磁控濺射粉體鍍膜技術已經(jīng)實現(xiàn)了銀包銅粉、銀包鋁粉、鋁包硅粉等多種微納米級粉體的量產(chǎn).由該技術得到的功能性復合粉體具有優(yōu)異的分散性,鍍層均勻度較高,鍍層與粉體的結合緊密度較高。磁控濺射鍍膜可以賦予超細粉體新的特性,例如在微米級二氧化硅表面鍍鋁,得到的復合粉體不但具有良好的分散性,好具有優(yōu)異的光學性能,可以作為一種特殊效果顏料用于高級塑料制品加工中.相較于傳統(tǒng)的鋁粉顏料,該特殊效果顏料不但有效改善了塑料制品的注塑缺陷(流痕\熔接線),還使得制品外觀質感更加高級。磁控濺射的優(yōu)點:操作易控。湖南多功能磁控濺射處理
磁控濺射的優(yōu)點:(1)操作易控。鍍膜過程,只要保持工作壓強、電功率等濺射條件相對穩(wěn)定,就能獲得比較穩(wěn)定的沉積速率。(2)沉積速率高。在沉積大部分的金屬薄膜,尤其是沉積高熔點的金屬和氧化物薄膜時,如濺射鎢、鋁薄膜和反應濺射TiO2、ZrO2薄膜,具有很高的沉積率。(3)基板低溫性。相對二極濺射或者熱蒸發(fā),磁控濺射對基板加熱少了,這一點對實現(xiàn)織物的上濺射相當有利。(4)膜的牢固性好。濺射薄膜與基板有著極好的附著力,機械強度也得到了改善。湖南多功能磁控濺射處理磁控濺射鍍膜的適用范圍:建材及民用工業(yè)中。
相較于蒸發(fā)鍍膜,真空磁控濺射鍍膜的膜更均勻,那么真空蒸發(fā)鍍膜所鍍出來的膜厚度在中心位置一般會薄一點。因此,由于我們無法控制真空蒸發(fā)鍍膜的膜層的厚度,而真空磁控濺射鍍膜的過程中可通過控制時間長短來控制鍍層厚度,所以蒸鍍真空鍍膜不適應企業(yè)大規(guī)模的生產(chǎn)。反之,濺射鍍膜在這方面就比較有優(yōu)勢了。那么相對于蒸發(fā)鍍膜來說,真空磁控濺射鍍膜除了膜厚均勻與可控靈活的優(yōu)勢之外,還有這些特點:磁控濺射鍍的膜層的純度高,因此致密性好;膜層物料靈活,薄膜可以由大多數(shù)材料構成,包括常見的合金、化合物之類的;濺射鍍膜的沉積速率較低,整體設備相對復雜一些;真空濺射薄膜與作用基底之間的粘合、附著力很好。
磁控濺射技術不只是科學研究和精密電子制造中常用的薄膜制備工藝技術,經(jīng)過多年的不斷完善和發(fā)展,該技術也已經(jīng)成為重要的工業(yè)化大面積真空鍍膜技術之一,普遍應用于玻璃、汽車、醫(yī)療衛(wèi)生、電子工業(yè)等工業(yè)和民生領域。例如,采用磁控濺射工藝生產(chǎn)鍍膜玻璃,其膜層可以由多層金屬或金屬氧化物祖成,允許任意調節(jié)能量通過率、反射率,具有良好的美觀效果,被越來越多的被應用于現(xiàn)代建筑領域。再比如,磁控濺射技術也能夠應用于織物涂層,這些織物涂層可以應用于安全領域,如防電擊、電磁屏蔽和機器人防護面料等,也可用于染料制作。這樣的涂層織物在醫(yī)療衛(wèi)生、環(huán)境保護、電子工業(yè)等領域都有重要的應用。磁控濺射設備一般根據(jù)所采用的電源的不同又可分為直流濺射和射頻濺射兩種。
磁控濺射是物理中氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優(yōu)點。上世紀70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來。磁控濺射是眾多獲得高質量的薄膜技術當中使用較普遍的一種鍍膜工藝。江蘇多層磁控濺射
磁控濺射所利用的環(huán)狀磁場迫使二次電子跳欄式地沿著環(huán)狀磁場轉圈。湖南多功能磁控濺射處理
磁控濺射的優(yōu)點:(1)成膜致密、均勻。濺射的薄膜聚集密度普遍提高了。從顯微照片看,濺射的薄膜表面微觀形貌比較精致細密,而且非常均勻。(2)濺射的薄膜均具有優(yōu)異的性能。如濺射的金屬膜通常能獲得良好的光學性能、電學性能及某些特殊性能。(3)易于組織大批量生產(chǎn)。磁控源可以根據(jù)要求進行擴大,因此大面積鍍膜是容易實現(xiàn)的。再加上濺射可連續(xù)工作,鍍膜過程容易自動控制,因此工業(yè)上流水線作業(yè)完全成為可能。(4)工藝環(huán)保。傳統(tǒng)的濕法電鍍會產(chǎn)生廢液、廢渣、廢氣,對環(huán)境造成嚴重的污染。不產(chǎn)生環(huán)境污染、生產(chǎn)效率高的磁控濺射鍍膜法則可較好解決這一難題。湖南多功能磁控濺射處理