潔凈層流罩維護要點

***；首先必須對潔凈層流罩定期更換高效過濾器和初效過濾器，避免污染細菌生長及二次污染；

第二；如有發(fā)現(xiàn)潔凈層流罩工作出現(xiàn)異常，請馬上切斷電源，并聯(lián)系廠家或通知有關專業(yè)技術人員立即進行維修處理；以免無意中啟動運轉(zhuǎn)，造成人身傷害。

第三；生產(chǎn)車間使用溫度建議不得超過50℃，且嚴禁室內(nèi)使用明火。

第四；***需要定期對層流罩電氣線路檢查，如有故障可參照電氣原理圖進行維修或者馬上聯(lián)系廠家進行上門維修。 GMP車間負壓稱量室設計安裝-咨詢統(tǒng)鉅凈化設備成立近十五年，技術18年經(jīng)驗，信用AAA級企業(yè)通過ISO9001認證。四川層流罩品牌

百級層流罩的工作原理：簡單來說，百級層流罩的工作原理比較容易理解，配備層流裝置將空氣以一定地風速通過高效過濾器后，形成均流層，使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄?，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度。一般來說，百級層流罩采用垂直單向流的氣流形式送風先要通過初效過濾器進行預過濾,將氣流中的大顆粒粉塵粒子處理掉。經(jīng)過預處理后的空氣，再經(jīng)過高效過濾器進行二次過濾，以起到充分保護高效過濾器的作用。在離心風機提供的壓力下，通過高效過濾器，使之達到規(guī)定要求。所有氣流均經(jīng)過高效過濾器處理，所以送風與排風均不帶粉塵，避免了二次污染，由于在工作區(qū)域形成穩(wěn)定的單向流起到保護外部環(huán)境的作用，確保工作區(qū)域空氣潔凈，生產(chǎn)或科研產(chǎn)品保持穩(wěn)定的品質(zhì)。南寧實驗室FFU支架式層流罩設計安裝-咨詢統(tǒng)鉅凈化設備成立近十五年，技術18年經(jīng)驗，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認證。

FFU系統(tǒng)控制在無塵室、潔凈室、凈化工程中的設計方式

無塵室、潔凈室、凈化工程由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。FFU集成電路設計優(yōu)點：潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等多數(shù)潔凈室要求環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統(tǒng)可以很好滿足這些要求。潔凈室按照回風特點分為三個系統(tǒng)：

1.FFU循環(huán)系統(tǒng);

2.循環(huán)空調(diào)機配合高效送風口系統(tǒng);

3.循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和。

FFU集成電路系統(tǒng)的三種類型

1.適合半導體制造業(yè)。FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求。

2.適合小規(guī)模潔凈室的FFU循環(huán)系統(tǒng)在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

3.全能型FFU循環(huán)系統(tǒng)這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

層流罩是能將操作員與產(chǎn)品屏蔽隔離的設備之一，其主要用途是避免產(chǎn)品污染。從潔凈室吸取的空氣，然后采用頂部增壓艙里安裝的風扇通過HEPA過濾垂直穿過操作區(qū)域，為關鍵區(qū)域提供ISO 5(級別100)的單向流空氣。廢氣從下面排出，返回潔凈室區(qū)域。它主要由箱體、風機、高效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成。

潔凈層流罩是將空氣以一定地風速通過高效過濾器后，形成均流層，使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄?，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的高潔凈度。

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負壓稱量罩性能確認之溫度：

因為稱量罩內(nèi)有風機在運行過程中產(chǎn)熱，如沒有降溫措施，長時間運行會導致室內(nèi)溫度升高到不適宜的值。通常，對于需長時間運行的稱量罩可采取冷卻盤管降溫，對于運行時間不長的稱量罩，可采取規(guī)定**長使用連續(xù)使用時間的方式來保證溫度不超標，也可通過對所處房間單獨降溫的方式解決。應有排出風，且稱量罩是敞開設備，如果出現(xiàn)溫度升高，其影響的是其所處操作間的整個的溫度升高。根據(jù)面積分布取樣點，離墻不少于0.5米，均勻分布5點（應保證稱量罩內(nèi)部至少有一點），在工作面高度測量。使用經(jīng)校準的溫度計在稱量罩開啟前記錄室內(nèi)溫度，并計算平均值。然后開啟設備進行操作，在工作結(jié)束前，即**長運行時間時再次對室內(nèi)溫度進行測量，并計算平均值。判斷標準：負壓稱量罩的運行不造成室內(nèi)溫度升高大于2℃。 吊頂式層流罩哪家好-咨詢統(tǒng)鉅凈化設備成立近十五年，技術18年經(jīng)驗，信用AAA級企業(yè)，通過ISO9001認證。凈化車間FFU型號

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層流罩配套使用的過濾器需要滿足以下要求：

1.采用G4級初效過濾器+H14液槽高效過濾器。

2.液槽高效過濾器需盡可能滿布于層流罩的出風面，高效邊框距離層流罩四邊不超過9cm。

3.液槽高效過濾器按照PAO方法進行泄漏測試，檢測時氣溶膠不得散入房間（背景區(qū)域），保證測試順利進行，且泄漏率不超過0.01%。

4.無隔板液槽密封式高效過濾器，可以單獨安裝與拆卸。

5.初效、高效過濾器前后設指針式壓差表。配置初效過濾器、高效過濾器壓差傳感器。

6.初效過濾器在側(cè)回風域內(nèi)更換，檢修方式為前檢修方式，高效過濾器的檢修方式為下檢修。

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