激光LIGA 技術(shù)

它采用準分子激光深層刻蝕代替載射線光刻，從而避開了高精密的載射線掩膜制作、套刻對準等技術(shù)難題，同時激光光源的經(jīng)濟性和使用的普遍性明顯優(yōu)于同步輻射載光源，從而有效降低 LIGA 工藝的制造成本，使LIGA技術(shù)得以廣泛應用。盡管激光LIGA 技術(shù)在加工微構(gòu)件高徑比方面比載射線差，但對于一般的微構(gòu)件加工完全可以接受。此外，激光LIGA 工藝不像載射線光刻需要化學腐蝕顯影，而是“直寫”刻蝕，不存在化學腐蝕的橫向浸潤腐蝕影響，因而加工邊緣陡直，精度高，光刻性能優(yōu)于同步載射線光刻。 激光微孔加工的主要作用是什么？湖州激光微孔加工供應

精密小孔激光打孔機采用高性能激光器，激光聚焦CCD同光路電視監(jiān)視，電子十子叉絲對準，放大倍數(shù)400倍，精密四軸運動工作臺和工業(yè)控制計算機系統(tǒng)組成。精密小孔激光打孔機更短的波長，超小的激光焦點可對0.001mm微孔加工。精密激光打孔燒蝕區(qū)少，孔內(nèi)壁光滑，裝夾方便，打孔速度快，長期工作穩(wěn)定可靠。 廣州微孔加工技術(shù)激光微孔設(shè)備打孔加工的原理。

目前，微孔加工產(chǎn)品已普遍應用于精密過濾設(shè)備，根據(jù)小孔的尺寸范圍，到目前為止大約有50種，每種加工方法都有其獨特的優(yōu)缺點，主要取決于工件孔徑的大小，孔的排列，密度等。洞和洞。精度要求以及工件的后續(xù)使用，這涉及考慮哪些過程可以批量處理。

傳統(tǒng)的或可想象的微孔加工工藝包括：沖壓，主要用于孔徑為1.0mm或更大，材料厚度為0.5mm或更小的產(chǎn)品，主要用于具有少量孔的工件，因為密集工件沖壓模具是不可能的。數(shù)控沖孔，數(shù)控沖孔是近年來流行的一種工藝，數(shù)控沖孔具有高效率 的優(yōu)點是成本低，數(shù)控沖孔是需要更換相應沖頭才能操作，無需模具。數(shù)控沖孔主要用于大口徑和低密度工件。對于孔徑小于0.5mm的工件進行NC沖孔沒有任何優(yōu)勢。

化學蝕刻工藝是一種新型的金屬加工方式，其原理是采用化學藥水和金屬材料的分子架構(gòu)進行分解，形成鏤空和成型的效果，化學蝕刻加工工藝能很好的解決加工直徑0.1mm小孔，直徑0.15mm小孔，直徑0.2mm小孔，直徑0.3mm小孔所產(chǎn)生的問題。這種工藝可以有效的和使用的材料厚度相配套，特別是針對一些密集，公差要求高的小孔有很獨到的加工方式，化學蝕刻工藝可以加工的小孔徑為0.05mm，小公差可以達到+/-0.01mm，加工后的小孔孔壁無毛剌，孔徑均勻，且真圓度好，材料整體的平整度好，當這種密集或不密集的小孔產(chǎn)品需要大批量生產(chǎn)時，蝕刻工藝也可以積極應對。化學蝕刻直徑0.1mm小孔加工時，不能少的環(huán)節(jié)需要受到材料厚度的限制。一般情況下，小孔的孔徑需要大于材料的厚度，理想的比例是孔徑需要是材料厚度的1.5倍，低的話需要是材料厚度的1.2倍，需要加工直徑0.1mm的小孔產(chǎn)品，材料厚度就應該是0.1mm以下，厚度為0.03mm/0.05mm/0.06mm/0.08mm等，總之材料越薄蝕刻加工的精度就越高。如果材料厚度大于0.1mm的時候，就不適合用蝕刻工藝來加工直徑0.1mm的小孔了。因為此時由于化學蝕刻的藥劑的擴張性無法滿足蝕刻量。 微孔加工的工藝分析。

目前，錐形微孔加工有沖孔法、準分子激光旋轉(zhuǎn) 打孔法等。沖孔法主要利用圓形掩膜選擇性透過一 部分光斑，再通過后續(xù)的光學系統(tǒng)投影到需要加工的 材料上，加工過程中工件靜止不動，沖孔法有其獨特 的優(yōu)點，但有時無法滿足更好的錐度的同時達到更大 的底邊直徑。準分子激光旋轉(zhuǎn)打孔用的掩膜是 三角形或正方形的，這 2 種形狀的掩膜在旋轉(zhuǎn)打孔內(nèi) 切圓時可以獲得更多的能量，且外接圓獲得的能量較 少，這樣可以得到更好錐度的孔。如有需要激光微孔加工可以聯(lián)系寧波米控機器人。 激光旋切孔加工的工藝是怎么樣的？湖州激光微孔加工供應

激光微孔加工的工藝。湖州激光微孔加工供應

微孔加工方法：激光加工主要對應的是0.1mm以下的材料，電子工業(yè)中已經(jīng)較廣地應用了激光加工技術(shù)。例如，精密電子部件、集成電路芯片引線以及多層電路板的焊接；混合集成電路中陶瓷基片或?qū)毷系你@孔、劃線和切片；半導體加工工藝中激光區(qū)域加熱和退火；激光刻蝕、摻雜和氧化；激光化學汽相沉積等。但是作為金屬的微孔加工，激光存在的問題是會產(chǎn)生一些燒黑的現(xiàn)象，容易改變材料材質(zhì)，以及殘渣不易清理或無法清理的現(xiàn)象。不是完美的微孔加工解決方案。如果要求不高，可以試用，但是針對批量的訂單，激光加工就無法滿足客戶的交期和成本的期望值。 湖州激光微孔加工供應

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