，在壁部與電路基板之間配置有彈性體。通過使彈性體分別貼緊于壁部和電路基板，能夠抑制電路基板的振動(dòng)。賈汪區(qū)糖袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家